山西線(xiàn)光譜共焦傳感器精度

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-11-05

什么是光譜共焦干涉儀?非接觸式輪廓測(cè)量技術(shù)中的測(cè)量精度,通常受機(jī)械振動(dòng)和微掃描臺(tái)位置不準(zhǔn)確的限制。為不再受此類(lèi)環(huán)境干擾,開(kāi)發(fā)了對(duì)振動(dòng)不敏感的全新干涉測(cè)量法。采用這種新型干涉儀系統(tǒng),干涉儀顯微鏡的精度可達(dá)亞納米級(jí)。

光譜共焦干涉測(cè)量原理干涉測(cè)量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號(hào),以便測(cè)量參比板和樣品之間的氣隙厚度。成熟系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測(cè)目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起,機(jī)械振動(dòng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。此外,該傳感器可用于測(cè)量太薄而不允許使用光譜共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測(cè)厚度為0.4μm。 馬波斯測(cè)量科技致力于提供專(zhuān)業(yè)的光譜共焦傳感器,有需要可以聯(lián)系我司哦!山西線(xiàn)光譜共焦傳感器精度

山西線(xiàn)光譜共焦傳感器精度,傳感器

什么是光譜共焦干涉儀?

非接觸式輪廓測(cè)量技術(shù)中的測(cè)量精度通常受到機(jī)械振動(dòng)和微掃描臺(tái)位置不準(zhǔn)確性的限制。為了從這些環(huán)境干擾中解放出來(lái),開(kāi)發(fā)了一種新的對(duì)振動(dòng)不敏感的干涉測(cè)量方法。采用這種新型光譜共焦干涉儀系統(tǒng),干涉儀顯微鏡的潛在亞納米級(jí)精度是極其有效的。

原理:

干涉測(cè)量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光學(xué)檢測(cè)儀器儀表中必然涉及到的概念。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號(hào),以便測(cè)量參比板和樣品之間的氣隙厚度。發(fā)達(dá)系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測(cè)目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起,機(jī)械振動(dòng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。此外,該傳感器可用于測(cè)量太薄而不允許使用色彩共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測(cè)厚度為0.4μm。 浙江點(diǎn)光譜共焦傳感器價(jià)格STIL光譜共焦傳感器對(duì)被測(cè)物體表面顏色和光潔度無(wú)特殊要求,無(wú)論物體表面是漫反射或高光面,甚至是鏡面。

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STIL光學(xué)傳感器為全球各個(gè)行業(yè)提供更好的質(zhì)量控制,我們的產(chǎn)品系列適合于各種應(yīng)用,為更高的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)提供可靠的控制和檢測(cè)。1995年推出點(diǎn)光譜共焦傳感器,2005年創(chuàng)新推出線(xiàn)光譜共焦傳感器,2015出現(xiàn)線(xiàn)光譜共焦相機(jī),通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新,2025年將推出適用于工業(yè)4.0智能解決方案。在嚴(yán)苛的工業(yè)環(huán)境下客戶(hù)要求速度、精度、質(zhì)量和安全滿(mǎn)足的同時(shí),也要求減少對(duì)環(huán)境的影響和降低成本,這正是STIL傳感器產(chǎn)品系列具有的優(yōu)勢(shì)。適用于任何材料同軸共焦原理兼容任何折射,同軸共焦原理,易于工業(yè)集成,大角度測(cè)量,符合ISO25178-602標(biāo)準(zhǔn)。光譜共焦的特點(diǎn):1.共焦對(duì)環(huán)境光不敏感可過(guò)濾雜波;2.彩色光譜在測(cè)量范圍內(nèi)形成彩色光譜,各種景深3.光譜儀通過(guò)嵌入式光譜儀對(duì)反射或漫反射進(jìn)行光譜分析,快速并精確4.同軸同軸光學(xué)設(shè)計(jì),無(wú)陰影影響??煽?、精確、超高分辨率的尺寸測(cè)量;高速在線(xiàn)解決方案;適用各種材料和環(huán)境;優(yōu)于傳統(tǒng)測(cè)量方案的其他特性,如:大角度測(cè)量,亞微米級(jí)精度,測(cè)量多層厚度。

多個(gè)產(chǎn)品同時(shí)測(cè)量減少成本測(cè)量對(duì)象可任意擺放,多個(gè)產(chǎn)品可同時(shí)測(cè)量,**節(jié)省測(cè)量時(shí)間,減少用工成本!

