潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)

種微孔真空吸盤工作臺(tái)的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】

[0001]本實(shí)用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺(tái)，屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非?？?，因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機(jī)，目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設(shè)備，在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓劃片機(jī)的工作臺(tái)壽命較短，由于其結(jié)構(gòu)的不合理通常I?6個(gè)月即會(huì)變形，在生產(chǎn)過程中，隨溫度變化也會(huì)變形加快。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種微孔真空吸盤工作臺(tái)，它能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)更合理，使用壽命更長的工作臺(tái)。 特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米.潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)

氧化鋯陶瓷具

隨著社會(huì)不斷的發(fā)展，在結(jié)構(gòu)陶瓷方面，由于氧化鋯陶瓷具有高韌性、高抗彎強(qiáng)度和高耐磨性，優(yōu)異的隔熱性能，熱膨脹系數(shù)接近于鋼等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)陶瓷領(lǐng)域。那么氧化鋯陶瓷可以應(yīng)用在哪些方面呢？

一、耐火材料

氧化鋯陶瓷的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，具有良好的熱穩(wěn)定性以及耐熱沖擊性，因此可以作為耐熱陶瓷涂層和高溫耐火制品。還能把它加到其他的耐火材料中，以提高耐火性。

氧化鋯材質(zhì)的耐火材料主要包括：氧化鋯定徑水口、氧化鋯坩堝、氧化鋯耐火纖維、鋯剛玉磚以及氧化鋯空心球耐火材料等，這些材料主要應(yīng)用在冶金和硅酸鹽等行業(yè)中。 潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)微孔陶瓷真空吸盤的微小孔隙結(jié)構(gòu)可以有效地防止漏氣，確保真空吸附的穩(wěn)定性。

    高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用***用于平坦，無孔表面的工作平臺(tái)。使用者通常是機(jī)器操作員。在金屬加工領(lǐng)域，這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸。自動(dòng)化搬運(yùn)、對象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺(tái)，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進(jìn)行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具，應(yīng)用于減薄、劃片、清洗、搬運(yùn)等工序。Fountyl公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產(chǎn)的設(shè)備配套使用，具有優(yōu)越的性能價(jià)格比。

真空吸盤要求高孔隙率，超微細(xì)孔徑的場合，F(xiàn)ountyl微孔陶瓷正空吸盤，孔大小在30微米到60微米的范圍。微孔陶瓷的結(jié)構(gòu)形狀有很多種，都是由無數(shù)不同規(guī)格的硅酸鋁瓷質(zhì)顆粒**而成，**時(shí)不同規(guī)則地形成了幾十微米到0.1微米的自由空隙，經(jīng)過摻入高溫（１5００℃）的溶蝕粘結(jié)物，再經(jīng)燒結(jié)而獲得強(qiáng)度大、空隙多而小、耐腐蝕、耐高溫的微孔陶瓷。經(jīng)特殊工藝加工出來的微孔陶瓷材料，采用粗細(xì)均勻的顆粒，加工出來的陶瓷板具有孔徑分布均勻，研磨后的表面光滑平整，可替代國外進(jìn)口材料，是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具，應(yīng)用于減薄、劃片、清洗、搬運(yùn)等工序，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、印刷、電子陶瓷等行業(yè)的真空吸盤設(shè)備。微孔陶瓷真空吸盤采用陶瓷材料制成，具有高溫耐性和耐腐蝕性能，適用于各種工業(yè)應(yīng)用。

水熱－熱靜壓工藝

該工藝通過水作為壓力傳遞介質(zhì)制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為：硅凝膠和10%(質(zhì)量百分?jǐn)?shù))的水混合，置于高壓釜中(壓力10—15MPa，溫度300℃)，通過水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱－熱靜壓工藝中，反應(yīng)時(shí)間一般為10—180 min。在25MPa下處理60min，制得的多孔陶瓷材料體積密度為0.88 g/cm，孔體積為0.59cm/g，孔尺寸分布范圍為30~50nm，抗壓強(qiáng)度高達(dá)80MPa。多孔陶瓷水熱－熱靜壓工藝具有以下優(yōu)點(diǎn)：制得的多孔陶瓷材料抗壓強(qiáng)度高、性能穩(wěn)定、孔徑分布范圍廣。 真空吸盤要求高孔隙率，超微細(xì)孔徑的場合.惠州庫存微孔陶瓷真空吸盤哪個(gè)牌子好

陶瓷內(nèi)氣孔率，氣孔徑可根據(jù)用途固定。潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)

有機(jī)泡沫浸漬工藝

有機(jī)泡沫浸漬法是用有機(jī)泡沫浸漬陶瓷漿料，干燥后燒掉有機(jī)泡沫，獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。

溶膠－凝膠工藝

溶膠- 凝膠工藝主要利用凝膠化過程中膠體粒子的堆積以及凝膠處理、熱處理等過程中留下小氣孔,形成可控多孔結(jié)構(gòu)。這種方法大多數(shù)產(chǎn)生納米級氣孔,多用來生產(chǎn)微孔陶瓷。溶膠－凝膠工藝是一種新的制備多孔陶瓷的工藝,與其它工藝相比有其獨(dú)特之處。例如,用溶膠－凝膠法制備氧化鋁多孔陶瓷,與顆?；旌?、泡沫浸漬、噴霧干燥顆粒等方法相比較,溶膠－凝膠法可進(jìn)一步改善氧化鋁多孔陶瓷孔徑分布的控制、相變、純度及顯微結(jié)構(gòu)。 潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)

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