黑龍江Nanoscribe灰度光刻微納加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2024-04-06

Nanoscribe稱QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),目前該技術正在申請專利。2GL將灰度光刻技術與Nanoscribe的雙光子聚合技術相結合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學以及聚合物母版的原型。該系統(tǒng)配備三個用于實時過程控制的攝像頭和一個樹脂分配器。為了簡化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,物鏡和樣品夾持器識別會自動運行。QuantumX的軟件能實時控制和監(jiān)控打印作業(yè),并通過交互式觸摸屏控制面板進行操作?;叶裙饪碳夹g可以相當于二元套刻的多次曝光,提高了光刻效率。黑龍江Nanoscribe灰度光刻微納加工系統(tǒng)

黑龍江Nanoscribe灰度光刻微納加工系統(tǒng),灰度光刻

Nanoscribe的無掩模光刻系統(tǒng)在三維微納制造領域是一個不折不扣的多面手,由于其出色的通用性、與材料的普適性和便于操作的軟件工具,在科學和工業(yè)項目中備受青睞。這種可快速打印的微結構在科研、手板定制、模具制造和小批量生產(chǎn)中具有廣闊的應用前景。也就是說,在納米級、微米級以及中尺度結構上,可以直接生產(chǎn)用于工業(yè)批量生產(chǎn)的聚合物母版。借助Nanoscribe雙光子聚合技術特殊的高設計自由度和高精度特點,您可以制作具有微米級高精度機械元件和微機電系統(tǒng)。廣東Nanoscribe灰度光刻無掩光刻Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您了解微納3D打印和灰度光刻技術的區(qū)別。

黑龍江Nanoscribe灰度光刻微納加工系統(tǒng),灰度光刻

   QuantumX新型超高速無掩模光刻技術的重要部分是Nanoscribe獨有專項的雙光子灰度光刻技術(2GL®)。該技術將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結合,使其同時具備高速打印,完全設計自由度和超高精度的特點。從而滿足了高級復雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設計迭代,打印樣品結構既可以用作技術驗證原型,也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。Nanoscribe雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)技術要點在于:這項技術的關鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位達到精細同步,這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小,并在不影響速度的情況下,使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性*結合,使其同時具備高速打印,完全設計自由度和超高精度的特點

這款灰度光刻設備還具備智能化的特點。它配備了先進的自動化控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)和監(jiān)控,減少了人工操作的需求,提高了生產(chǎn)線的穩(wěn)定性和可靠性。同時,設備還具備故障自診斷和遠程監(jiān)控功能,及時發(fā)現(xiàn)和解決問題,減少了生產(chǎn)線的停機時間,提高了生產(chǎn)效率。這款設備還具備良好的適應性和可擴展性。它可以適應不同材料和工藝的加工需求,為我們的生產(chǎn)線提供了更大的靈活性。同時,設備還支持模塊化設計,可以根據(jù)需要進行擴展和升級,滿足我們未來的生產(chǎn)需求。這款全新的灰度光刻設備為我們的生產(chǎn)線帶來了巨大的改變。它的精度、穩(wěn)定性和高效性使我們能夠更好地滿足客戶的需求,提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。我們相信,有了這款設備的加入,我們的公司將迎來更加美好的未來。Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您一起了解雙光子灰度光刻系統(tǒng)的應用。

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Nanoscribe的Quantum X打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學元件所需的橫向和縱向高分辨率要求?;陔p光子灰度光刻技術 (2GL ®)的Quantum X打印系統(tǒng)可以實現(xiàn)一氣呵成的制作,即一步打印多級衍射光學元件,并以經(jīng)濟高效的方法將多達4,096層的設計加工成離散的或準連續(xù)的拓撲。作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),Quantum X可以打印出具有出色形狀精度和光學質(zhì)量表面的高精度微納光學聚合物母版,可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序,例如注塑,熱壓花和納米壓印等加工流程,從而拓展微納加工工業(yè)領域的應用。了解更多關于灰度光刻技術各種應用,歡迎咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。德國進口灰度光刻微納加工系統(tǒng)

灰度光刻技術可以實現(xiàn)高分辨率的微納米結構制造。黑龍江Nanoscribe灰度光刻微納加工系統(tǒng)

微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,但是原理不同,我們常見的微納3D打印技術是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術,利用該技術我們理論上可以獲得任意想要的結構,不光是微透鏡陣列結構(如下圖5所示),該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設計獲得想要的結構,對于雙光子聚合的微結構,我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結構可以直接進行后續(xù)的復制工作,并通過納米壓印技術進行復制?;叶裙饪痰木褪抢没叶裙饪萄谀ぐ妫ㄑ谀そ佑|式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結構(如下圖4所示,八邊金字塔結構)。微透鏡陣列也是類似,可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài)黑龍江Nanoscribe灰度光刻微納加工系統(tǒng)