全國真空泵答疑解惑

蠕動泵提高工作效率的小技巧：蠕動泵停止工作時松開泵頭壓管模塊蠕動泵在停止工作后松開壓管模塊能夠比較大限度的延長蠕動泵軟管的使用壽命。眾所周知，蠕動泵是通過反復(fù)擠壓的蠕動泵軟管，蠕動泵軟管回彈后所產(chǎn)生的吸力使得所傳輸?shù)牧黧w向前（向后）運動，達到流體傳輸?shù)哪康摹Ｈ欢绻鋭颖迷谕Ｖ构ぷ骱蟛凰砷_壓管模塊，回使得蠕動泵軟管長時間處于被擠壓狀態(tài)，會造成蠕動泵軟管彈性流失，使用壽命受損。因此，蠕動泵停止工作后應(yīng)該及時松開壓管模塊，讓蠕動泵軟管處理自然狀態(tài)。蠕動泵還具有較好的自吸能力和可逆性，可以通過反轉(zhuǎn)滾輪或滑塊的方向來實現(xiàn)液體的反向流動。全國真空泵答疑解惑

有些真空泵因為高速運動部件制造比較困難，微型化后性能會大幅下降。如宏觀低真空比較常用的旋片泵，微型化時要保證旋片和腔體間嚴格密封以及高度耐磨，這對加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好實現(xiàn)。利用先進LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技術(shù)實現(xiàn)的、與旋片泵原理比較接近的微型精密旋轉(zhuǎn)齒輪泵，功能還只限于液體抽運，而不能有效用于實現(xiàn)真空[10]。宏觀高真空比較常用的渦輪分子泵，雖然已有針對小型化的新設(shè)計提出[11]，但因其高速葉輪和復(fù)雜結(jié)構(gòu)制造與微加工兼容較差，目前只有部分采用微加工技術(shù)的準微型化樣品[12]，全MEMS 微加工技術(shù)的分子泵成品尚未見報道。自動化真空泵代理價格真空泵主要分為氣體捕集泵和氣體傳輸泵兩大類真空泵是用各種方法在某一封閉空間產(chǎn)生改善和維持真空的裝置。

微型化真空泵技術(shù)及發(fā)展本節(jié)簡要介紹一些研究進展較為明顯，或當前關(guān)注度較高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/擴散泵、努森泵和離子泵。2.1微型化膜片泵典型的單級膜片泵通常由一個腔體、一個泵膜、兩個閥門和一個致動器組成，它利用泵膜的往復(fù)運動營造腔體容積的周期性變化，利用單向閥門控制氣體流向，實現(xiàn)氣流的定向引入、輸出。膜片泵的原理、結(jié)構(gòu)相對簡單，膜片材料可使用硅、電介質(zhì)和多種聚合物，驅(qū)動機制可采用靜電、壓電、電滲、氣動和磁力等[16]。關(guān)鍵部件的材料及加工都兼容MEMS工藝，使得膜片泵比較容易和其他微型器件集成，構(gòu)建片上型系統(tǒng)[17]。

有效提高蠕動泵工作效率的小技巧：蠕動泵外殼和蠕動泵管的清潔蠕動泵在使用過程中要注意清理泵殼和泵管上的雜物。由于蠕動泵是相對精密的儀器，主要靠泵殼保持較高精度的間隙，從而的擠壓泵管，如果因為泵管損壞而流入液體粘連到泵殼壓輪和壓塊及泵管上，就會改變泵頭的壓緊間隙，那怕是微小的變化也會造成泵管的過度過早磨損，嚴重的會影響到泵頭造成泵頭的損壞。7、定期檢查防止泵管破損蠕動泵在使用的時候要定時檢查泵管的磨損情況。因為蠕動泵管是易損件，一旦破損就會造成液體滲漏，因此要及時檢查泵表的表面是泵有早期磨口，以防止泵管破損。8、泵管材質(zhì)的選擇在選擇蠕動泵的時候要注意需要輸送的液體會不會腐蝕泵管。因為泵管的材質(zhì)較多，輸送的液體種類也非常多，沒有一種泵管可以耐受所有的液體，所以需要確認自己的液體種類，通過化學(xué)相溶表做對比或者通過浸泡實驗確保泵管可以使用。工業(yè)型蠕動泵：蠕動泵采用大扭矩，免維護的直流無刷電機驅(qū)動，應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)過程中大流量傳輸?shù)霓D(zhuǎn)速泵。

微型化真空泵對于微機電系統(tǒng)和真空微電子器件的真空封裝極具意義。本文從工作原理和工藝實現(xiàn)方面，分析了常見傳統(tǒng)真空泵實現(xiàn)微型化的可行性，介紹了膜片泵、射流/ 擴散泵、努森泵和離子泵的微型化進展，并總結(jié)了當前存在的技術(shù)障礙。結(jié)果表明，目前熱點研究的微型化真空泵已經(jīng)可以構(gòu)建從大氣狀態(tài)至高真空的真空系統(tǒng)。雖然真空泵微型化后，其性能和工作穩(wěn)定性相對傳統(tǒng)宏觀真空泵有較大降低，但具有低功耗、可集成優(yōu)勢，對便攜式系統(tǒng)和高真空微系統(tǒng)十分必要。蠕動泵工作時滾輪或轉(zhuǎn)子沿軟管長度方向滾動，滾動過程中擠壓軟管，使軟管內(nèi)形成自吸壓力將液體吸進軟管中。上海氣體采樣真空泵

真空泵可以定義為:利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。全國真空泵答疑解惑

微型真空泵的真空度概述微型真空泵是一種小型化、低噪音、高效能的真空設(shè)備，廣泛應(yīng)用于各種需要真空環(huán)境的領(lǐng)域。微型真空泵的真空度是指其在工作狀態(tài)下達到的較高真空程度，通常用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）等單位進行表示。一般來說，微型真空泵的真空度越高，其所能達到的真空狀態(tài)越低，其性能越好。二、微型真空泵真空度的影響因素微型真空泵真空度的高低，受到以下幾個因素的影響：1. 微型真空泵的類型和結(jié)構(gòu)：不同類型和結(jié)構(gòu)的微型真空泵，其真空度存在差異。如旋片式微型真空泵具有較高的真空度，而鼓風(fēng)機式微型真空泵則真空度相對較低。2. 真空泵的抽氣速度：抽氣速度是指單位時間內(nèi)真空泵抽取的氣體量。抽氣速度越大，微型真空泵所能達到的真空度也就越高。全國真空泵答疑解惑