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深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù),誠信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù),誠信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。擔(dān)心買不到原裝的集成電路?找深圳市美信美科技。上海模擬集成電路價(jià)格
互連層a在存儲(chǔ)單元a,的工作mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件正下方延伸為連續(xù)結(jié)構(gòu)?;ミB層a通過互連層b和多個(gè)通孔a連接至存儲(chǔ)單元a,的工作mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件。第三互連層c具有離散的互連結(jié)構(gòu)。離散的互連結(jié)構(gòu)限定連接至圖的存儲(chǔ)器陣列的列內(nèi)的相應(yīng)存儲(chǔ)單元的兩條字線wl至wl以及連接至圖的存儲(chǔ)器陣列的行內(nèi)的相應(yīng)存儲(chǔ)單元的位線bl。在一些實(shí)施例中,存儲(chǔ)單元a,的工作mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件可以通過多個(gè)通孔b連接至第三互連層c。在一些實(shí)施例中,一個(gè)或多個(gè)附加存儲(chǔ)單元可以布置在存儲(chǔ)單元a,上方。在這樣的實(shí)施例中。第四互連層d在存儲(chǔ)單元b,的工作mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件正下方延伸為連續(xù)結(jié)構(gòu)。第四互連層d通過第五互連層e和第三多個(gè)通孔c連接至存儲(chǔ)單元b,的工作mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件。第六互連層f限定連接至圖的存儲(chǔ)器陣列的列內(nèi)的相應(yīng)存儲(chǔ)單元的兩條字線wl至wl以及連接至圖的存儲(chǔ)器陣列的行內(nèi)的相應(yīng)存儲(chǔ)單元的位線bl。在一些實(shí)施例中。存儲(chǔ)單元a,的工作mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件可以通過第四多個(gè)通孔d連接至第六互連層f。在其它實(shí)施例(未示出)中,一個(gè)或多個(gè)附加存儲(chǔ)單元可以橫向地布置為鄰近存儲(chǔ)單元a,。長沙特大規(guī)模集成電路工藝集成電路行業(yè)作為全球信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),是世界電子信息技術(shù)創(chuàng)新的基石。
存取晶體管)用于在讀取和/或?qū)懭氩僮髌陂g選擇性地向相關(guān)的mtj器件提供電壓和/或電流。因?yàn)閙ram單元通常對寫入操作使用相對高的電壓和/或電流,所以驅(qū)動(dòng)晶體管的尺寸可能相對較大。雖然可以使mram單元的mtj具有小的尺寸,但是相對大尺寸的驅(qū)動(dòng)晶體管限制了存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的小型ram單元可以縮小的程度。在一些實(shí)施例中,涉及集成芯片,該集成芯片包括具有多個(gè)存儲(chǔ)單元(例如,mram單元)的存儲(chǔ)器陣列,存儲(chǔ)單元不包括驅(qū)動(dòng)晶體管(即,不使用驅(qū)動(dòng)晶體管來對存儲(chǔ)單元提供電壓和/或電流)。而且,多個(gè)存儲(chǔ)單元分別包括調(diào)節(jié)訪問裝置。該調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為選擇性地對存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的工作mtj器件提供訪問。調(diào)節(jié)訪問裝置具有連接至工作mtj器件的一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件。一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件被配置為通過控制(即。調(diào)節(jié))提供給工作mtj器件的電流來選擇性地對工作mtj器件提供訪問。通過使用調(diào)節(jié)訪問裝置來選擇性地對存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的工作mtj器件提供訪問,可以減小存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的存儲(chǔ)單元(例如。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR。
