納米壓痕技術(shù)通過(guò)測(cè)量壓針的壓入深度,根據(jù)特定形狀壓針壓入深度與接觸面積的關(guān)系推算出壓針與被測(cè)樣品之間的接觸面積。因此,納米壓痕也被稱為深度識(shí)別壓痕(depth-sensing indentation,DSI) 技術(shù)。納米壓痕技術(shù)的應(yīng)用范圍非常普遍,可以用于金屬、陶瓷、聚合物、生物材料、薄膜等絕大多數(shù)樣品的測(cè)試。納米壓痕相關(guān)儀器的操作和使用也非常方便,加載過(guò)程既可以通過(guò)載荷控制,也可以通過(guò)位移控制,并且只需測(cè)量壓針壓入樣品過(guò)程中的載荷位移曲線,結(jié)合恰當(dāng)?shù)牧W(xué)模型就可以獲得樣品的力學(xué)信息。納米力學(xué)測(cè)試可應(yīng)用于納米材料、生物材料、涂層等領(lǐng)域的研究和開(kāi)發(fā)。福建微電子納米力學(xué)測(cè)試參考價(jià)
納米壓痕儀簡(jiǎn)介,近年來(lái),國(guó)內(nèi)外研究人員以納米壓痕技術(shù)為基礎(chǔ),開(kāi)發(fā)出多種納米壓痕儀,并實(shí)現(xiàn)了商品化,為材料的納米力學(xué)性能檢測(cè)提供了高效、便捷的手段。圖片納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試,測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線計(jì)算得出,無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積。納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng)、 移動(dòng)線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個(gè)部分。壓頭一般使用金剛石壓頭,分為三角錐或四棱錐等類型。試驗(yàn)時(shí),首先輸入初始參數(shù),之后的檢測(cè)過(guò)程則完全由微機(jī)自動(dòng)控制,通過(guò)改變移動(dòng)線圈系統(tǒng)中的電流,可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動(dòng)作,壓頭壓入載荷的測(cè)量和控制通過(guò)應(yīng)變儀來(lái)完成,同時(shí)應(yīng)變儀還將信號(hào)反饋到移動(dòng)線圈系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗(yàn)。重慶高精度納米力學(xué)測(cè)試模塊通過(guò)納米力學(xué)測(cè)試,我們可以深入了解納米材料在受到外力作用時(shí)的變形和破壞機(jī)制。
在AFAM 測(cè)試系統(tǒng)開(kāi)發(fā)方面,Hurley 等開(kāi)發(fā)了一套基于快速數(shù)字信號(hào)處理的掃頻模式共振頻率追蹤系統(tǒng)。這一測(cè)試系統(tǒng)可以根據(jù)上一像素點(diǎn)的接觸共振頻率自動(dòng)調(diào)整掃描頻率的上下限。隨后,他們又開(kāi)發(fā)出一套稱為SPRITE(scanning probe resonance image tracking electronics) 的測(cè)試系統(tǒng),可以同時(shí)對(duì)探針兩階模態(tài)的接觸共振頻率和品質(zhì)因子進(jìn)行成像,并較大程度上提高成像速度。Rodriguez 等開(kāi)發(fā)了一種雙頻共振頻率追蹤(dual frequency resonance tracking,DFRT) 的方法,此種方法應(yīng)用于AFAM 定量化成像中,可以同時(shí)獲得探針的共振頻率和品質(zhì)因子。日本的Yamanaka 等利用PLL(phase locked loop) 電路實(shí)現(xiàn)了UAFM 接觸共振頻率追蹤。
