涉及溫度傳感器領(lǐng)域,特別是涉及一種溫度傳感器制備方法及溫度傳感器。背景技術(shù):溫度傳感器包括測溫單元和承載該測溫單元的基底。溫度傳感器通常以導(dǎo)熱率低的材料做基底,如在二氧化硅上淀積測溫材料形成溫度傳感器。在工藝制程中,通過氧化硅片以在硅片表面生產(chǎn)一層二氧化硅,其中,二氧化硅的導(dǎo)熱率較低,但是硅的導(dǎo)熱率較高,為避免通過基底下部的硅導(dǎo)熱,通常還需通過深槽刻蝕的方式對氧化硅層背面的硅進(jìn)行刻蝕,如通過氫氧化鉀的刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕,也可用深反應(yīng)離子刻蝕(deepreactiveionetching)工藝進(jìn)行干法刻蝕。無論是濕法刻蝕還是干法刻蝕,其工藝時(shí)間都會較長且成本較高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:基于此,有必要針對傳統(tǒng)技術(shù)中溫度傳感器以二氧化硅為基底時(shí)獲取基底的工藝時(shí)間較長且成本較高的問題,提出了一種新的溫度傳感器制備方法。一種溫度傳感器制備方法,包括:在硅片形成若干溝槽;熱退火使所述若干溝槽變形后相互連通形成一空腔,且所述硅片在所述空腔上方連接起來,將所述空腔封閉;氧化所述空腔上部的硅片得到氧化硅薄膜;在所述氧化硅薄膜上形成測溫單元,所述測溫單元用于感測環(huán)境溫度。上述溫度傳感器制備方法,先通過刻蝕在硅片上形成若干溝槽。溫度傳感器現(xiàn)貨商深圳美信美科技有公司連續(xù)兩年獲得好的供應(yīng)商稱號。長春紅外 溫度傳感器哪家劃算
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。步驟s:在多晶硅層上淀積第三金屬層,第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結(jié)構(gòu),n型多晶硅條和p型多晶硅條通過金屬結(jié)構(gòu)串聯(lián),第三金屬層還包括位于多晶硅層外側(cè)兩端的第二金屬結(jié)構(gòu),用于引出溫度傳感器的輸出端子。繼續(xù)參見圖和圖,在多晶硅層上淀積第三金屬層,第三金屬層包括金屬結(jié)構(gòu)和第二金屬結(jié)構(gòu)。金屬結(jié)構(gòu)位于相鄰多晶硅條之間以連接該多晶硅條,具體為位于相鄰多晶硅條端部位置,所有n型多晶硅條和p型多晶硅條通過該金屬結(jié)構(gòu)形成一串聯(lián)結(jié)構(gòu),因此,當(dāng)具有m個(gè)多晶硅條時(shí),需要m-個(gè)金屬結(jié)構(gòu)使多晶硅條串聯(lián)起來。一個(gè)n型多晶硅條與一個(gè)p型多晶硅條串聯(lián)形成一個(gè)塞貝克(seebeck)結(jié)構(gòu),在本方案中,是多個(gè)塞貝克結(jié)構(gòu)串聯(lián)形成一個(gè)測溫單元,因此,m需為偶數(shù)。第二金屬結(jié)構(gòu)淀積于多晶硅層外側(cè)的兩端,以便于引出溫度傳感器的輸出端子。在本實(shí)施例中,第三金屬層為金屬鋁層。上述熱電偶傳感結(jié)構(gòu),利用半導(dǎo)體兩端的溫度不同時(shí)。會在半導(dǎo)體內(nèi)部產(chǎn)生溫差電動(dòng)勢,不同類型的半導(dǎo)體其溫差電動(dòng)勢不同,將兩種半導(dǎo)體兩端連接形成閉合回路時(shí),在回路中有電流產(chǎn)生。天津?qū)I(yè)控制溫度傳感器報(bào)價(jià)紅外傳感器是非接觸式傳感器。
傳感器作為新能源汽車電子控制系統(tǒng)的信息源,是電動(dòng)汽車電子控制系統(tǒng)的關(guān)鍵部件,也是電動(dòng)汽車電子技術(shù)領(lǐng)域研究的重心內(nèi)容之一。除了傳統(tǒng)汽車零部件所需要的傳感器外,新能源汽車中驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、BMS、OBC、DC/DC等都需求用到傳感器。同時(shí)隨著電動(dòng)汽車的結(jié)構(gòu)的變化,相對傳統(tǒng)汽車,其內(nèi)部所用的傳感器傳感器類型也相應(yīng)發(fā)生變化。溫度傳感器作為主要的傳感器類型,在新能源汽車占據(jù)著重要的地位。在新能源汽車領(lǐng)域使用到的溫度傳感器主要包括檢測電池溫度的傳感器、監(jiān)測電機(jī)的溫度傳感器、用于電池冷卻系統(tǒng)的溫度傳感器以及用充電槍/樁的溫度控制等。