mram單元),各存儲(chǔ)單元具有被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。雖然關(guān)于方法描述了圖至圖,但是應(yīng)該理解,圖至圖中公開的結(jié)構(gòu)不限于這種方法,而且可以作為于該方法的結(jié)構(gòu)而單獨(dú)存在。的截面圖所示,在襯底上方形成互連層a。在一些實(shí)施例中,通過在襯底上方形成層間介電(ild)層來形成互連層a。在一些實(shí)施例中,ild層可以通過一個(gè)或多個(gè)附加介電層與襯底分隔開。圖案化ild層以限定溝槽。在一些實(shí)施例中,可以通過在ild層上方形成圖案化的掩模層(未示出)并且實(shí)施蝕刻工藝來去除ild層的未由圖案化的掩模層覆蓋的各部分來圖案化ild層。在溝槽內(nèi)形成導(dǎo)電材料,以及隨后是平坦化工藝(例如?;瘜W(xué)機(jī)械平坦化工藝)以形成互連層a。在各個(gè)實(shí)施例中,襯底可以是任何類型的半導(dǎo)體主體(例如,硅、sige、soi等),諸如半導(dǎo)體晶圓和/或晶圓上的一個(gè)或多個(gè)管芯,以及任何與其相關(guān)的其它類型的半導(dǎo)體和/或外延層。在一些實(shí)施例中,ild層可以包括一種或多種介電材料,諸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃(例如,硼磷硅酸鹽玻璃)等。在一些實(shí)施例中,導(dǎo)電材料可以包括通過沉積工藝(例如,cvd、pvd、pe-cvd、ald等)形成的金屬(例如,鎢、鋁等)。集成電路產(chǎn)業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵,是新一輪科技產(chǎn)業(yè)變革的關(guān)鍵力量。
存儲(chǔ)單元a,的工作mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件可以通過第四多個(gè)通孔d連接至第六互連層f。在其它實(shí)施例(未示出)中,一個(gè)或多個(gè)附加存儲(chǔ)單元可以橫向地布置為鄰近存儲(chǔ)單元a,。在一些這樣的實(shí)施例中。存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的存儲(chǔ)單元可以在相同的互連層上彼此橫向鄰近布置。應(yīng)當(dāng)理解,圖a至圖b所示的集成芯片和可以實(shí)現(xiàn)圖的存儲(chǔ)器陣列的集成芯片的兩個(gè)非限制性實(shí)施例,并且可以在可選實(shí)施例中使用其它實(shí)施方式。在一些實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件可以具有相同的尺寸。在其它實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件可以具有彼此不同的尺寸和/或與工作mtj器件不同的尺寸。例如,圖a示出了具有調(diào)節(jié)訪問裝置的存儲(chǔ)器電路的一些額外實(shí)施例的示意圖,該調(diào)節(jié)訪問裝置包括具有不同尺寸的調(diào)節(jié)器件。存儲(chǔ)器電路包括多個(gè)存儲(chǔ)單元a,至c,,每個(gè)存儲(chǔ)單元分別包括被配置為存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的工作mtj器件和被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。調(diào)節(jié)訪問裝置包括連接至mtj器件的同一層的調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件。調(diào)節(jié)mtj器件連接在字線(例如,wl)和工作mtj器件之間,而調(diào)節(jié)mtj器件連接在字線(例如,wl)和工作mtj器件之間。工作mtj器件進(jìn)一步連接至位線(例如,bl)。集成電路作為全球信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)與關(guān)鍵,被譽(yù)為“現(xiàn)代工業(yè)的糧食”。南京中規(guī)模集成電路報(bào)價(jià)
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可在各個(gè)實(shí)施例中重復(fù)參考標(biāo)號(hào)和/或字符。該重復(fù)是為了簡單和清楚的目的,并且其本身不指示所討論的各個(gè)實(shí)施例和/或配置之間的關(guān)系。而且,為便于描述,在此可以使用諸如“且,為便于描述,在此可以使用諸如個(gè)實(shí)施例和和布置的具體實(shí)例等空間相對術(shù)語,以描述所示的一個(gè)元件或部件與另一個(gè)(或另一些)原件或部件的關(guān)系。除了圖中所示的方位外,空間相對術(shù)語旨在包括器件在使用或操作中的不同方位。裝置可以以其它方式定向(旋轉(zhuǎn)度或在其它方位上),而本文使用的空間相對描述符可以同樣地做出相應(yīng)的解釋。磁阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(mram)單元包括垂直布置在導(dǎo)電電極之間的磁隧道結(jié)(mtj)。mtj包括通過隧穿阻擋層與自由層分隔開的固定層。固定層的磁取向是靜態(tài)的(即,固定的),而自由層的磁取向能夠在相對于固定層的磁取向的平行配置和反平行配置之間切換。平行配置提供低電阻狀態(tài),低電阻狀態(tài)數(shù)字化地將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為位值(例如,邏輯“”)。反平行配置提供高電阻狀態(tài),高電阻狀態(tài)數(shù)字化地將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為位值(例如,邏輯“”)。隨著集成芯片的功能增多。對更多的存儲(chǔ)器的需求也增加,從而使得集成芯片設(shè)計(jì)者和制造商必須增加可用存儲(chǔ)器的量,同時(shí)減小集成芯片的尺寸和功耗。上海模擬集成電路價(jià)格