低畸變圖像無(wú)變形即便在鏡頭邊緣部位測(cè)量,圖像畸變也很小,無(wú)需擔(dān)心測(cè)量對(duì)象所放位置。

缺陷過(guò)濾測(cè)量位置包含有毛邊或缺陷時(shí)系統(tǒng)能自動(dòng)識(shí)別,排除異常點(diǎn)提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。

數(shù)據(jù)追溯管理更簡(jiǎn)單測(cè)量結(jié)果自動(dòng)保存,可按測(cè)量日期、產(chǎn)品名稱(chēng)、產(chǎn)品料號(hào)等信息搜索,數(shù)據(jù)追溯管理簡(jiǎn)單。測(cè)量結(jié)果自動(dòng)保存,可按測(cè)量日期、產(chǎn)品名稱(chēng)、產(chǎn)品料號(hào)等信息搜索,數(shù)據(jù)追溯管理簡(jiǎn)單。檢測(cè)報(bào)告及統(tǒng)計(jì)報(bào)告都可通過(guò)一鍵完成制作,無(wú)需數(shù)據(jù)傳輸及電腦輸入等繁瑣的過(guò)程,支持多種格式。 使用亞微米級(jí)分辨率測(cè)量微流體每秒可測(cè)量360,000點(diǎn)。

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在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用:

LED 芯片三維測(cè)量

LED 晶圓光學(xué)檢測(cè)

BGA 半導(dǎo)體封裝

光伏晶圓表面形貌

測(cè)量涂層厚度時(shí)與部件無(wú)任何接觸。激光和紅外傳感器可分析2至50厘米距離的涂層。這意味著可以在工業(yè)涂層環(huán)境中測(cè)量部件,即使它們位于移動(dòng)產(chǎn)線(xiàn)上、在高溫環(huán)境中,甚至易碎或潮濕環(huán)境中。由于激光束產(chǎn)生的熱量極少,因此測(cè)量過(guò)程中涂層和部件都不會(huì)被損壞或改變。因此,對(duì)于那些迄今已有的方法會(huì)破壞測(cè)試樣品的工業(yè)運(yùn)用,它也可以系統(tǒng)地測(cè)量每個(gè)部件。測(cè)量通常不到一秒鐘,具有高度重復(fù)性。這樣可以控制高達(dá)100%的涂層部件,嚴(yán)格遵循涂層工藝性能并實(shí)時(shí)反應(yīng)以保持比較好狀 馬波斯測(cè)量科技致力于提供專(zhuān)業(yè)的光譜共焦傳感器,歡迎新老客戶(hù)來(lái)電!遼寧馬波斯傳感器品牌

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光強(qiáng)信號(hào)指示燈顯示當(dāng)前光強(qiáng)是否超過(guò)5%。當(dāng)測(cè)量樣品未在量程范圍內(nèi),此時(shí)不存在測(cè)量信號(hào),該指示燈為熄滅狀態(tài)。當(dāng)光強(qiáng)信號(hào)大于5%,信號(hào)燈點(diǎn)亮為綠色,表明測(cè)量數(shù)據(jù)質(zhì)量較高。當(dāng)光強(qiáng)信號(hào)小于5%時(shí),信號(hào)燈則會(huì)顯示為橙色預(yù)警,提示用戶(hù)當(dāng)面光強(qiáng)信號(hào)較弱,測(cè)量數(shù)據(jù)效果不佳。此時(shí)應(yīng)該當(dāng)信號(hào)燈點(diǎn)亮為紅色時(shí),表明當(dāng)前光強(qiáng)信號(hào)為100%。測(cè)量數(shù)據(jù)的質(zhì)量存在不確定性,因此可以嘗試一下方法解決:

量程預(yù)警信號(hào)燈當(dāng)前樣品是否在測(cè)量范圍內(nèi),當(dāng)樣品不在量程范圍內(nèi)時(shí),該信號(hào)燈為熄滅狀態(tài)。當(dāng)樣品位于量程的15%-85%區(qū)間時(shí),該信號(hào)燈點(diǎn)亮為綠色。而當(dāng)樣品位于量程的15%以下或85%以上時(shí),該信號(hào)燈則顯示為橙色,此時(shí)測(cè)量的數(shù)據(jù)仍是有效的,只不過(guò)需要警惕樣品超出量程范圍。 山西線(xiàn)光譜共焦傳感器精度

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