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如圖3所示，所述溫控裝置包括溫控管40，所述溫控管40連接位于外腔體10外的恒溫控制器41。溫控管40的引入口及引出口與外部的恒溫控制器41連接，恒溫控制器41可用于恒溫制冷也可用于恒溫加熱，保證內(nèi)反應(yīng)腔20中的溫度可以持續(xù)恒定，從而使工藝反應(yīng)區(qū)域內(nèi)的工藝環(huán)境溫度更穩(wěn)定。經(jīng)過(guò)在真空鍍膜設(shè)備上的實(shí)際應(yīng)用驗(yàn)證，該真空腔體對(duì)于工藝成膜質(zhì)量及鍍膜均勻性均有十分有效的改善和提升。其中，溫控管40包括加熱管和/或冷卻管。一般情況下，在工藝反應(yīng)過(guò)程中，通常需要升溫以完成相關(guān)的工藝反應(yīng)，因此，溫控管40包括必要的加熱管，而冷卻管可以根據(jù)實(shí)際的工藝需要選選擇性地添加即可。例如，若在工藝反應(yīng)過(guò)程中，需要進(jìn)行快速降溫，此時(shí)可以設(shè)置冷卻管。所述加熱管非限制性地例如可以為電加熱管、水加熱管或油加熱管。冷卻管例如可以為水冷卻管或油冷卻管。為了增加溫控效果，第二側(cè)壁22和第二底板21處均設(shè)有溫控管40。其中，所述溫控管40纏繞于所述第二側(cè)壁22的外部，且所述溫控管40鋪設(shè)于所述第二底板21的底部。除上述纏繞方式外，還可以用埋設(shè)的方式鋪設(shè)加熱管，例如，所述第二底板21內(nèi)和所述第二側(cè)壁22內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管40的通道，所述溫控管40埋設(shè)于所述通道內(nèi)。 電弧離子鍍膜設(shè)備是一種高效、無(wú)污染的離子鍍膜設(shè)備，具有沉積速度快、離化率高、離子能量大設(shè)備操作簡(jiǎn)單。瞄準(zhǔn)鏡真空鍍膜設(shè)備廠(chǎng)商

然后將基板2推入兩個(gè)限位板10之間的限位槽內(nèi)，并關(guān)閉密封門(mén)5，打開(kāi)抽風(fēng)機(jī)21，將腔體1內(nèi)的空氣抽出，通過(guò)控制面板使加熱器工作通過(guò)加熱板14加熱坩堝3進(jìn)行鍍膜，鍍膜完成后，使寶來(lái)利真空伸縮桿10工作，帶動(dòng)活動(dòng)板9運(yùn)動(dòng)，使坩堝3運(yùn)動(dòng)至防護(hù)框7內(nèi)，然后第二伸縮桿11工作，推動(dòng)寶來(lái)利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運(yùn)動(dòng)，使防護(hù)框7密封，然后即可打開(kāi)密封門(mén)5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如寶來(lái)利真空和第二等之類(lèi)的關(guān)系術(shù)語(yǔ)寶來(lái)利寶來(lái)利用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不寶來(lái)利包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。 雙門(mén)真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)寶來(lái)利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，AS防污膜，有需要可以咨詢(xún)！

