激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號,因而對于激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。多功能激光干涉儀品牌
隨著高精度數(shù)控機床行業(yè)的快速發(fā)展,激光干涉儀在機床行業(yè)的使用越來越普遍,然而其在使用過程中對激光光路的準直調(diào)整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題,因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調(diào)整占用了很大一部分時間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準方法都是憑經(jīng)驗,來回反復調(diào)整,也有人提出“高處動尾部,低處動整體”的方法。其實后一種方法只是對前者的一種方法的經(jīng)驗總結,后一種方法是從整體上把握了調(diào)整的方向,可以讓操作人員少走彎路,但并未提出一種定量的調(diào)整方法,所以在光路大體調(diào)整好后,還是靠經(jīng)驗感覺反復進行進一步精調(diào),所以光路準直工作的效率還是亟待提高。鄭州精密儀器激光干涉儀廠商可進行滾珠絲桿的動態(tài)特性分析。
激光干涉儀初步調(diào)整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。
激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領域應用普遍。激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束。
激光干涉儀的應用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。激光干涉儀具有較高的精度和效率。滄州高精度激光干涉儀
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。多功能激光干涉儀品牌
隨著光學產(chǎn)品的快速發(fā)展,從高科技產(chǎn)品到數(shù)碼相機、手機等大眾消費產(chǎn)品,無不與光學息息相關,推動了光學研究和光學加工的快速發(fā)展,同時也光學檢測手段提出了更高的要求,也正因為如此,激光干涉儀成為眾多光學冷加工廠商的夢想與追求,擁有一臺激光干涉儀,就擁有世界先進的檢測手段,就擁有令人信服的檢測結果,就能證明可以生產(chǎn)先進的產(chǎn)品。目前激光干涉儀已普遍地應用在光學加工企業(yè)、光學檢測機構以及其他需要進行光學表面檢測的場合。多功能激光干涉儀品牌