光譜共焦位移傳感器原理介紹一束白光點(diǎn)光源,通過色散透鏡發(fā)生光譜色散,形成不同波長的單色光,每個波長的都有一個完美聚焦點(diǎn)且對應(yīng)一個相對高度距離值(測量范圍)。測量時所有波段的光射到物體表面被原路反射到半透半反射鏡并重新聚焦,只有在被測物體上完美聚焦S‘點(diǎn)的波段的光才會通過共焦點(diǎn)小孔S“并被光譜儀感測到,其他波長的光被擋在小孔之外,通過計算進(jìn)入小孔的光譜波長換算出相對距離。面白光干涉?zhèn)鞲衅靼坠飧缮鏈y量**于非接觸式快速測量,精密零部件之重點(diǎn)部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺階段差尺寸,其測量精度可以達(dá)到納米級!目前,在3D測量領(lǐng)域,白光干涉儀是精度比較高的測量儀器之一馬波斯提供非接觸式傳感器(測量力小)在內(nèi)的多種傳感器,以及顯象或測量計算機(jī)。北京馬波斯傳感器價格
什么是光譜共焦干涉儀?非接觸式輪廓測量技術(shù)中的測量精度通常受到機(jī)械振動和微掃描臺位置不準(zhǔn)確性的限制。為了從這些環(huán)境干擾中解放出來,開發(fā)了一種新的對振動不敏感的干涉測量方法。采用這種新型光譜共焦干涉儀系統(tǒng),干涉儀顯微鏡的潛在亞納米級精度是極其有效的。原理:干涉測量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光學(xué)檢測儀器儀表中必然涉及到的概念。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號,以便測量參比板和樣品之間的氣隙厚度。發(fā)達(dá)系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起,機(jī)械振動不會影響測量結(jié)果。此外,該傳感器可用于測量太薄而不允許使用色彩共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測厚度為0.4μm。上海光譜共焦視覺檢測傳感器精度馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,歡迎新老客戶來電!
非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)是一種利用氣體動靜壓原理工作的非接觸式軸承,由于工作在平面度較好的花崗巖表面,因此本身也能獲得非常理想的運(yùn)動平面度及平順性,特別適用于高精度檢測以及超精加工領(lǐng)域。對射式非接觸式同軸激光位移傳感器測量?直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動機(jī)構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量?共面氣浮移動軸承確保樣品的移動獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴(kuò)展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動化測量模式?直觀簡單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)
航空航天屬于高精尖技術(shù)領(lǐng)域,技術(shù)對安全性要求極高,因此航空航天部件的制造生產(chǎn)中對產(chǎn)品工藝和質(zhì)量的要求是極為苛刻的。這是司逖光譜共焦傳感器在飛機(jī)多層玻璃厚度檢測方面的運(yùn)用:飛機(jī)多層玻璃厚度測量光譜共焦傳感器信號燈為了方便用戶實時了解傳感器的運(yùn)行狀態(tài),光譜共焦傳感器的面板上共有六組信號燈,分別從電源、USB連接、測量頭連接、測量狀態(tài)等四個方面呈現(xiàn)傳感器的實際情況。電源、USB連接和測量頭連接以LED信號指示燈顯示,在傳感器開啟電源后,上述三個LED信號燈為綠色,表明傳感器已可以準(zhǔn)備正常工作。馬波斯測量科技光譜共焦傳感器獲得眾多用戶的認(rèn)可。
半導(dǎo)體行業(yè)材料強(qiáng)國是科技強(qiáng)國的基礎(chǔ),第三代半導(dǎo)體材料扮演著愈發(fā)關(guān)鍵的角色,也正日益成為國際、國內(nèi)科技和產(chǎn)業(yè)競爭的**領(lǐng)域之一。我國精密加工技術(shù)和配套能力進(jìn)步迅速,已經(jīng)具備開發(fā)并且逐步主導(dǎo)第三代半導(dǎo)體裝備的能力。全國多地積極響應(yīng),促進(jìn)地方產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級。該微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策,針對第三代半導(dǎo)體企業(yè)購買IP、參與研發(fā)多項目晶圓等做出了詳細(xì)的扶持說明。深圳正實施新一輪創(chuàng)新發(fā)展戰(zhàn)略布局,機(jī)器人、無人駕駛、等新興產(chǎn)業(yè)日新月異,坪山區(qū)將依托5G試點(diǎn),建設(shè)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。光譜共焦傳感器,就選馬波斯測量科技,讓您滿意,歡迎新老客戶來電!河北點(diǎn)光譜共焦傳感器解決方案
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多個產(chǎn)品同時測量減少成本測量對象可任意擺放,多個產(chǎn)品可同時測量,**節(jié)省測量時間,減少用工成本!低畸變圖像無變形即便在鏡頭邊緣部位測量,圖像畸變也很小,無需擔(dān)心測量對象所放位置。缺陷過濾測量位置包含有毛邊或缺陷時系統(tǒng)能自動識別,排除異常點(diǎn)提高測量的準(zhǔn)確度。數(shù)據(jù)追溯管理更簡單測量結(jié)果自動保存,可按測量日期、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品料號等信息搜索,數(shù)據(jù)追溯管理簡單優(yōu)勢:測量更準(zhǔn)確采用雙倍率雙側(cè)遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭,具有較高的遠(yuǎn)心度,即使有段差情況下也能高精度正確的測量。倍率涵蓋0.16X大視野/0.7X高精度。北京馬波斯傳感器價格