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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-06-30

    環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實(shí),除了晶圓的生長(zhǎng)方法決定的“晶圓”是圓形的這個(gè)原因之外,還有以下3條其他的決定因素:2??有人計(jì)算過(guò),比較直徑為L(zhǎng)毫米的圓和邊長(zhǎng)為L(zhǎng)毫米的正方形,考慮晶圓制造過(guò)程中邊緣5到8毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費(fèi)的使用面積比率是比圓型高的。所以,圓形是等周長(zhǎng)時(shí)表面積做大的二維圖形,加工時(shí)能夠充分利用原料,在一片晶圓上能分出**多的芯片。3??在實(shí)際的加工制成當(dāng)中,圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。圓型具有任意軸對(duì)稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求,可以想象一下,在圓型晶圓表面可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating,事實(shí)上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層,但其它形狀的晶圓呢?不可能或非常難,可以的話也是成本很高。 而回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差,當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí),手臂伸出越長(zhǎng),其誤差越大;肇慶正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣(mài)價(jià)

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整個(gè)蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制。2臺(tái)直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤(pán)連桿的同步控制,1臺(tái)直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)機(jī)械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,但對(duì)控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個(gè)控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對(duì)客戶的需求,Copley給出了性價(jià)比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動(dòng)器。Dual axis module同時(shí)驅(qū)動(dòng)2臺(tái)直驅(qū)電機(jī),Single axis module驅(qū)動(dòng)1臺(tái)升降直流電機(jī)。雙軸模塊式驅(qū)動(dòng)器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時(shí)間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點(diǎn)位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點(diǎn)增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持南通新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司普遍認(rèn)為機(jī)械臂是實(shí)現(xiàn)智能制造的很好的載體,可以實(shí)現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實(shí)現(xiàn)的大操作空間與靈活性。

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一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái);設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺(tái)呈環(huán)形,所述吸附絕緣凸臺(tái)所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的偽絕緣凸臺(tái),所述偽絕緣凸臺(tái)與手臂一體成型,所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺(tái)內(nèi);在垂直于所述手臂的方向上,所述吸附絕緣凸臺(tái)比所述偽絕緣凸臺(tái)突出;所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機(jī)械臂的構(gòu)造模塊。TO-DOM由兩個(gè)旋轉(zhuǎn)模塊及一個(gè)連接模塊共三個(gè)基本模塊組成。根據(jù)空間機(jī)械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個(gè)基本模塊之間的機(jī)械接口進(jìn)行專門(mén)設(shè)計(jì),即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)。由這樣數(shù)個(gè)不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個(gè)自由度的空間機(jī)器臂。采用一體化概念設(shè)計(jì)的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過(guò)對(duì)由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進(jìn)行的試驗(yàn)初步驗(yàn)證了TODOM設(shè)計(jì)概念的合理性及可行性??茖W(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂,可以抓起螞蟻而不是捏死。

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電動(dòng)式 電力驅(qū)動(dòng)是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動(dòng)方式。其特點(diǎn)是電源方便,響應(yīng)快,驅(qū)動(dòng)力較大(關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤),信號(hào)檢測(cè)、傳遞、處理方便,并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動(dòng)電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī),直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)(其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動(dòng)形式)。由于電機(jī)速度高,通常采用減速機(jī)構(gòu)(如諧波傳動(dòng)、RV擺線針輪傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)、螺旋行動(dòng)和多桿式機(jī)構(gòu)等)。目前,有些機(jī)械臂已開(kāi)始采用無(wú)減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)(DD),這既可以使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化,又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣,一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無(wú)嚴(yán)格的運(yùn)動(dòng)軌跡要求,只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確。如機(jī)床上用的上下料器人,工件堆垛機(jī)械臂,注塑機(jī)配套用的機(jī)械等。手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧,才能做手臂運(yùn)動(dòng)輕快、靈活?;葜莨俜骄A運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家

機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮。肇慶正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣(mài)價(jià)

2.噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上,重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅(qū)動(dòng)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。3.焊接機(jī)械臂 這是目前使用**多的一類機(jī)械臂,它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時(shí),許多人會(huì)想到有手,有腳的人型機(jī)械.不過(guò), 這類機(jī)械人往往出現(xiàn)在科幻電影,***所,展覽會(huì)和玩具店中,它們與工業(yè)用的機(jī)械人大不相同. 工業(yè)機(jī)械人(Industrial Robots)簡(jiǎn)稱為IR,它們大多為簡(jiǎn)單的操作設(shè)備,有時(shí)會(huì)被稱為機(jī)械臂,例如:進(jìn)行簡(jiǎn)單的提起或放下動(dòng)作,在機(jī)器內(nèi)放入或取出工件等.不過(guò),亦有不少工業(yè)機(jī)械人可以完全用程式控制,并可進(jìn)行不同類型工作,肇慶正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣(mài)價(jià)

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