高純四氟化碳和六氟化硫產(chǎn)品滿足重大專項(xiàng)/課題任務(wù)書研究內(nèi)容和考核指標(biāo)規(guī)定的技術(shù)要求。項(xiàng)目的驗(yàn)收完成，標(biāo)志著黎明院開發(fā)的高純度含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫產(chǎn)品，能夠滿足極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需的高純度氣體需求，也標(biāo)志著極大規(guī)模集成電路行業(yè)用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化。高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必須的清洗、蝕刻氣體。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升，芯片制程向14納米甚至7納米的邁進(jìn)，其對(duì)電子氣體的純度要求越來越高。為此，黎明院借助科技重大專項(xiàng)平臺(tái)，突破產(chǎn)物合成、精制提純、雜物分析、潔凈充裝等關(guān)鍵技術(shù)，攻克了高純度四氟化碳和六氟化硫制備過程中微量雜質(zhì)的純化、分析等技術(shù)難題，制備出5.8N四氟化碳和5.5N六氟化硫，部分雜質(zhì)含量在0.1ppm以內(nèi)。在研發(fā)過程中，并建成了標(biāo)準(zhǔn)化潔凈間。
用硅膠除去氣體中的水分，經(jīng)精餾而得成品。鎮(zhèn)江安全四氟化碳
四氟化碳亦稱全氟化碳、四氟甲烷、全氟化碳，為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅，鋁等金屬材料都可以使用，但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫，一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下：因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀。四氟化碳一般認(rèn)為是惰性低毒物質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，其毒性不及四氯化碳。四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。 南京新能源四氟化碳價(jià)格走勢所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中，需要使用四氟化碳。
四氟化碳的合成方法：由碳與氟反應(yīng)，或一氧化碳與氟反應(yīng)，或碳化硅與氟反應(yīng)，或氟石與石油焦在電爐里反應(yīng)，或二氟二氯甲烷與氟化氫反應(yīng)，或四氯化碳與氟化銀反應(yīng)，或四氯化碳與氟化氫反應(yīng)，都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應(yīng)在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進(jìn)行，反應(yīng)后的氣體經(jīng)水洗、堿洗除去酸性氣體，再通過冷凍，用硅膠除去氣體中的水分，經(jīng)精餾而得成品；預(yù)先稱取5～10g的碳化硅粉末和，置于鎳盤中，使硅和碳化硅充分接觸后，將鎳盤放入蒙乃爾合金反應(yīng)管中，向反應(yīng)管內(nèi)通入氟氣，氟氣先和單質(zhì)硅反應(yīng)，反應(yīng)放熱后，氟開始和碳化硅進(jìn)行反應(yīng)，通入等體積的干燥氮?dú)庖韵♂尫鷼?，使反?yīng)繼續(xù)進(jìn)行，生成氣體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝，然后慢慢地氣化后，將其通過裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化硅，隨后通過硅膠和五氧化二磷干燥塔得到產(chǎn)品；以活性炭與氟為原料經(jīng)氟化反應(yīng)制備。在裝有活性炭的反應(yīng)爐中，緩緩?fù)ㄈ敫邼夥鷼?，并通過加熱器加熱、供氟速率和反應(yīng)爐冷卻控制反應(yīng)溫度。產(chǎn)品經(jīng)除塵，堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進(jìn)行間歇粗餾，通過控制精餾溫度，除去O2、N2、H2，得到高純CF4。
四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane），亦稱四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14），化學(xué)式CF4，商品名稱Reflube 14，相對(duì)分子量88.00。在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。沸點(diǎn)-128℃，熔點(diǎn)-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74MPa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數(shù)（25℃，0.5MPa）1.0006。揮發(fā)性較高，是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，在900攝氏度時(shí)，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1MPa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時(shí)， 會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物，危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。四氟化碳在高溫時(shí)，或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí)，分解出有毒的氟化物。
對(duì)于混合氣而言，配比的精度是參數(shù)，隨著產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，客戶常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾Nppm（partpermillion，百萬分之）乃至ppb（partperbillion，十億分之）級(jí)濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作，其配制過程的難度與復(fù)雜程度也增大。此外，氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環(huán)節(jié)亦對(duì)生產(chǎn)企業(yè)提出了較高的技術(shù)要求作為關(guān)鍵性材料，特種氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對(duì)下游產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)影響巨大。如果晶圓加工環(huán)節(jié)所使用的氣體發(fā)生質(zhì)量問題，將導(dǎo)致整條生產(chǎn)線產(chǎn)品報(bào)廢，造成巨額損失.由碳與氟反應(yīng)，或一氧化碳與氟反應(yīng)。揚(yáng)州新能源四氟化碳高性價(jià)比的選擇
四氟化碳可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。鎮(zhèn)江安全四氟化碳
四氟化碳的用途有哪些？四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體，充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000psig。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學(xué)穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。 鎮(zhèn)江安全四氟化碳