通過(guò)上述說(shuō)明可知，溫控管40的設(shè)置形式多種多樣，本實(shí)用新型并不限制溫控管40的具體設(shè)置形式，例如可以按照上述溫控管40纏繞并固定的形式，也可以按照在第二側(cè)壁22或第二底板21上安裝水套或設(shè)通道的形式，只要求保證使用時(shí)溫控管40可耐壓耐溫不出現(xiàn)滲漏或漏電現(xiàn)象即可。另一方面，本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空鍍膜設(shè)備，包括機(jī)械模塊部件、工藝模塊部件和實(shí)施例一的真空反應(yīng)腔室，所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)，部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體10內(nèi)。該真空鍍膜設(shè)備包括本實(shí)用新型的真空反應(yīng)腔室，因此，該真空鍍膜設(shè)備具有上述真空反應(yīng)腔室的全部***，在此不再贅述。其中，設(shè)置于外腔體10內(nèi)的部分機(jī)械模塊部件為與工藝反應(yīng)無(wú)關(guān)的一些傳動(dòng)機(jī)械部件、升降機(jī)械部件等等，另一部與工藝反應(yīng)相關(guān)的機(jī)械部件，如鍍膜靶材的轉(zhuǎn)動(dòng)部件等等則設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中。具體的，可以根據(jù)真空鍍膜設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)而定。該真空鍍膜設(shè)備中，由于真空反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)成內(nèi)外腔結(jié)構(gòu)，同時(shí)，通過(guò)設(shè)置溫控裝置，可以有效地保證工藝環(huán)境封閉、恒溫、外部污染源少，為工藝反應(yīng)提供了更為穩(wěn)定、純凈的環(huán)境。通過(guò)實(shí)際實(shí)驗(yàn)證明，反應(yīng)區(qū)域溫度環(huán)境更均勻。

提升了清理效率。附圖說(shuō)明圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意俯視圖。圖中：1控制箱、2前罐體、3后罐體、4清理裝置、41通孔、42噴頭、43刮板、44u形架、5驅(qū)動(dòng)裝置、51半圓槽、52半圓板、53轉(zhuǎn)軸通孔、54減速電機(jī)、55防護(hù)罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例**是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1、圖2，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種磁控濺射真空鍍膜機(jī)，包括控制箱1，控制箱1的上表面后側(cè)固定安裝后罐體3，后罐體3的前表面鉸接有前罐體2，后罐體3的前表面上側(cè)固定安裝有驅(qū)動(dòng)裝置5，驅(qū)動(dòng)裝置5，驅(qū)動(dòng)裝置5的下側(cè)安裝有清理裝置4，清理裝置4包括u形架44，u形架44的下端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在后罐體3的內(nèi)部下側(cè)，u形架44的外側(cè)固定安裝有刮板43，刮板43的外側(cè)與后罐體3、前罐體2的內(nèi)表面緊密貼合，后罐體3和前罐體2的上表面外側(cè)均勻開(kāi)設(shè)有通孔41。 寶來(lái)利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，五金鍍膜，有需要可以咨詢(xún)！

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真空鍍膜機(jī)在操作過(guò)程中常見(jiàn)的膜層不均勻問(wèn)題可能由以下幾個(gè)原因造成：設(shè)備內(nèi)部污染：真空真空鍍膜機(jī)內(nèi)部如果存在氣體、液體或固體雜質(zhì)，這些雜質(zhì)會(huì)影響膜層的均勻性。為了避免這種情況，應(yīng)在使用前對(duì)真空鍍膜機(jī)內(nèi)部進(jìn)行徹底清洗，特別是鍍膜室的表面，確保無(wú)雜質(zhì)殘留。目標(biāo)材料分布不均：在鍍膜過(guò)程中，如果目標(biāo)材料在真空鍍膜機(jī)內(nèi)的分布不均勻，膜層的均勻性也會(huì)受到影響。因此，要確保目標(biāo)材料在真空鍍膜機(jī)內(nèi)均勻分布，并定期檢查和調(diào)整材料的放置位置。工藝參數(shù)設(shè)置不當(dāng)：真空鍍膜機(jī)的真空度、沉積速度、溫度等工藝參數(shù)對(duì)膜層的均勻性有重要影響。如果參數(shù)設(shè)置不當(dāng)，可能導(dǎo)致膜層不均勻。因此，應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況適當(dāng)調(diào)整這些參數(shù)，以獲得更均勻的膜層。瞄準(zhǔn)鏡真空鍍膜設(shè)備廠(chǎng)商