佛山大規(guī)模溫度傳感器封裝

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-10-16

    本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N溫度傳感器的制備方法,如圖所示,其步驟包括:步驟s:在硅片上形成若干溝槽。結(jié)合圖a所示,獲取一硅晶片,從硅片上方垂直向下開(kāi)設(shè)若干并列的溝槽形成溝槽陣列。在一實(shí)施例中,先在硅片上形成具有陣列圖案的光刻膠層,再以光刻膠作為掩膜版對(duì)硅片進(jìn)行刻蝕形成若干溝槽。在本實(shí)施例中,刻蝕可為常規(guī)的干法刻蝕,具體為深度離子刻蝕。干法刻蝕具有更高的刻蝕精度和更好的各向異性性能,其精度可達(dá)亞微米級(jí)別,通過(guò)干法刻蝕,可以得到形態(tài)較好的溝槽,尤其是溝槽尺寸較小時(shí)利用干法刻蝕效果更佳??赏ㄟ^(guò)調(diào)節(jié)掩膜板圖案和控制刻蝕參數(shù)得到不同形態(tài)的溝槽,其中,溝槽的寬度可為~μm,溝槽的深度可為~μm,相鄰溝槽之間的間隔可為~μm。溝槽的俯視形貌可以為圓形、方形或其他形狀。溝槽的寬度為溝槽側(cè)壁的大距離。如果溝槽為圓形,則溝槽的寬度為其直徑,如果溝槽為正方形,則溝槽的寬度為其對(duì)角的距離。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷(xiāo)售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際品牌集成電路。溫度傳感器故障在空調(diào)故障中占有比較大的比例。佛山大規(guī)模溫度傳感器封裝

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    深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷(xiāo)售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車(chē)、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢(shì)服務(wù),誠(chéng)信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢(shì)的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶(hù)建立了長(zhǎng)期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場(chǎng)客戶(hù)提供優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品服務(wù)。隨著生活水平的提高,甲醛傳感器已經(jīng)成為家居生活中不可缺少的,很多人都會(huì)選擇甲醛傳感器作為家中的必需品,然而對(duì)于怎樣去除甲醛和甲醛傳感器種類(lèi)很多人其實(shí)并不了解,壓力傳感器運(yùn)用于很多的行業(yè)之中,可以說(shuō)用途很,關(guān)于壓力傳感器的使用可以說(shuō)是在很多環(huán)節(jié)中都很重要的,接下來(lái)就由一起裝修網(wǎng)小編講講壓力傳感器品牌有哪些,有興趣的朋友可以看一下,希望能為大家提供幫助。門(mén)窗傳感器可以用在新型門(mén)窗上嗎傳統(tǒng)門(mén)窗的傳感器在智能門(mén)門(mén)窗上可以在智能門(mén)窗上看了。下面一起裝修網(wǎng)小編帶您去了解下吧。新型傳感器問(wèn)世可檢測(cè)家中生活環(huán)境如果你生活的環(huán)境中有一款傳感器。數(shù)字溫度傳感器哪個(gè)品牌好進(jìn)口的德州溫度傳感器,就找深圳美信美科技。

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    顯示儀表會(huì)顯示熱電偶受當(dāng)前環(huán)境溫度影響得到的電勢(shì)所對(duì)應(yīng)的熱端溫度,即當(dāng)前環(huán)境溫度。因上述熱電偶傳感器中上層有金屬結(jié)構(gòu),對(duì)于直接暴露在空氣中時(shí)容易氧化的金屬層,其上還需形成有一層鈍化層,可對(duì)金屬結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)。同時(shí),需要在對(duì)應(yīng)溫度傳感器引出端子處開(kāi)設(shè)有通孔,通過(guò)通孔可引出輸出端子。在本實(shí)施例中,是在外側(cè)多晶硅端部的金屬鋁上方的鈍化層開(kāi)設(shè)有通孔。鈍化層可為氧化硅層或氮化硅層,也可為疊設(shè)的氧化硅層和氮化硅層。上述溫度傳感器,測(cè)溫單元設(shè)于氧化硅薄膜上,氧化硅薄膜具有較低的導(dǎo)熱率,因此不會(huì)影響測(cè)溫單元的測(cè)溫效果。且氧化硅薄膜與硅之間形成有空腔,空腔下方的硅不會(huì)影響空腔上方的氧化硅的隔離效果。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷(xiāo)售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車(chē)、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。

