在操作真空鍍膜機時,需要注意以下安全事項:佩戴個人防護(hù)裝備:操作人員應(yīng)佩戴適當(dāng)?shù)膫€人防護(hù)裝備,如防護(hù)眼鏡、手套、工作服等,以保護(hù)自己免受化學(xué)品、高溫等傷害。遵守操作規(guī)程:嚴(yán)格按照操作手冊和相關(guān)規(guī)程進(jìn)行操作,不得擅自更改設(shè)備參數(shù)或操作程序。確保通風(fēng)良好:真空鍍膜機在操作過程中會產(chǎn)生有害氣體或蒸汽,應(yīng)確保操作場所通風(fēng)良好,避免有毒氣體積聚。防止觸電:操作人員應(yīng)確保設(shè)備接地良好,避免發(fā)生漏電或觸電事故。注意化學(xué)品安全:在操作涉及化學(xué)品的真空鍍膜機時,應(yīng)妥善存放和使用化學(xué)品,避免接觸皮膚或吸入有害氣體。定期檢查設(shè)備:定期對真空鍍膜機進(jìn)行檢查和維護(hù),確保設(shè)備運行正常,減少故障發(fā)生的可能性。緊急情況處理:操作人員應(yīng)熟悉真空鍍膜機的緊急停止程序,一旦發(fā)生意外情況,立即停止設(shè)備并進(jìn)行相應(yīng)處理。通過嚴(yán)格遵守操作規(guī)程、加強安全意識培訓(xùn)和定期設(shè)備維護(hù),可以有效確保真空鍍膜機操作過程中的安全。品質(zhì)紡織裝備真空鍍膜設(shè)備,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!靶材真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商
定期檢查和更換機械泵油和羅茨泵油。高壓電安全:在離子轟擊和蒸發(fā)過程中,應(yīng)注意高壓電線接頭,避免觸碰以防觸電。使用電子槍鍍膜時,應(yīng)采取防護(hù)措施,如在鐘罩外面圍上鋁板,觀察窗使用鉛玻璃,并戴上防護(hù)眼鏡。通風(fēng)吸塵:在鍍制多層介質(zhì)膜的過程中,應(yīng)安裝通風(fēng)吸塵裝置,及時排除有害粉塵。酸堿操作:酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)裝置內(nèi)進(jìn)行,操作時要戴橡皮手套,輕拿輕放零件以防酸堿濺出,平時酸洗槽應(yīng)加蓋。緊急情況處理:熟悉緊急停機按鈕的位置,以便在緊急情況下迅速切斷電源和水源。通過遵守這些安全操作規(guī)程,可以有效地減少事故發(fā)生的風(fēng)險,保護(hù)操作人員的健康和安全,同時也有助于保護(hù)環(huán)境免受污染。在操作真空鍍膜機時,應(yīng)始終保持警惕,遵循操作手冊和安全指南,確保生產(chǎn)過程的安全和順利進(jìn)行。浙江AR真空鍍膜設(shè)備規(guī)格寶來利半導(dǎo)體真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細(xì)膩有光澤,有需要可以來咨詢!
