干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇的真空獲得設(shè)備,日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線(xiàn),并投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線(xiàn),并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。中國(guó)企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn),在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。在1999年底正式推出的螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專(zhuān)門(mén)為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計(jì)的干式泵,它是一種全新的設(shè)計(jì),是專(zhuān)門(mén)用來(lái)解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問(wèn)題,如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子,有內(nèi)壓縮過(guò)程,泵腔內(nèi)無(wú)軸承和密封,極大降低了故障率,泵腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部閥門(mén),因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng),此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻,可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形,螺桿壽命長(zhǎng)。真空泵轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線(xiàn)柱面,加工和檢查比較困難。單級(jí)油式旋片真空泵現(xiàn)貨
吸氣劑離子泵它有如下幾種型式。蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。濺射離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為:粗真空、高真空、超高真空三大類(lèi)。無(wú)油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置,實(shí)現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離;加上活塞環(huán)使用了自潤(rùn)滑材料,便實(shí)現(xiàn)了先進(jìn)的無(wú)油潤(rùn)滑。由于無(wú)污水排放,所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過(guò)程中。消音器哪里有賣(mài)羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,它通常需配置前級(jí)泵,主要起提高抽速和真空度的作用。
水環(huán)式真空泵是抽放井下沼氣所用的真空泵。該真空泵抽放負(fù)壓高、流量小、適用于抽放量不大、要求抽放負(fù)壓高的礦井使用。水環(huán)式真空泵安全性好,一般礦井都要求較高的抽放負(fù)壓,所以使用較普遍。當(dāng)水環(huán)真空泵吸氣完成時(shí)與吸氣口隔絕,從Ⅱ-Ⅱ到Ⅲ-Ⅲ斷面,小腔的容積正逐漸減小,壓力不斷地增大,此時(shí)正處于壓縮過(guò)程,當(dāng)壓縮的氣體提前達(dá)到排氣壓力時(shí),從輔助排氣閥提前排氣。從斷面Ⅲ-Ⅲ到Ⅰ-Ⅰ,而與排氣口相通的小腔的容積進(jìn)一步地減小壓強(qiáng)進(jìn)一步的升高,當(dāng)氣體的壓強(qiáng)大于排氣壓強(qiáng)時(shí),被壓縮的氣體從排氣口被排出,在泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,不斷地進(jìn)行著吸氣、壓縮、排氣過(guò)程,從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。
真空泵機(jī)械選擇:真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施;了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等;真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。真空泵主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。
在檢查確定真空泵工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。它是決議產(chǎn)品的大小,抽氣量請(qǐng)求愈高,產(chǎn)品體積相對(duì)愈大,所需配用的電機(jī)功率亦會(huì)愈高。它是決議產(chǎn)品采用何種構(gòu)造,真空度是有表壓及壓力這兩種讀數(shù)。壓力表示讀數(shù)是值,即讀數(shù)愈靠近‘0\',真空度愈高。但反觀表壓,愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高,假若你所請(qǐng)求的壓力(極限真空)是靠近‘0\',那么只要真空泵才能夠滿(mǎn)足這個(gè)需求。螺桿真空泵它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。單級(jí)油式旋片真空泵現(xiàn)貨
我們常用的真空泵為蒸汽噴發(fā)真空泵,是以過(guò)飽滿(mǎn)水蒸汽為作業(yè)介質(zhì)的,蒸汽的狀況對(duì)泵的功能有決定性的影響。單級(jí)油式旋片真空泵現(xiàn)貨
分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。單級(jí)油式旋片真空泵現(xiàn)貨