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本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法,例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等,真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)重要方面,它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ),利用物理或化學(xué)方法,并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù),為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝,簡(jiǎn)單地說(shuō),在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射,使其在被涂覆的物體(稱(chēng)基板、基片或基體)上凝固并沉積的方法,稱(chēng)為真空鍍膜?,F(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備雖然能夠完成鍍膜的工作,但是當(dāng)鍍膜公祖完成后,由于腔體內(nèi)部仍然處于真空狀態(tài),與外界環(huán)境具有一定的壓強(qiáng)差,若過(guò)早打開(kāi)密封門(mén),坩堝溫度依然很高,鍍膜材料容易發(fā)生噴濺,造成危險(xiǎn),若等坩堝降溫后再打開(kāi)密封門(mén),會(huì)耗費(fèi)較多的時(shí)間,影響工作效率。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,解決了若過(guò)早打開(kāi)密封門(mén),鍍膜材料容易發(fā)生噴濺,造成危險(xiǎn),若等坩堝降溫后再打開(kāi)密封門(mén),會(huì)耗費(fèi)較多的時(shí)間。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,鍍膜高效,有需要可以咨詢(xún)!燈管真空鍍膜機(jī)供應(yīng)商
本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來(lái)利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中,如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來(lái)利真空反應(yīng)室通常為單個(gè)反應(yīng)腔室,傳動(dòng)部件和升降部件等機(jī)械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個(gè)反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個(gè)反應(yīng)腔室時(shí),由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費(fèi),同時(shí),還會(huì)造成工藝反應(yīng)過(guò)程中溫度波動(dòng)大,不可控因素較多,從而影響工藝過(guò)程。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的寶來(lái)利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個(gè)反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費(fèi)、環(huán)境溫度可控性低等問(wèn)題。本實(shí)用新型的第二目的在于提供一種包含本實(shí)用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。江蘇導(dǎo)電膜真空鍍膜機(jī)哪家便宜寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,餐具鍍膜,有需要可以咨詢(xún)!
然后將基板2推入兩個(gè)限位板10之間的限位槽內(nèi),并關(guān)閉密封門(mén)5,打開(kāi)抽風(fēng)機(jī)21,將腔體1內(nèi)的空氣抽出,通過(guò)控制面板使加熱器工作通過(guò)加熱板14加熱坩堝3進(jìn)行鍍膜,鍍膜完成后,使寶來(lái)利真空伸縮桿10工作,帶動(dòng)活動(dòng)板9運(yùn)動(dòng),使坩堝3運(yùn)動(dòng)至防護(hù)框7內(nèi),然后第二伸縮桿11工作,推動(dòng)寶來(lái)利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運(yùn)動(dòng),使防護(hù)框7密封,然后即可打開(kāi)密封門(mén)5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說(shuō)明的是,在本文中,諸如寶來(lái)利真空和第二等之類(lèi)的關(guān)系術(shù)語(yǔ)寶來(lái)利寶來(lái)利用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái),而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不寶來(lái)利包括那些要素,而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空反應(yīng)腔室,其結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體10,以及位于所述外腔體10內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔20;所述內(nèi)反應(yīng)腔20的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門(mén)23,所述自動(dòng)門(mén)23連接自動(dòng)門(mén)控制器,工件自所述外腔體10經(jīng)所述自動(dòng)門(mén)23進(jìn)入所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。本實(shí)施方式提供的真空反應(yīng)腔室,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔20為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于設(shè)置了兩個(gè)腔室,其中外腔體10用于隔絕大氣,提供真空環(huán)境,而內(nèi)反應(yīng)腔20中的區(qū)域?yàn)楣に嚪磻?yīng)區(qū),形成相對(duì)封閉的工藝環(huán)境,相關(guān)工藝反應(yīng)在內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中,而與工藝反應(yīng)無(wú)直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體10中的工件再經(jīng)自動(dòng)門(mén)23進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域。寶來(lái)利新能源汽車(chē)真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細(xì)膩有光澤,有需要可以來(lái)咨詢(xún)!
避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔20相對(duì)較小,因此可以有效減少工藝原料的浪費(fèi),降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同時(shí),由于工藝反應(yīng)區(qū)的減少,可以有效控制該區(qū)域內(nèi)的溫度,使該區(qū)域內(nèi)的工藝溫度更易于均勻化,進(jìn)而提高工藝質(zhì)量。需要說(shuō)明的是,內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔體10內(nèi),但內(nèi)反應(yīng)腔20和外腔體10處于可連通狀態(tài),并非完全隔絕,當(dāng)對(duì)外腔體10進(jìn)行抽真空處理時(shí),內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)也同時(shí)進(jìn)行抽真空操作。外腔體10和內(nèi)反應(yīng)腔20處于相互連通的狀態(tài),只是在外腔體10內(nèi)劃分出了一個(gè)立體空間以進(jìn)行工藝反應(yīng)。本實(shí)施方式中,參照?qǐng)D2,所述外腔體10包括寶來(lái)利真空底板11和沿所述寶來(lái)利真空底板11周向設(shè)置的寶來(lái)利真空側(cè)壁12;所述內(nèi)反應(yīng)腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向設(shè)置的第二側(cè)壁22;所述寶來(lái)利真空底板11與所述第二底板21相互分離設(shè)置,所述寶來(lái)利真空側(cè)壁12與所述第二側(cè)壁22相互分離設(shè)置;寶來(lái)利真空側(cè)壁12與蓋設(shè)于所述寶來(lái)利真空側(cè)壁12上的密封蓋板30密閉連接,所述第二側(cè)壁22與所述密封蓋板30相互分離設(shè)置。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于用第二底板21和第二側(cè)壁22在外腔體10中分割出一個(gè)更小的空間。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,五金鍍膜,有需要可以咨詢(xún)!江蘇鐘表首飾真空鍍膜機(jī)哪家好
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雖然本說(shuō)明書(shū)按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個(gè)實(shí)施方式*包含一個(gè)**的技術(shù)方案,說(shuō)明書(shū)的這種敘述方式**是為清楚起見(jiàn),本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書(shū)作為一個(gè)整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。蒸發(fā)鍍膜機(jī)離子鍍膜機(jī)車(chē)燈鍍膜機(jī)寶來(lái)利真空BLL多弧離子PVD鍍膜設(shè)備CCZK-SFL連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線蒸發(fā)鍍膜機(jī)離子鍍膜機(jī)車(chē)燈鍍膜機(jī)汽車(chē)燈具,高等燈具反光碗的鍍膜,通過(guò)蒸鍍,硅油保護(hù)膜一次性完成,具有寶來(lái)利真空的反射率和耐腐蝕性能。丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司多弧離子鍍是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種鍍膜技術(shù),將各種氣體寶來(lái)利真空BLL系列磁控濺射鍍膜流水線可適用于幕墻玻璃,鋁鏡,反光鏡生產(chǎn)。燈管真空鍍膜機(jī)供應(yīng)商