浙江鈣鈦礦異質(zhì)結CVD

異質(zhì)結硅太陽能電池的工藝要求與同質(zhì)結晶體硅太陽能電池相比，有幾個優(yōu)點：與同質(zhì)結形成相比，異質(zhì)結形成期間的熱預算減少。a-Si:H層和TCO前接觸的沉積溫度通常低于250℃。與傳統(tǒng)的晶體硅太陽能電池相比，異質(zhì)結的形成和沉積接觸層所需的時間也更短。由于異質(zhì)結硅太陽能電池的低加工溫度及其對稱結構，晶圓彎曲被抑制。外延生長：在晶體硅和a-Si:H鈍化層之間沒有尖銳的界面，而外延生長的結果是混合相的界面區(qū)域，界面缺陷態(tài)的密度增加。在a-Si:H的沉積過程中，外延生長導致異質(zhì)結太陽能電池的性能惡化，特別是影響了Voc。事實證明，在a-Si:H的沉積過程中，高沉積溫度（>140℃）會導致外延生長。其他沉積條件，如功率和襯底表面的性質(zhì)，也對外延生長有影響，通過使用a-SiO:H合金而不是a-Si:H，可以有效抑制外延生長。HJT的清洗特點:在制絨和清洗之后的圓滑處理導致了表面均勻性的改善，減少了微觀粗糙度，并提高了整個裝置的性能。此外，氫氣后處理被發(fā)現(xiàn)有利于提高a-Si:H薄膜的質(zhì)量和表面鈍化。CVD對比：HWCVD比PECVD有幾個優(yōu)點。例如，硅烷的熱解避免了表面的離子轟擊，而且產(chǎn)生的原子氫可以使表面鈍化。零界高效異質(zhì)結電池整線裝備，可實現(xiàn)更低的度電成本及更好的長期可靠性。浙江鈣鈦礦異質(zhì)結CVD

異質(zhì)結電池技術路線，發(fā)電量高：低溫度意味著在組件高溫運行環(huán)境中，HJT電池具有相對較高的發(fā)電性能，從而實現(xiàn)發(fā)電量增益、降低系統(tǒng)的度電成本；若考慮電池工作溫度超出環(huán)境溫度10-40℃,而全年平均環(huán)境溫度相比實驗室標準工況低5-10℃，HJT電池每W發(fā)電量高出雙面PERC電池約0.6%-3.9%。優(yōu)勢五：雙面率高HJT正反面結構對稱，而且TCO薄膜是透光的，天然就是雙面電池；HJT的雙面率能達到90%以上(能達到98%)，雙面PERC的雙面率約為75%+；據(jù)solarzoom測算，考慮10%-20%的背面輻照及電池片雙面率的差異，HJT電池單瓦發(fā)電量高出雙面PERC電池約2%-4%。優(yōu)勢六：弱光效應HJT電池采用N型單晶硅片，而PERC電池采用P型單晶硅片在600W/m以下的輻照強度；N型相比P型的發(fā)電表現(xiàn)高出1%-2%左右，HJT電池因弱光效應而在每W發(fā)電量上高出雙面PERC電池約0.5-1.0%左右。單晶硅異質(zhì)結材料光伏異質(zhì)結的制造過程中，非晶硅層可以作為掩膜，提高電池的抗反射性能，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。

光伏太陽能異質(zhì)結電池整線裝備，產(chǎn)業(yè)機遇：方向清晰：HJT技術工藝流程短、功率衰減低、輸出功率穩(wěn)定、雙面發(fā)電增益高、未來主流技術方向；時間明確：HJT平均量產(chǎn)效率已超過PERC瓶頸（25%），行業(yè)對HJT電池投入持續(xù)加大，電池商業(yè)化已逐漸成熟；機遇可期：設備與耗材是HJT規(guī)?；年P鍵，降本增效是不變的主題，具備HJT整線整合能力的供應商優(yōu)勢明顯。當前HJT生產(chǎn)成本約：硅片占比約50%，銀漿占比約25%，靶材約6%左右；當前HJT設備成本約：清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、絲網(wǎng)印刷，設備投資額占比分別約10%、50%、25%和15%。

高效異質(zhì)結電池整線裝備，物理的氣相沉積，PVD優(yōu)點沉積速度快、基材溫升低；所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；濺射工藝可重復性好，精確控制厚度；膜層粒子的散射能力強，繞鍍性好；不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合，同時濺射于基材上；缺點：常規(guī)平面磁控濺射技術靶材利用率不高，一般低于40％；在輝光放電中進行，金屬離化率較低。反應等離子體沉，RPD優(yōu)點：對襯底的轟擊損傷??；鍍層附著性能好，膜層不易脫落；源材料利用率高，沉積速率高；易于化合物膜層的形成，增加活性；鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點：薄膜中的缺陷密度較高，薄膜與基片的過渡區(qū)較寬，應用中受到限制（特別是電子器件和IC）；薄膜中含有氣體量較高。異質(zhì)結電池是光伏行業(yè)的新興技術，其轉(zhuǎn)換效率高，能夠顯著提升太陽能電池的整體性能。

釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質(zhì)結電池整線制造解決方案已實現(xiàn)設備國產(chǎn)化，該解決方案疊加了雙面微晶、無銀或低銀金屬化工藝，提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能，并極大降低了生產(chǎn)成本。釜川以半導體生產(chǎn)設備、太陽能電池生產(chǎn)設備為主要產(chǎn)品，打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊，憑借技術競爭力，在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面的有獨特優(yōu)勢；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的整線工藝設備的交付服務。光伏異質(zhì)結的制造過程中，可以通過調(diào)整薄膜厚度和材料組成來優(yōu)化性能和成本。江西國產(chǎn)異質(zhì)結技術

釜川高效異質(zhì)結電池濕法金屬化設備采用無銀或低銀工藝。浙江鈣鈦礦異質(zhì)結CVD

異高效質(zhì)結電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫，是一種N型單晶雙面電池，具有工藝簡單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢。異質(zhì)結太陽能電池使用晶體硅片進行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進行鈍化和結的形成。頂部電極由透明導電氧化物（TCO）層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結硅太陽能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意，因為它們可以達到很高的轉(zhuǎn)換效率，可達26.3%，由隆基團隊對HJT極限效率進行更新為28.5%，同時使用低溫度加工，通常整個過程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時保持高產(chǎn)量。浙江鈣鈦礦異質(zhì)結CVD