本實用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學(xué)氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來利真空反應(yīng)室通常為單個反應(yīng)腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個反應(yīng)腔室時,由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應(yīng)過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達(dá)到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。
本實用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):真空鍍膜機要求在真空環(huán)境下進(jìn)行鍍膜,在鍍膜室進(jìn)行蒸鍍后,鍍膜室中殘留的部分未蒸餾到薄膜上的蒸汽遇冷會形成粉塵,而粉塵在別真空泵抽走后,會堵塞真空泵,影響真空泵的使用以及容易損壞真空泵?,F(xiàn)有的真空鍍膜機,在除粉塵時,多利用負(fù)壓作用將出氣口上的頂蓋打開,并利用彈簧的彈力蓋緊頂蓋,但在打開時需要較大的壓力才能頂出頂蓋,而真空鍍膜設(shè)備通過彈簧蓋緊頂蓋,容易出現(xiàn)蓋不緊的情況,導(dǎo)致鍍膜機內(nèi)真空度不夠,影響鍍膜的過程。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型要解決的技術(shù)問題在于,針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,提供一種密封性良好且能夠除塵的真空鍍膜設(shè)備。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:提供一種真空鍍膜設(shè)備,包括鍍膜機;所述鍍膜機底部設(shè)有出氣管;所述出氣管上設(shè)有寶來利真空連接套;所述寶來利真空連接套上設(shè)有第二連接套;所述第二連接套中設(shè)有頂蓋,所述頂蓋與所述寶來利真空連接套之間通過磁吸連接;所述第二連接套遠(yuǎn)離所述鍍膜機一側(cè)設(shè)有抽氣管;所述抽氣管遠(yuǎn)離所述第二連接套一側(cè)設(shè)有真空泵;所述抽氣管內(nèi)靠近所述真空泵一側(cè)設(shè)有寶來利真空過濾網(wǎng)。 品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備膜層致密,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
然后將基板2推入兩個限位板10之間的限位槽內(nèi),并關(guān)閉密封門5,打開抽風(fēng)機21,將腔體1內(nèi)的空氣抽出,通過控制面板使加熱器工作通過加熱板14加熱坩堝3進(jìn)行鍍膜,鍍膜完成后,使寶來利真空伸縮桿10工作,帶動活動板9運動,使坩堝3運動至防護(hù)框7內(nèi),然后第二伸縮桿11工作,推動寶來利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運動,使防護(hù)框7密封,然后即可打開密封門5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說明的是,在本文中,諸如寶來利真空和第二等之類的關(guān)系術(shù)語寶來利寶來利用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不寶來利包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。 品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備膜層亮度高,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!浙江雙門真空鍍膜設(shè)備設(shè)備廠家
真空蒸發(fā)鍍膜裝置,是在真空室中利用電阻加熱,江金屬鍍料熔融、汽化,讓金屬分子沉積在基片上。靶材真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商
電磁鐵122頂出磁片223,頂蓋22離開出氣管11口,空氣及粉塵從出氣管11排出,當(dāng)頂蓋22的動觸點224與靜觸點123接觸時,氣缸53通電,伸出伸縮軸,利用空氣壓力將擠壓管52中的水噴出,粉塵遇水沉降落入沉降管51底部,鍍膜機1內(nèi)達(dá)到相應(yīng)的真空度時,反方向按下開關(guān)13,電磁鐵122在換向器的作用下電流改變,磁極改變,產(chǎn)生與磁片223相反的磁極,電磁鐵122與磁片223相吸,此時真空泵4斷電,動、靜觸點斷開,氣缸53斷電,頂蓋22緊緊地蓋在出氣管11口上。上述實施例中,開關(guān)13為雙向開關(guān),往一方向按下時,真空泵4與電磁鐵122均通電,往另一方向按下時,真空泵4斷電,電磁鐵122在換向器的作用下電流方向發(fā)生改變,產(chǎn)生相反的磁極。在進(jìn)一步的實施例中,結(jié)合圖2可得,寶來利真空連接套12遠(yuǎn)離鍍膜機1一側(cè)設(shè)有寶來利真空安裝位121;寶來利真空安裝位121位于出氣管11兩側(cè);寶來利真空安裝位121內(nèi)固定有電磁鐵122;頂蓋22靠近鍍膜機1一側(cè)設(shè)有第二安裝位222;第二安裝位222與寶來利真空安裝位121位置相對應(yīng);第二安裝位222內(nèi)固定有磁片223;電磁鐵122與磁片223分別通過膠水固定在寶來利真空安裝位121以及第二安裝位222中;利用磁鐵“同極相斥、異極相吸”的原理,控制頂蓋22的關(guān)閉和打開。 靶材真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商