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室內靜壓差的測試1、儀器設備及環(huán)境測量儀器傾斜微壓計、數(shù)字微壓計等。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣對有設計要求的各個相鄰區(qū)域實施檢測。3、靜壓差檢測結果應符合下列規(guī)定。（1）相鄰不同級別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。（2）潔凈室與室外靜壓差應大于10Pa。（3）潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室在開門狀態(tài)下在出入口處的室內側0.6m處不應測出超過室內級別上限的濃度。4、操作過程及判定（1）將所有的門關閉，將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內在離壁面不遠處，垂直于氣流方向設置周圍無阻擋氣流擾動**小。（2）靜壓差的測定應從平面上**里面的房間，通常也就是潔凈度級別比較高的房間，與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定，直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。（3）對于潔凈度高于5級的單向流層流潔凈室，還應測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數(shù)。抽樣對有設計要求的區(qū)域進行檢測。上海排風柜檢測誠信推薦

無菌室使用與管理要求

1．工作室應矮小、平整，面積小，高2.2―2.3米，內部裝修應平整、光滑，無凹凸不平或棱角等，四壁及屋頂應用不透水之材質，便于擦洗及殺菌。

2．室內采光面積大，從室外應能看到室內情況。

3．為保證無菌室的潔凈，無菌室周圍需設緩沖走廊，走廊旁再設緩沖間，其面積可小于無菌室。

4．無菌室、緩沖走廊及緩沖間均設有日光燈及供消毒空氣用紫外燈，殺菌紫外燈離工作臺以1米為宜 ，其電源開關均應設在室外。

5．無菌室與緩沖間進出口應設拉門，門與窗平齊，門縫要封緊，兩門應錯開，以免空氣對流造成污染。

6．無菌室的使用與管理

（1） 無菌室應保持清潔整齊，室內存放必須的檢驗用具如酒精燈、酒精棉、火柴、鑷子、接種針、接種環(huán)等。不要放與檢測無關的物品

（2） 室內檢驗用具及凳桌等保持固定位置，不隨便移動。

（3） 每2―3周用2%石炭酸水溶液擦拭工作臺、門、窗、桌、椅及地面，然后用3%石炭酸水溶液噴霧消毒空氣，紫外燈殺菌半小時。

廣東潔凈工作臺檢測規(guī)范性強非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于60dB(A)，單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級不應大于65dB(A)。

熱球風速儀。熱球風速儀也是基于散熱與風速有關的原理制成的，分測頭和指示儀表兩部分。測頭由電熱線圈(或電熱絲)和熱電偶組成。當電熱線圈通以額定電流時，它的溫度升高，加熱了玻璃球，因玻璃球體積很小，球體的溫度可以認為與電熱線圈的溫度相同，通過電流時熱電偶便產(chǎn)生熱電勢，指示儀表則指示出相應的熱電勢的大小。玻璃球的溫度升降、熱電勢相應的大小與氣流流速有關，氣流流速大，球體散熱快，溫升越小;反之，氣流流速小，球體散熱慢，溫升越大，熱電勢也就越大。按此原理，指示儀表可直接顯示出風速。！

潔凈室正壓值是指門窗全部關閉狀態(tài)下，室內靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。它是通過凈化系統(tǒng)送風量大于回風量和排風量的方法來達到。為了保證潔凈室正壓值，送風、回風和排風機比較好聯(lián)鎖，系統(tǒng)開啟時先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；系統(tǒng)關閉時先關排風機，再關回風機和送風機，以防止?jié)崈羰以谙到y(tǒng)開啟和關閉時受到污染。

維持潔凈室正壓所需的風量主要根據(jù)維護結構密閉性好壞來確定。我國潔凈室建設初期由于圍護結構密閉性較差，要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風量;目前維護結構密閉性已大為提高，維持同樣的正壓只要1~2次/h送風量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風量。 傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間，或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞。

 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

  (1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

  (2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

  (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

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依據(jù)美國聯(lián)邦頒布的標準，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5m，例如，1級、10級、100級無塵室比較大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。并且通過FS209E標準劃分，每立方英尺里面允許含有較多的0.5微米塵埃粒子的數(shù)量就是潔凈室的等級，比如每立方英尺允許含有較多1000個0.5微米的例子，那么這個潔凈室就是千級，如果是10000個粒子就是萬級，總共是從一級，十級，百級，千級，萬級到百萬級；工業(yè)無塵室主要控制無生命微粒對工作對象的污染，其內部一般保持正壓，它適用于精密工業(yè)、電子工業(yè)、航天工業(yè)、化學工業(yè)、印刷工業(yè)等部門。工業(yè)無塵車間只要控制參數(shù)是溫度、濕度、風速、流場、潔凈度！上海排風柜檢測誠信推薦

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