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半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的?？梢?，晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”？

要解釋這個(gè)問題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

各支承、連接件的剛性也要有一定的要求，以保證能承受所需要的驅(qū)動力。汕頭進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.9%。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅，因此對應(yīng)的就是硅晶圓。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜 汕頭進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有三個(gè)主自由度。

多功能一體化機(jī)械臂，包括機(jī)械臂主體，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機(jī)械臂，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動充足的特點(diǎn)，本機(jī)械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn)，且在生產(chǎn)過程中由于體積較小，廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低，同時(shí)工人在使用時(shí)，移動較為方便，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動充足的特點(diǎn)，在使用過程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細(xì)不會

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率。手臂。起著連接和承受外力的作用。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動。 所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。汕頭庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家

此外，對于熱加工的機(jī)械手，還要考慮熱輻射，手臂要較長，以遠(yuǎn)離熱源，并須裝有冷卻裝置。汕頭進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

    環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實(shí)，除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個(gè)原因之外，還有以下3條其他的決定因素：2??有人計(jì)算過，比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形，考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的，算算就知道正方形浪費(fèi)的使用面積比率是比圓型高的。所以，圓形是等周長時(shí)表面積做大的二維圖形，加工時(shí)能夠充分利用原料，在一片晶圓上能分出**多的芯片。3??在實(shí)際的加工制成當(dāng)中，圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。圓型具有任意軸對稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求，可以想象一下，在圓型晶圓表面可以通過旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating，事實(shí)上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層，但其它形狀的晶圓呢？不可能或非常難，可以的話也是成本很高。 汕頭進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

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