東莞庫存晶圓運送機械吸臂銷售詞

來源: 發(fā)布時間:2022-02-25

技術實現(xiàn)要素:


本實用新型要解決的技術問題是:現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題,本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內(nèi),并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,各個所述絨毛墊之間間隔排布。 工業(yè)機械臂的工作原理。東莞庫存晶圓運送機械吸臂銷售詞

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半導體行業(yè),尤其是集成電路領域,晶圓的身影隨處可見。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結構,使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的??梢姡A在實際應用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的?為什么是“晶圓”,而不做成“晶方”?

要解釋這個問題,有兩方面的原因:一方面似乎是由“基因決定的”;另一方面是“環(huán)境造成的”。



本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設備要求,適用于各種半導體設備。


東莞庫存晶圓運送機械吸臂銷售詞操作機又定義為“是一種機器,其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。

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晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。

晶圓是制造半導體芯片的基本材料,半導體集成電路**主要的原料是硅,因此對應的就是硅晶圓。 關節(jié)式機械手因其結構復雜。廣東官方晶圓運送機械吸臂價格便宜

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形,所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺,所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型,所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi);在垂直于所述手臂的方向上,所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時動作的平穩(wěn)性、運動的速度和定位精度。

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    為圓柱的單晶硅晶錠更便于運輸,有效的避免了在運輸途中磕碰損壞,邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且,請仔細回想一下,你看到的晶圓是完全的圓的嗎?非也!在硅棒做出來后,在200mm以下的硅棒上是切割一個平角,叫Flat。在200mm(含)以上硅棒上,為了減少浪費,只裁剪個圓形小口,叫做Notch。***再進行切片,得到的晶圓如下。那么,這個小豁口是做什么用的呢?很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定,在加工的時候也不容易出錯了。所以,為什么“晶圓”沒有方的???答案很簡單,是一個歷史遺留的問題,也是一個技術限制的問題。而且,真的沒有必要做出來正方的硅片呢~。 工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。佛山官方晶圓運送機械吸臂設計

注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手。東莞庫存晶圓運送機械吸臂銷售詞

沖床行業(yè)機械臂又名沖床行業(yè)機械手、沖床沖壓機械手,它是用于沖床行業(yè)專門用的機械臂,沖床沖壓機械手能按照預選程序自動完成幾個規(guī)定的動作,實現(xiàn)物體的自動夾取和運送。在沖壓生產(chǎn)中,它不僅用于一臺壓力機上完成上下料工作,實現(xiàn)單機自動化,也可以用在由若干臺壓力機組成的流水生產(chǎn)線上,實現(xiàn)各壓力機之間工件的自動傳遞,形成自動沖壓生產(chǎn)線。由于機械手能方便地改變工作程序,因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中,對于實現(xiàn)生產(chǎn)自動化更具有重要意義。沖床沖壓機械手由執(zhí)行機構、驅(qū)動機構和電氣控制系統(tǒng)等組成。 東莞庫存晶圓運送機械吸臂銷售詞

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