中芯國(guó)際隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用

LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。

LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。

系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。 測(cè)振傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。中芯國(guó)際隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單件）：600公斤晶圓隔振臺(tái)國(guó)內(nèi)代理TS-C系列具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。

TS-140+40TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。在公制（M6x25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-140+40的隔離始于0.7Hz，超過10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好，實(shí)用的操作優(yōu)勢(shì)是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克

關(guān)鍵詞：主動(dòng)式隔震臺(tái)、主動(dòng)式隔振臺(tái)、主動(dòng)式防振臺(tái)、防振臺(tái)、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動(dòng)傳遞率橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為傳遞率的數(shù)據(jù)，在10hz頻率以上時(shí)，傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時(shí)不同方向上振動(dòng)衰減的數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)）垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，蕞大可以達(dá)到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-300赫茲負(fù)載范圍：0-40公斤尺寸圖300x300x70毫米（長(zhǎng)x寬x高）11.8x11.8x2.75英寸隔離：動(dòng)態(tài)1.2Hz至300Hz，主要在較高頻率下為無源透射率：高于?10Hz的透射率<0.01（-40dB）矯正力：垂直±8N，水平±4N靜態(tài)合規(guī)性：27μm/N最大負(fù)載（中心負(fù)載）：40公斤88.18磅重量：9.2公斤20.3磅示波器上顯示的多路復(fù)用信號(hào)顯示有無隔離的振動(dòng)水平-瑾用于診斷目的。隔振臺(tái)廠家

AVI 200-XL系統(tǒng)固有的剛性使得其有出色的方向性和位置穩(wěn)定性。中芯國(guó)際隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。

為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。

AVI400-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)，避免了任何復(fù)雜的過程。

技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-800公斤（單件）：400公斤 中芯國(guó)際隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。一批專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ)，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。公司以誠(chéng)信為本，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測(cè)量?jī)x，我們本著對(duì)客戶負(fù)責(zé)，對(duì)員工負(fù)責(zé)，更是對(duì)公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度，爭(zhēng)取做到讓每位客戶滿意。公司深耕半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測(cè)量?jī)x，正積蓄著更大的能量，向更廣闊的空間、更寬泛的領(lǐng)域拓展。