湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-04-13

    COB生產(chǎn)流程:晶粒進(jìn)料→晶粒檢測(cè)→清洗PCB→點(diǎn)膠→粘晶?!婵尽蚓€→過(guò)境→OTP燒錄→封膠→測(cè)試→QC抽檢→入庫(kù)。其中烘烤這一環(huán)節(jié)是很重要的一步之一,烘烤的目的是將前一道的工序中的膠烘干,使得IC在PCB上粘牢,以確保下一道工序中IC在打線過(guò)程中不會(huì)移動(dòng)。不同的膠需要的烘烤時(shí)間和溫度也是不一樣的。缺氧膠烘烤溫度90度烘烤10分鐘,銀膠烘烤溫度120度烘烤90分鐘,紅膠烘烤溫度120度烘烤30分鐘。無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking),曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘(Hardbaking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。 真空泵在運(yùn)行過(guò)程中,軸承溫度不能超過(guò)環(huán)境溫度35C,最高溫度不得超過(guò)80C。湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

真空烘箱

常用PI/BCB/BPO膠的固化方法如下:1、在半導(dǎo)體芯片表面涂覆一層粘附劑;2、通過(guò)旋轉(zhuǎn)方式在半導(dǎo)體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)PI/BCB/BPO膠,接著將涂覆好PI/BCB/BPO膠的半導(dǎo)體芯片放入固化爐中,并通入氮?dú)獗Wo(hù);3、加熱固化爐,使涂覆PI/BCB/BPO膠的半導(dǎo)體芯片達(dá)到一溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,使PI/BCB/BPO膠中的溶劑分布均勻4、再將加熱固化爐升高到第二溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,使PI/BCB/BPO膠中的溶劑充分揮發(fā);5、再將加熱固化爐升高至第三溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,在半導(dǎo)體芯片表面形成低介電常數(shù)PI/BCB/BPO膠薄膜;6、將加熱固化爐的溫度降至一預(yù)定溫度,關(guān)氮?dú)?,取出樣品,完成固化工藝。湖州易維護(hù)真空烘箱調(diào)試調(diào)整關(guān)緊箱門(mén),放氣閥,箱門(mén)上有螺栓,可使箱門(mén)與硅膠密封條緊密結(jié)合;

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    橡膠的種類(lèi)隨著室溫硫化膠料的增加和高溫硫化的出現(xiàn),硫化溫度趨向兩個(gè)極端。從提高硫化效率來(lái)說(shuō),應(yīng)當(dāng)認(rèn)為硫化溫度越高越好,但實(shí)際上不能無(wú)限提高硫化溫度。橡膠為高分子聚合物,高溫會(huì)使橡膠分子鏈產(chǎn)生裂解反應(yīng),導(dǎo)致交聯(lián)鍵斷裂,即出現(xiàn)“硫化返原”現(xiàn)象,從而使硫化膠的物理機(jī)械性能下降。綜合考慮各橡膠的耐熱性和“硫化返原”現(xiàn)象,各種橡膠建議的硫化溫度如下:NR比較好在140-150℃,比較高不超過(guò)160℃;順丁橡膠、異戊橡膠和氯丁橡膠比較好在150-160℃,比較高不超過(guò)170℃丁苯橡膠、丁腈橡膠可采用150℃以上,但比較高不超過(guò)190℃;丁基橡膠、三元乙丙橡膠一般選用160-180℃,比較高不超過(guò)200℃;硅橡膠、氟橡膠一般采用二段加硫,一段溫度可選170-180℃,二段硫化則選用200-230℃,按工藝要求可在4-24h范圍內(nèi)選擇。

在CCD(電荷耦合器件)制造過(guò)程中,顆粒沾污對(duì)CCD的薄膜質(zhì)量、光刻圖形完整性等有很大的影響,降低CCD的成品率。CCD制造過(guò)程中的顆粒來(lái)源主要有兩個(gè)方面:一個(gè)制造過(guò)程中工藝環(huán)境產(chǎn)生的顆粒;另一個(gè)是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過(guò)程中產(chǎn)生的顆粒。工藝環(huán)境的顆粒可來(lái)源于墻體、設(shè)施、設(shè)備、材料和人員,工藝過(guò)程的顆粒來(lái)源于易產(chǎn)生粉塵的工藝,比如說(shuō)LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。無(wú)塵烘箱,即使在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100,為CCD(電荷耦合器件)制造過(guò)程中烘烤提供潔凈環(huán)境,預(yù)防顆粒沾污干燥完成后,先將放氣閥打開(kāi),放出里面氣體,再進(jìn)行打開(kāi)真空干燥箱箱門(mén),取出物料。

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烘箱結(jié)構(gòu)真空烘箱能在較低溫度下獲得較高的干燥速率,熱量利用充足,主要合用于對(duì)熱敏性物料和含有容劑及需回收溶劑物料的干燥。在干燥前可進(jìn)行消毒辦理,干燥過(guò)程中任何不純物無(wú)混入,本干燥器屬于靜態(tài)真空干燥器,故干燥物料的形成不會(huì)破壞。加熱方式有:蒸汽、熱水、導(dǎo)熱油、電熱。在真空條件下,溶劑沸點(diǎn)明顯降低,箱內(nèi)保持溫度恒定,實(shí)現(xiàn)樣品在較低溫度下快速干燥,同時(shí)供給一個(gè)無(wú)塵、無(wú)旋渦、平和的干燥環(huán)境,還使得溶劑的蒸汽易于采集,排放或再利用??諝庋h(huán)系統(tǒng)采納雙電機(jī)水平循環(huán)送風(fēng)方式,風(fēng)循環(huán)平均高效。真空泵在寒冬季節(jié)使用時(shí),停車(chē)后,需將泵體下部放水螺塞擰開(kāi)將介質(zhì)放凈。防止凍裂。金華整體成型硅橡密封圈真空烘箱PID調(diào)節(jié)

檢查真空泵管路及結(jié)合處有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象。湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

使用注意事項(xiàng)1.真空箱外殼必須有效接地,以保證使用安全。2.真空箱應(yīng)在相對(duì)濕度≤85%RH,周?chē)鸁o(wú)腐蝕性氣體、無(wú)強(qiáng)烈震動(dòng)源及強(qiáng)電磁場(chǎng)存在的環(huán)境中使用。3.真空箱工作室無(wú)防爆、防腐蝕等處理,不得放易燃、易爆、易產(chǎn)生腐蝕性氣體的物品進(jìn)行干燥。4.真空泵不能長(zhǎng)時(shí)期工作,因此當(dāng)真空度達(dá)到干燥物品要求時(shí),應(yīng)先關(guān)閉真空閥,再關(guān)閉真空泵電源,待真空度小于干燥物品要求時(shí),再打開(kāi)真空閥及真空泵電源,繼續(xù)抽真空,這樣可延長(zhǎng)真空泵使用壽命。5.干燥的物品如潮濕,則在真空箱與真空泵之間比較好加入過(guò)濾器,防止潮濕氣體進(jìn)入真空泵,造成真空泵故障。6.干燥的物品如干燥后改變?yōu)橹亓枯p,體積?。樾☆w粒狀),應(yīng)在工作室內(nèi)抽真空口加隔阻網(wǎng),以防干燥物吸入而損壞真空泵(或電磁閥)。湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

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