金屬玻璃納米線的熱機(jī)械蠕變測(cè)試,金屬玻璃由于其獨(dú)特的力學(xué)性能,如高彈性極限和高斷裂韌性,而受到越來(lái)越多的關(guān)注。而且,其寬的過(guò)冷液態(tài)區(qū)間開(kāi)啟了超塑成形的材料加工工藝。因此定量研究金屬玻璃的熱機(jī)械行為是至關(guān)重要的。右圖顯示了針對(duì)金屬玻璃超塑性性能的研究。金屬玻璃納米線通過(guò)Pt基電子束沉積方法固定在FT-S微力傳感探針和樣品臺(tái)之間。在進(jìn)行蠕變測(cè)試時(shí)(施加固定拉伸力來(lái)測(cè)量樣品的形變量),納米力學(xué)測(cè)試采用對(duì)納米線通電加熱來(lái)控制納米線溫度。這樣可測(cè)試納米線在不同溫度下的熱機(jī)械蠕變性能。原子力顯微鏡(AFM)在納米力學(xué)測(cè)試中發(fā)揮著重要作用,可實(shí)現(xiàn)高分辨率成像。
樣品制備,納米力學(xué)測(cè)試納米纖維的拉伸測(cè)試前需要復(fù)雜的樣品制備過(guò)程,因此FT-NMT03納米力學(xué)測(cè)試具備微納操作的功能,納米力學(xué)測(cè)試?yán)昧鞲形㈣嚮蛘呶⒘鞲衅骺梢詫?duì)單根納米纖維進(jìn)行五個(gè)自由度的拾取-放置操作(閉環(huán))??梢允褂镁劢闺x子束(FIB)沉積或電子束誘導(dǎo)沉積(EBID)對(duì)樣品進(jìn)行固定。納米力學(xué)測(cè)試這種結(jié)合了電-機(jī)械測(cè)量和納米加工的技術(shù)為大多數(shù)納米力學(xué)測(cè)試應(yīng)用提供了完美的解決方案。SEM/FIB集成,得益于FT-NMT03納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)的緊湊尺寸(71×100×35mm),該系統(tǒng)可以與市面上絕大多數(shù)的全尺寸SEM/FIB結(jié)合使用,在樣品臺(tái)上安裝和拆卸該系統(tǒng)十分簡(jiǎn)便,只需幾分鐘。此外,由于FT-NMT03納米力學(xué)測(cè)試的獨(dú)特設(shè)計(jì)(無(wú)基座、開(kāi)放式),納米力學(xué)測(cè)試體系統(tǒng)可以和電子背向散射衍射儀(EBSD)和掃描透射電子顯微鏡(STEM)技術(shù)兼容。在納米力學(xué)測(cè)試中,常用的儀器包括原子力顯微鏡、納米硬度儀等設(shè)備。重慶高精度納米力學(xué)測(cè)試模塊
利用大數(shù)據(jù)和人工智能技術(shù),優(yōu)化納米力學(xué)測(cè)試結(jié)果分析,提升研究效率。福建微電子納米力學(xué)測(cè)試參考價(jià)
英國(guó):國(guó)家物理研究所對(duì)各種納米測(cè)量?jī)x器與被測(cè)對(duì)象之間的幾何與物理間的相互作用進(jìn)行了詳盡的研究,繪制了各種納米測(cè)量?jī)x器測(cè)量范圍的理論框架,其研制的微形貌納米測(cè)量?jī)x器測(cè)量范圍是0.01n m~3n m和0.3n m~100n m。Warwick大學(xué)的Chetwynd博士利用X光干涉儀對(duì)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)用的波長(zhǎng)進(jìn)行細(xì)分研究,他利用薄硅片分解和重組X光光束來(lái)分析干涉圖形,從干涉儀中提取的干涉條紋與硅晶格有相等的間距,該間距接近0.2nm,他依此作為校正精密位移傳感器的一種亞納米尺度。Queensgate儀器公司設(shè)計(jì)了一套納米定位裝置,它通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)元件和電容位置傳感器相結(jié)合的控制裝置達(dá)到納米級(jí)的分辨率和定位精度。福建微電子納米力學(xué)測(cè)試參考價(jià)