上海真空鍍鉻真空鍍膜機

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本實用新型涉及真空鍍膜機技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種磁控濺射真空鍍膜機。背景技術(shù)：真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材，基片與靶材同在真空腔中，濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且**終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程(散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)，**終形成薄膜。目前市場上類似的磁控濺射真空鍍膜機在長時間使用后，會在鍍膜機腔體的內(nèi)壁粘黏有靶材和雜質(zhì)，通常需要裝卸內(nèi)部的轉(zhuǎn)動架，用人工的方式對腔體內(nèi)壁進行定時維護，手動清理擦拭，費時費力，清理效率低，為了解決上述問題，我們提出一種磁控濺射真空鍍膜機。技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型的目的在于提供一種磁控濺射真空鍍膜機，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種磁控濺射真空鍍膜機，包括控制箱，所述控制箱的上表面后側(cè)固定安裝后罐體，所述后罐體的前表面鉸接有前罐體，所述后罐體的前表面上側(cè)固定安裝有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置的下側(cè)安裝有清理裝置，所述清理裝置包括u形架。

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因此可以有效減少工藝原料的浪費，降低原料的使用成本，提高原料的利用率。同時，由于工藝反應(yīng)區(qū)的減少，可以有效控制該區(qū)域內(nèi)的溫度，使該區(qū)域內(nèi)的工藝溫度更易于均勻化，進而提高工藝質(zhì)量。附圖說明此處的附圖被并入說明書中并構(gòu)成本說明書的一部分，示出了符合本實用新型的實施例，并與說明書一起用于解釋本實用新型的原理。為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型一種實施方式的真空反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示結(jié)構(gòu)中的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為設(shè)置于第二底板底部的溫控管的結(jié)構(gòu)示意圖。圖標：10-外腔體；11-寶來利真空底板；12-寶來利真空側(cè)壁；13-傳送裝置；20-內(nèi)反應(yīng)腔；21-第二底板；22-第二側(cè)壁；23-自動門；30-密封蓋板；40-溫控管；41-恒溫控制器。具體實施方式為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和***更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然。寶來利晶圓真空鍍膜機性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細膩有光澤，有需要可以來咨詢！江蘇汽車格柵真空鍍膜機推薦貨源

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以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔；所述內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動門，所述自動門連接自動門控制器，工件自所述外腔體經(jīng)所述自動門進入所述內(nèi)反應(yīng)腔中。進一步地，所述外腔體包括寶來利真空底板和沿所述寶來利真空底板周向設(shè)置的寶來利真空側(cè)壁；所述內(nèi)反應(yīng)腔包括第二底板和沿所述第二底板周向設(shè)置的第二側(cè)壁；所述寶來利真空底板與所述第二底板相互分離設(shè)置，所述寶來利真空側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相互分離設(shè)置；所述寶來利真空側(cè)壁與蓋設(shè)于所述寶來利真空側(cè)壁上的密封蓋板密閉連接，所述第二側(cè)壁與所述密封蓋板相互分離設(shè)置。進一步地，所述自動門設(shè)置于所述第二側(cè)壁上，所述外腔體內(nèi)設(shè)有傳送裝置，所述工件自所述傳送裝置經(jīng)所述自動門傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔中。進一步地，所述第二底板和/或所述第二側(cè)壁上設(shè)有用于對所述內(nèi)反應(yīng)腔進行控溫的溫控裝置。進一步地，所述溫控裝置包括溫控管，所述溫控管連接位于外腔體外的恒溫控制器。進一步地，所述溫控管包括加熱管和/或冷卻管。進一步地，所述加熱管包括電加熱管、水加熱管或油加熱管；所述冷卻管包括水冷卻管或油冷卻管。進一步地，所述溫控管纏繞于所述第二側(cè)壁的外部，且所述溫控管鋪設(shè)于所述第二底板的底部。上海真空鍍鉻真空鍍膜機