西安新型電鍍銅金屬化設備

銅電鍍工藝流程：種子層沉積—圖形化—電鍍—后處理，光伏電鍍銅工藝流程主要包括種子層沉積、圖形化、電鍍及后處理四大環(huán)節(jié)，目前各環(huán)節(jié)技術路線不一，多種組合工藝方案并行，需要綜合性能、成本來選擇合適的工藝路線。（1）種子層沉積：異質結電池表面沉積有透明導電薄膜（TCO）作為導電層、減反射層，由于銅在TCO層上的附著性較差，兩者間為物理接觸，附著力主要為范德華力，電極容易脫落，一般需要在電鍍前在TCO層上先行使用PVD設備沉積種子層（100nm），改善電極接觸與附著性問題。（2）圖形化：由于在TCO上鍍銅是非選擇性的，需要形成圖形化的掩膜以顯現(xiàn)待鍍銅區(qū)域的線路圖形，劃分導電與非導電部分。圖形化過程中，將感光膠層覆蓋于HJT電池表面，通過選擇性光照，使得不需要鍍銅的位置感光材料發(fā)生改性反應，而需要鍍銅的位置感光材料不變；在顯影步驟時，待鍍銅區(qū)域內未發(fā)生改性反應的感光材料會被去除，形成圖形化的掩膜，后續(xù)電鍍時銅將沉積于該線路圖形區(qū)域內露出的種子層上并發(fā)生導電，而其他位置不會發(fā)生銅沉積，實現(xiàn)選擇性電鍍。 光伏電鍍銅設計的導電方式主要有模具掛架式方式。西安新型電鍍銅金屬化設備

光伏電鍍銅裝備插片式電鍍：將待鍍電池設置在陰極導電支架上，向下插入使一個導電支撐單元位于相鄰兩個陽極板組件之間以實現(xiàn)電鍍。根據相關描述，該設備可實現(xiàn)雙面電鍍，單線可做到14000整片/小時，破片率＜0.02%，提高了裝置產能和電鍍質量，降低了不良率，結構合理、占地面積小。此外，根據相關技術通過將電池片設置在導電支撐單元上，移動陰極導電花籃使導電支撐單元在多個陽極單元的陽極板組件間移動以實現(xiàn)電鍍；該電鍍裝置產能可達24000整片/小時，電鍍均勻性更好，提高了電鍍質量，減少了碎片風險廣東光伏電鍍銅設備電鍍銅能夠提高金屬的導電性和導熱性，使其在電子設備中發(fā)揮更好的性能。

銅電鍍工藝流程：種子層沉積—圖形化—電鍍—后處理，光伏電鍍銅工藝流程主要包括種子層沉積、圖形化、電鍍及后處理四大環(huán)節(jié)，目前各環(huán)節(jié)技術路線不一，多種組合工藝方案 并行，需要綜合性能、成本來選擇合適的工藝路線。（3）電鍍：將待電鍍電池（陰極）浸泡在電鍍設備的硫酸銅（陽極）溶液中，通電進行電解，銅離子（陽離子Cu2+）被還原，在需要鍍銅的線路區(qū)域內沉積成銅，形成選擇性的銅電極。（4）后處理：進行電鍍錫或使用抗銅氧化劑制作保護層，可應用濕法刻蝕、激光刻蝕、等離子體刻蝕等工藝，剝離掩膜、刻蝕掉剩余種子層，并做表面處理，得到具有優(yōu)異塑形和良好選擇性的銅電極。

銅柵線更細，線寬線距尺寸小，發(fā)電效率更高。柵線細、線寬線距小意味著柵線密度更大，更多的柵線可以更好地將光照產生的內部載流子通過電流形式導出電池片，從而提高發(fā)電效率，銅電鍍技術電池轉化效率比絲網印刷高0.3%~0.5%。①低溫銀漿較為粘稠，印刷寬度更寬。高溫銀漿印刷線寬可達到20μm，但是低溫銀漿印刷的線寬大約為40μm。②銅電鍍銅離子沉積只有電子交換，柵線寬度更小。銅電鍍的線寬大約為20μm，采用類半導體的光刻技術可低于20μm。電鍍銅取代銀漿就是把格柵的線路做的更細。

光伏電鍍銅使用的為高速電鍍藥水，可以使用8-20ASD電流密度極大的縮短電鍍時間。高速電鍍添加劑在線路板使用過程中已證明銅結晶同樣具有安全的可靠性，且實際使用過程中并不需要額外提升太高的添加劑濃度。高速電鍍電鍍液耐有機物污染能力和普通電鍍液相當。高速電鍍添加劑具有可CVS分析過程管理方便有利于大批量使用的管控。釜川（無錫）智能科技有限公司，以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品，打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊，憑借技術競爭力，在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供整線工藝設備的交付服務。電鍍銅工序包括種子層制備環(huán)節(jié)。深圳電鍍銅后綴

光伏電鍍銅主要對柵線進行電鍍，傳統(tǒng)電子行業(yè)電鍍的機械通孔和激光盲孔相對電鍍加工自身來說加工難度不高。西安新型電鍍銅金屬化設備

電鍍銅現(xiàn)多種設備方案。電鍍銅 工藝尚未定型，各環(huán)節(jié)技術方案包括（1）種子層：設備主要采用 PVD，主要技術分歧 在于是否制備種子層、制備整面/局部種子層和種子層金屬選用；（2）圖形化：感光材料 分為干膜和油墨，主要技術分歧在于曝光顯影環(huán)節(jié)選用掩膜類光刻/LDI 激光直寫/激光 開槽；（3）電鍍：主要技術分歧在于水平鍍/垂直鍍/光誘導電鍍。釜川（無錫）智能科技有限公司，以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品，打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊，憑借技術競爭力，在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供整線工藝設備的交付服務。西安新型電鍍銅金屬化設備