汕尾原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比，蛙腿型機(jī)械手的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)更簡(jiǎn)單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機(jī)械手手臂為對(duì)稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對(duì)大臂和2對(duì)小臂。2個(gè)直驅(qū)電機(jī)分別通過(guò)2個(gè)同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過(guò)4個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對(duì)小臂，2對(duì)小臂的末端又通過(guò)2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤。 該機(jī)械手雖然只有3個(gè)電機(jī)，但水平連桿卻有10個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對(duì)整個(gè)真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程加設(shè)定位裝置和行程檢測(cè)機(jī)構(gòu)。汕尾原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的，可重復(fù)編程、多用途，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）?！彼詫?duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng)，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 珠海官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜與剛性機(jī)械臂相比較，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性。

    建模理論柔性機(jī)械臂動(dòng)力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個(gè)相當(dāng)有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機(jī)械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ)。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形，同時(shí)變形的描述與系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程的求解關(guān)系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法；2)有限段法；3)模態(tài)綜合法；4)集中質(zhì)量法；動(dòng)力學(xué)方程的建立無(wú)論是連續(xù)或離散的動(dòng)力學(xué)模型，其建模方法主要基于兩類基本方法：矢量力學(xué)法和分析力學(xué)法。應(yīng)用較***同時(shí)也是比較成熟的是Newton-Euler公式、Lagrange方程、變分原理、虛位移原理和Kane方程。

工業(yè)機(jī)械臂不應(yīng)該稱之為智能制造的未來(lái)，智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機(jī)械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎？答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應(yīng)、多傳感信息融合等，將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層次，工業(yè)機(jī)械臂只是時(shí)下研究的熱點(diǎn)，工業(yè)機(jī)械臂在未來(lái)智能場(chǎng)景中的角色目前還未能給出定論。簡(jiǎn)單的搬運(yùn)與碼垛，根本無(wú)法稱之為智能制造。工業(yè)機(jī)械臂距離高精度的智能制造還有很長(zhǎng)一段路要走，而且這條路是否能走得通，還是一個(gè)問(wèn)號(hào)呢，目前各國(guó)的研究人員都比較看好這個(gè)方向，普遍認(rèn)為機(jī)械臂是實(shí)現(xiàn)智能制造的很好的載體，可以實(shí)現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實(shí)現(xiàn)的大操作空間與靈活性。 手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來(lái)確定，其誤差是積累誤差，因而精度較差，其位置精度也更難保證。

為了解決使用機(jī)器語(yǔ)言編寫應(yīng)用程序所帶來(lái)的一系列問(wèn)題，人們首先想到了使用助記符號(hào)來(lái)代替不容易記憶的機(jī)器指令。這種助記符號(hào)來(lái)表示計(jì)算機(jī)指令的語(yǔ)言稱為符號(hào)語(yǔ)言，也稱匯編語(yǔ)言。在匯編語(yǔ)言中，每一條用符號(hào)來(lái)表示的匯編指令與計(jì)算機(jī)機(jī)器指令一一對(duì)應(yīng)；記憶難度**減少了，不僅易于檢查和修改程序錯(cuò)誤，而且指令、數(shù)據(jù)的存放位置可以由計(jì)算機(jī)自動(dòng)分配。用匯編語(yǔ)言編寫的程序稱為源程序，計(jì)算機(jī)不能直接識(shí)別和處理源程序，必須通過(guò)某種方法將它翻譯成為計(jì)算機(jī)能夠理解并執(zhí)行的機(jī)器語(yǔ)言，執(zhí)行這個(gè)翻譯工作的程序稱為匯編程序。越來(lái)越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè)。珠海官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

該機(jī)械臂由用戶的頭腦完全控制，靈巧到足以拿起一個(gè)玻璃杯，在沒(méi)有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料。汕尾原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。 汕尾原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

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