    圖為與圖對(duì)應(yīng)的溫度傳感器俯視圖;圖為另一實(shí)施例中溫度傳感器側(cè)視圖;圖為與圖對(duì)應(yīng)的溫度傳感器俯視圖。具體實(shí)施方式為了便于理解,下面將參照相關(guān)附圖對(duì)進(jìn)行更的描述。附圖中給出了的實(shí)施例。但是,可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)現(xiàn),并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地。提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)的公開(kāi)內(nèi)容更加透徹。除非另有定義。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷(xiāo)售AD(亞德諾),LINEAR。凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車(chē)、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢(shì)服務(wù),誠(chéng)信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢(shì)的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶(hù)建立了長(zhǎng)期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場(chǎng)客戶(hù)提供優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品服務(wù)。本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在的說(shuō)明書(shū)中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為了描述具體的實(shí)施例的目的,不是旨在于限制。本文所使用的術(shù)語(yǔ)“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。溫度傳感器按測(cè)量方式可分為接觸式和非接觸式兩大類(lèi)。

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    凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車(chē)、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢(shì)服務(wù),誠(chéng)信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢(shì)的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶(hù)建立了長(zhǎng)期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場(chǎng)客戶(hù)提供優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品服務(wù)。測(cè)溫單元形成于空腔上方的氧化硅薄膜后得到的溫度傳感器性能較好。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述測(cè)溫單元包括:金屬層,所述金屬層為金屬鉑層,所述金屬鉑層呈連續(xù)弓字形結(jié)構(gòu);和第二金屬層,位于所述金屬鉑層外側(cè)兩端。用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述測(cè)溫單元包括:多晶硅層,包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條;和第三金屬層,所述第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結(jié)構(gòu),所述n型多晶硅條和p型多晶硅條通過(guò)所述金屬結(jié)構(gòu)串聯(lián),所述第三金屬層還包括位于所述多晶硅層外側(cè)兩端的第二金屬結(jié)構(gòu),用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。附圖說(shuō)明圖為一實(shí)施例中溫度傳感器制備方法的方法流程圖;圖a~c為一實(shí)施例中溫度傳感器制備方法各步驟對(duì)應(yīng)生成的結(jié)構(gòu)剖視圖。圖為一實(shí)施例中溫度傳感器側(cè)視圖。溫度傳感器哪家靠譜?深圳美信美科技有限公司。鄭州圓形溫度傳感器參數(shù)

電阻式溫度測(cè)量裝置也是電性的。佛山大規(guī)模溫度傳感器封裝

    使溫度傳感器性能更加穩(wěn)定。還涉及一種溫度傳感器,包括:基底,基底包括硅片和在硅片上形成的氧化硅薄膜,硅片和氧化硅薄膜之間形成有空腔;和測(cè)溫單元,測(cè)溫單元形成于所述空腔上方的氧化硅薄膜上,所述測(cè)溫單元用于感測(cè)環(huán)境溫度。如圖c所示,基底包括硅片和氧化硅薄膜,硅片和氧化硅薄膜之間形成有空腔。測(cè)溫單元是溫度傳感器的工作單元,溫度傳感器通過(guò)該測(cè)溫單元感知溫度后形成電信號(hào)并輸出,在本方案中,測(cè)溫單元形成于氧化硅薄膜上且位于空腔上方。在一實(shí)施例中,測(cè)溫單元為一熱電阻傳感結(jié)構(gòu),包括:金屬層,金屬層為金屬鉑層,金屬鉑層呈連續(xù)弓字形結(jié)構(gòu);和第二金屬層,位于金屬鉑層外側(cè)兩端,用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖和圖所示,氧化硅薄膜上淀積有一層金屬層,該金屬層為金屬鉑層,即熱電阻傳感結(jié)構(gòu)選用鉑熱電阻。在另一實(shí)施例中,也可選用其他電阻溫度系數(shù)較高的材料如鎳、鐵等。為減小溫度傳感器的尺寸,在小尺寸的基底上增大鉑熱電阻的接觸面積,鉑熱電阻呈連續(xù)弓字形結(jié)構(gòu)(如圖所示)。金屬鉑層外側(cè)兩端淀積有一層第二金屬層。該第二金屬層可為金屬鋁層,用于從金屬鋁處引出該溫度傳感器的輸出端子。佛山大規(guī)模溫度傳感器封裝

標(biāo)簽: 集成電路 溫度傳感器