珠海官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修電話

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-09-05

輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個(gè)以上的自由度。這種機(jī)械手典型地由兩個(gè)連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中,將兩個(gè)連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸,上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且,前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。在各個(gè)關(guān)節(jié)處安裝有軸承,以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn)。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手中,為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽(shield)安裝于關(guān)節(jié)的軸承。盡管它們的形態(tài)各有不同,但它們都有一個(gè)共同的特點(diǎn),就是能夠接受指令.珠海官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修電話

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技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:


本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題,本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。

可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。 東莞正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠精確地定位到三維(或二維)空間上的某一點(diǎn)進(jìn)行作業(yè)。

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沖床行業(yè)機(jī)械臂又名沖床行業(yè)機(jī)械手、沖床沖壓機(jī)械手,它是用于沖床行業(yè)專門用的機(jī)械臂,沖床沖壓機(jī)械手能按照預(yù)選程序自動(dòng)完成幾個(gè)規(guī)定的動(dòng)作,實(shí)現(xiàn)物體的自動(dòng)夾取和運(yùn)送。在沖壓生產(chǎn)中,它不僅用于一臺(tái)壓力機(jī)上完成上下料工作,實(shí)現(xiàn)單機(jī)自動(dòng)化,也可以用在由若干臺(tái)壓力機(jī)組成的流水生產(chǎn)線上,實(shí)現(xiàn)各壓力機(jī)之間工件的自動(dòng)傳遞,形成自動(dòng)沖壓生產(chǎn)線。由于機(jī)械手能方便地改變工作程序,因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中,對(duì)于實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化更具有重要意義。沖床沖壓機(jī)械手由執(zhí)行機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成。

電鍍:

到這一步,晶圓基本上就完成了,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。

拋光:

然后將Wafer進(jìn)行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。

切割:

對(duì)晶圓進(jìn)行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的。

測試:

測試分為三大類:功能測試、性能測試、抗老化測試。大致測試模式如下:接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電平測試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測試、模擬信號(hào)參數(shù)測試等等。全部測試都通過的,就是正片;部分測試未通過,但正常使用無礙,這是白片;未開始測試,就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,這是黑片。


機(jī)械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。

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例如:尋找,運(yùn)輸,握取,對(duì)準(zhǔn),裝配,檢驗(yàn)等動(dòng)作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人,美國機(jī)械人協(xié)會(huì)在1979年將機(jī)械人定義為一個(gè)可用程式控制,多功能的操作器,它透過程式控制和多變化的動(dòng)作設(shè)計(jì)來移動(dòng)材料,工件,工具或特別設(shè)備,以完成一連串的工作.所以,雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài),但只要它們符合機(jī)械人的定義,便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi),但估計(jì)在不久將來還會(huì)有數(shù)以十萬計(jì)的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時(shí),不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺和感覺,令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問稱為機(jī)械人學(xué)。與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性。廣東晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂質(zhì)量材質(zhì)上乘

隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。珠海官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修電話

再制造就是追求低碳、環(huán)保、綠色制造,被視為未來產(chǎn)業(yè)升級(jí)替代的發(fā)展方向。有資料顯示,氧化鋁陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機(jī)械手再制造產(chǎn)品比新產(chǎn)品的制造節(jié)能60%,平均有55%的部件都可以被再利用,制造過程中可以節(jié)省80%以上的能源消耗。創(chuàng)新、協(xié)調(diào)、綠色、開放、共享的五大發(fā)展理念,對(duì)機(jī)械制造業(yè)也提出了明確要求,研發(fā)生產(chǎn)科技含量高、附加值高、智能化程度高而碳量排放少的氧化鋁陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機(jī)械手裝備;同時(shí)還要調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),轉(zhuǎn)變發(fā)展方式實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型升級(jí)。我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠的發(fā)展帶動(dòng)了我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)的發(fā)展,我國我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)已具有較大的規(guī)模,已經(jīng)形成較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈布局。在我國經(jīng)濟(jì)步入發(fā)展新常態(tài)后,我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)也處于新舊增長模式轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵時(shí)期。實(shí)施轉(zhuǎn)換的獨(dú)一途徑是依靠科技創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展。我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠是我國我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠工業(yè)的裝備技術(shù)基礎(chǔ),圍繞我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠工業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的需要,發(fā)展我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠裝備技術(shù),提高國產(chǎn)我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠裝備制造水平,是我國我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺(tái)精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機(jī)械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠產(chǎn)業(yè)由大轉(zhuǎn)強(qiáng)的重要基礎(chǔ)和關(guān)鍵。珠海官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修電話

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