深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本發(fā)明涉及溫度傳感器領(lǐng)域,特別是涉及一種溫度傳感器制備方法及溫度傳感器。背景技術(shù):溫度傳感器包括測溫單元和承載該測溫單元的基底。溫度傳感器通常以導(dǎo)熱率低的材料做基底,如在二氧化硅上淀積測溫材料形成溫度傳感器。在工藝制程中,通過氧化硅片以在硅片表面生產(chǎn)一層二氧化硅,其中,二氧化硅的導(dǎo)熱率較低,但是硅的導(dǎo)熱率較高,為避免通過基底下部的硅導(dǎo)熱,通常還需通過深槽刻蝕的方式對氧化硅層背面的硅進(jìn)行刻蝕,如通過氫氧化鉀的刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕,也可用深反應(yīng)離子刻蝕(deepreactiveionetching)工藝進(jìn)行干法刻蝕。無論是濕法刻蝕還是干法刻蝕,其工藝時(shí)間都會較長且成本較高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:基于此,有必要針對傳統(tǒng)技術(shù)中溫度傳感器以二氧化硅為基底時(shí)獲取基底的工藝時(shí)間較長且成本較高的問題,提出了一種新的溫度傳感器制備方法。溫度傳感器是較早開發(fā),應(yīng)用較廣的一類傳感器。
n型多晶硅條和p型多晶硅條通過金屬結(jié)構(gòu)串聯(lián),第三金屬層還包括位于多晶硅層外側(cè)兩端的第二金屬結(jié)構(gòu),用于引出溫度傳感器的輸出端子。繼續(xù)參見圖和圖,在多晶硅層上淀積第三金屬層,第三金屬層包括金屬結(jié)構(gòu)和第二金屬結(jié)構(gòu)。金屬結(jié)構(gòu)位于相鄰多晶硅條之間以連接該多晶硅條,具體為位于相鄰多晶硅條端部位置,所有n型多晶硅條和p型多晶硅條通過該金屬結(jié)構(gòu)形成一串聯(lián)結(jié)構(gòu),因此,當(dāng)具有m個(gè)多晶硅條時(shí),需要m-個(gè)金屬結(jié)構(gòu)使多晶硅條串聯(lián)起來。一個(gè)n型多晶硅條與一個(gè)p型多晶硅條串聯(lián)形成一個(gè)塞貝克(seebeck)結(jié)構(gòu),在本方案中,是多個(gè)塞貝克結(jié)構(gòu)串聯(lián)形成一個(gè)測溫單元,因此,m需為偶數(shù)。第二金屬結(jié)構(gòu)淀積于多晶硅層外側(cè)的兩端,以便于引出溫度傳感器的輸出端子。在本實(shí)施例中,第三金屬層為金屬鋁層。上述熱電偶傳感結(jié)構(gòu),利用半導(dǎo)體兩端的溫度不同時(shí)。會在半導(dǎo)體內(nèi)部產(chǎn)生溫差電動(dòng)勢,不同類型的半導(dǎo)體其溫差電動(dòng)勢不同,將兩種半導(dǎo)體兩端連接形成閉合回路時(shí),在回路中有電流產(chǎn)生,半導(dǎo)體兩端的溫差不同時(shí),所產(chǎn)生的電動(dòng)勢不同。在本方案中。采用n型半導(dǎo)體和p型半導(dǎo)體構(gòu)成塞貝克結(jié)構(gòu)且多個(gè)塞貝克結(jié)構(gòu)串聯(lián),可以增強(qiáng)溫度傳感器的靈敏度。在一實(shí)施例中。進(jìn)氣溫度傳感器是一種常用的車用溫度傳感器。成都數(shù)字溫度傳感器技術(shù)
室外環(huán)境溫度傳感器安裝在室外機(jī)散熱器上,由塑料件支撐,用來檢測室外環(huán)境溫度。長春紅外 溫度傳感器哪家劃算
室內(nèi)管溫傳感器:主要檢測室內(nèi)蒸發(fā)器的盤管溫度,在制熱時(shí)起防冷風(fēng)、防過熱保護(hù)、溫度自動(dòng)控制作用。剛開機(jī)盤管溫度如未達(dá)到25度,室內(nèi)風(fēng)機(jī)不運(yùn)行,達(dá)到25攝氏度以上38攝氏度以下時(shí)內(nèi)風(fēng)機(jī)以微風(fēng)工作,溫度達(dá)到38攝氏度以上時(shí)以設(shè)定風(fēng)速工作;當(dāng)室內(nèi)盤管溫度達(dá)到57攝氏度持續(xù)10S時(shí),停止室外風(fēng)機(jī)運(yùn)行,當(dāng)溫度超過62攝氏度持續(xù)10S時(shí),壓縮機(jī)也停止運(yùn)行,只有等溫度下降到52攝氏度時(shí)室外機(jī)才投入運(yùn)行,因此當(dāng)盤管阻值比正常值偏大時(shí),室內(nèi)機(jī)可能不能起動(dòng)或一直以低風(fēng)速運(yùn)行,當(dāng)盤管阻值偏小時(shí),室外機(jī)頻頻繁停機(jī)室內(nèi)機(jī)吹涼風(fēng)。在制冷時(shí)起防凍結(jié)保護(hù)作用,當(dāng)室內(nèi)盤管溫度低于-2攝氏度連續(xù)2分鐘時(shí),室外機(jī)停止運(yùn)行,當(dāng)室內(nèi)管溫度上升到7攝氏度時(shí)或壓縮機(jī)停止工作超過6分鐘時(shí),室外機(jī)繼續(xù)運(yùn)行,因此當(dāng)盤管阻值偏大時(shí),室外機(jī)可能停止運(yùn)行,室內(nèi)機(jī)吹自然風(fēng),出現(xiàn)不制冷故障。長春紅外 溫度傳感器哪家劃算