深圳晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

例如：尋找，運(yùn)輸，握取，對(duì)準(zhǔn)，裝配，檢驗(yàn)等動(dòng)作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人，美國(guó)機(jī)械人協(xié)會(huì)在1979年將機(jī)械人定義為一個(gè)可用程式控制，多功能的操作器，它透過(guò)程式控制和多變化的動(dòng)作設(shè)計(jì)來(lái)移動(dòng)材料，工件，工具或特別設(shè)備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài)，但只要它們符合機(jī)械人的定義，便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi)，但估計(jì)在不久將來(lái)還會(huì)有數(shù)以十萬(wàn)計(jì)的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時(shí)，不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺(jué)和感覺(jué)，令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問(wèn)稱為機(jī)械人學(xué)。手臂上的零部件，如油缸、導(dǎo)向桿、控制件等都安裝在手臂上。深圳晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

中國(guó)擁有龐大的制造業(yè)，是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng)，有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國(guó)在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場(chǎng)占有份額偏低。現(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù)，很多都是跟著國(guó)家提出的中國(guó)未來(lái)制造的政策與支持來(lái)進(jìn)行獲利的。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口。所以，中國(guó)的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國(guó)外，占有的只是低端市場(chǎng)的份額。不過(guò)，在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域，中國(guó)的技術(shù)也不遜色于美國(guó)。所以說(shuō)只要經(jīng)過(guò)技術(shù)的積累，中國(guó)的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國(guó)外的差多少。 深圳官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂銷(xiāo)售詞加設(shè)定位裝置和行程檢測(cè)機(jī)構(gòu)。

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比，蛙腿型機(jī)械手的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)更簡(jiǎn)單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機(jī)械手手臂為對(duì)稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對(duì)大臂和2對(duì)小臂。2個(gè)直驅(qū)電機(jī)分別通過(guò)2個(gè)同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過(guò)4個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對(duì)小臂，2對(duì)小臂的末端又通過(guò)2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤(pán)。 該機(jī)械手雖然只有3個(gè)電機(jī)，但水平連桿卻有10個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對(duì)整個(gè)真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤(pán)坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動(dòng)。傳送室相當(dāng)于小的無(wú)塵室。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔。另外，傳送室內(nèi)有時(shí)被保持為真空。要求使在傳送室內(nèi)工作的機(jī)械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法。手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。

電動(dòng)式 電力驅(qū)動(dòng)是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動(dòng)方式。其特點(diǎn)是電源方便，響應(yīng)快，驅(qū)動(dòng)力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤），信號(hào)檢測(cè)、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動(dòng)電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī)，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動(dòng)形式）。由于電機(jī)速度高，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動(dòng)、RV擺線針輪傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)、螺旋行動(dòng)和多桿式機(jī)構(gòu)等）。目前，有些機(jī)械臂已開(kāi)始采用無(wú)減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)（DD），這既可以使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣，一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無(wú)嚴(yán)格的運(yùn)動(dòng)軌跡要求，只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確。如機(jī)床上用的上下料器人，工件堆垛機(jī)械臂，注塑機(jī)配套用的機(jī)械等。對(duì)于半導(dǎo)體制造應(yīng)用來(lái)說(shuō)，常用的機(jī)械手臂是用來(lái)搬送晶片.廣州正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格多少

如剛性差則會(huì)引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.深圳晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí)，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。 深圳晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

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