電子廠(chǎng)房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-05-28

定義:氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別)。特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高)(1)自?xún)魰r(shí)間:是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。 1,000級(jí)希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級(jí)希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級(jí)希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計(jì)算)(2)換氣次數(shù)(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設(shè)計(jì))1,000級(jí) 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí) 23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn),欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間,或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞。電子廠(chǎng)房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好

電子廠(chǎng)房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好,檢測(cè)

1、高效過(guò)濾器完整性

a)生物安全柜檢測(cè)的風(fēng)機(jī)和燈,去掉過(guò)濾器的散流裝置和保護(hù)蓋。安放氣溶膠發(fā)生器,將氣溶膠導(dǎo)入安全柜,產(chǎn)生均勻分布的高效過(guò)濾器上游氣流。

b)打開(kāi)氣溶膠光度計(jì),進(jìn)行調(diào)整;對(duì)含有氣溶膠的高效過(guò)濾器上游氣流進(jìn)行測(cè)試,至少應(yīng)有20ug/L PAO 。

c)光度計(jì)探頭在過(guò)濾器下游距過(guò)濾器表面不超過(guò)25mm,以小于50mm/s的掃描速率移動(dòng),使探頭掃測(cè)過(guò)濾器的整個(gè)下游一側(cè)和每個(gè)組合過(guò)濾片的邊緣,掃測(cè)路線(xiàn)應(yīng)略微重疊。

2、噪聲

a)打開(kāi)安全柜的風(fēng)機(jī)和照明燈,在安全柜前面中心水平向外300mm、工作臺(tái)面上方380mm處測(cè)量噪聲;

b)關(guān)閉安全柜的風(fēng)機(jī)和照明燈,如果有室外排氣風(fēng)機(jī),讓其繼續(xù)運(yùn)行,在相同位置測(cè)量背景噪聲。 檢測(cè)方便客戶(hù)按氣流組織分類(lèi),潔凈室可分為三類(lèi):?jiǎn)蜗蛄鳌恿?、潔凈室?/p>

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FFU英文全稱(chēng)為(Fan Filter Unit),中文專(zhuān)業(yè)用語(yǔ)為風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。 FFU風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應(yīng)用于潔凈室、潔凈工作臺(tái)、潔凈生產(chǎn)線(xiàn)、組裝式潔凈室和局部百級(jí)等應(yīng)用場(chǎng)合。

FFU設(shè)有初、高效兩級(jí)過(guò)濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過(guò)濾器過(guò)濾,過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。適用于在各種環(huán)境中獲得高級(jí)別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級(jí)的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠(chǎng)房式改造翻新中,即可提高潔凈度級(jí)別,降低噪音和振動(dòng),也可降低造價(jià),安裝維護(hù)方便,是潔凈環(huán)境的理想部件。

空氣過(guò)濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測(cè)量?jī)x器塵埃粒子計(jì)數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前,生產(chǎn)廠(chǎng)家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別,就可以不進(jìn)行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率,對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠(chǎng)合格率的2倍,對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠(chǎng)合格透過(guò)率的3倍。5、操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量**小為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。按潔凈度級(jí)別劃分為1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)、4級(jí)、5級(jí)、6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)、9級(jí)。9級(jí)為低等級(jí)別。

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3、照度

a)在工作臺(tái)面上,沿工作臺(tái)面兩內(nèi)側(cè)壁中心連線(xiàn)設(shè)置照度測(cè)量點(diǎn),測(cè)量點(diǎn)之間的距離不超過(guò)300mm,與側(cè)壁距離為150mm;

b)關(guān)掉安全柜的燈,從一側(cè)起依次在測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行背景照度測(cè)量。平均背景照度應(yīng)在110lx±50lx;

4、下降氣流流速

在工作區(qū)上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上確定測(cè)量點(diǎn)位置,多點(diǎn)測(cè)量穿過(guò)該平面的下降氣流流速;

a)測(cè)量點(diǎn)等距分布,形成的正方形柵格不大于150mm×150mm,測(cè)試點(diǎn)**少應(yīng)有3排,每排**少應(yīng)有7個(gè)測(cè)量點(diǎn);

b)測(cè)試區(qū)域邊界與安全柜的內(nèi)壁及前窗操作口的距離應(yīng)為150mm。

5、流入氣流流速

測(cè)量排氣氣流流速確定流入氣流流速(適于Ⅱ級(jí)A1、A2型安全柜)

a)用熱式風(fēng)速儀多點(diǎn)測(cè)量穿過(guò)排氣過(guò)濾器面的氣流流速,測(cè)量點(diǎn)為不大于100mm×100mm的柵格點(diǎn),邊界點(diǎn)距過(guò)濾器邊緣100mm,測(cè)量面與過(guò)濾器面的距離約100mm;

b)計(jì)算各測(cè)點(diǎn)排氣流速平均值即為平均排氣流速(m/s),平均排氣流速乘以排氣面積(m2),得到排氣流量(m3/s);

c)排氣流量(m3/s)除以前窗操作口面積(m2),得到平均流入氣流流速(m/s); 空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的,而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示。廣東潔凈室環(huán)境檢測(cè)

一般空調(diào)系統(tǒng)對(duì)系統(tǒng)的氣密性滲氣量雖有要求。電子廠(chǎng)房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好

潔凈手術(shù)部的建筑裝飾應(yīng)遵循不產(chǎn)塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉、容易清潔和負(fù)荷防火要求的總原則。

潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)地面應(yīng)平整,采用耐磨、防滑、耐腐蝕、易清洗、不易起塵與不開(kāi)裂的材料制作。有特殊要求的,可采用有特殊性能的涂料地面。

潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)部墻面應(yīng)使用不易開(kāi)裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料,墻面必須平整,防潮防霉,Ⅰ、Ⅱ級(jí)潔凈室墻面可用整體或裝配式壁板;Ⅲ、Ⅳ級(jí)潔凈室墻面也可用大塊瓷磚或涂料,縫隙均應(yīng)抹平。

潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻面下部的踢腳必須與墻面齊平或凹于墻面;踢腳必須與地面成一整體;踢腳與地面交界處的陰角必須做成R≥40mm 的圓角。其他墻體交界處的陰角宜做成小圓角。

潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻體轉(zhuǎn)角和門(mén)的豎向側(cè)邊的陽(yáng)角應(yīng)為圓角。通道兩側(cè)及轉(zhuǎn)角處墻上應(yīng)設(shè)防撞板。

室內(nèi)與空氣直接接觸的外露材料不得使用木材和石膏。

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標(biāo)簽: 檢測(cè)