北京進口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

   Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）的子公司，開發(fā)并提供用于納米、微米和中尺度的3D打印機以及光敏材料和工藝解決方案。其口號是：“我們讓小物件變得重要”，公司創(chuàng)始人開發(fā)出一種技術(shù)，對智能手機、手持設(shè)備和醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域至關(guān)重要的3D打印產(chǎn)品。通過基于雙光子聚合（2PP）的3D打印機投入市場，他們已經(jīng)為全球的大學(xué)和新興行業(yè)提供了新的解決方案，致力于3D微打印生命科學(xué)研究以及納米級3D打印光學(xué)，甚至利用他們的技術(shù)來開發(fā)創(chuàng)新的設(shè)備，例如用于類固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法，“Beer's定律對當(dāng)今的無掩模光刻設(shè)備施加了強大的限制，QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù)，克服了這些限制，提供了前所未有的設(shè)計自由度和易用性，我們的客戶正在微加工的前沿工作?！凹{米標(biāo)記系統(tǒng)基于雙光子吸收，這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過程?；叶裙饪碳夹g(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的精確性和靈活性結(jié)合。北京進口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似，但是原理不同，我們常見的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術(shù)，利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu)，不光是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)（如下圖5所示），該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設(shè)計獲得想要的結(jié)構(gòu)，對于雙光子聚合的微結(jié)構(gòu)，我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具，但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結(jié)構(gòu)可以直接進行后續(xù)的復(fù)制工作，并通過納米壓印技術(shù)進行復(fù)制?；叶裙饪痰木褪抢没叶裙饪萄谀ぐ妫ㄑ谀そ佑|式光刻）或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透，而某些區(qū)域光刻膠部分曝光，從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)（如下圖4所示，八邊金字塔結(jié)構(gòu)）。微透鏡陣列也是類似，可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài)。高分辨率灰度光刻激光直寫靈活性高：由于無需制作實體掩膜版，無掩膜光刻技術(shù)可以快速地更改光刻圖案，方便進行試制和修改。

近年來，利用雙光子聚合對聚合物類傳統(tǒng)光刻膠的3D飛秒激光打印技術(shù)已日臻成熟，其高精度、高度可設(shè)計性和維度可控性已經(jīng)在平行技術(shù)中排名在前。與此同時，如何更有效地將微納結(jié)構(gòu)功能化，也逐漸成為各種微納加工技術(shù)的研究重點。在現(xiàn)階段，對于3D飛秒激光打印技術(shù)而言，具體來說就是利用其加工的高度可設(shè)計性來實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的功能化和芯片化，并使這些結(jié)構(gòu)能夠更好地集成器件，從而達到理想的應(yīng)用目的。微凹透鏡陣列結(jié)構(gòu)是光學(xué)器件中的一種常見組件，具有較強的聚焦和成像能力。以往制備此類結(jié)構(gòu)的方法有熱回流、灰度光刻、干法刻蝕和注射澆鑄等。受加工手段的限制，傳統(tǒng)的微透鏡陣列往往是在1個平板襯底上加工出一系列相同尺寸的凹透鏡結(jié)構(gòu)，這樣的1組微透鏡陣列無法將1個平面物體聚焦至1個像平面上，會產(chǎn)生場曲。

這款灰度光刻設(shè)備還具備智能化的特點。它配備了先進的自動化控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)和監(jiān)控，減少了人工操作的需求，提高了生產(chǎn)線的穩(wěn)定性和可靠性。同時，設(shè)備還具備故障自診斷和遠程監(jiān)控功能，及時發(fā)現(xiàn)和解決問題，減少了生產(chǎn)線的停機時間，提高了生產(chǎn)效率。這款設(shè)備還具備良好的適應(yīng)性和可擴展性。它可以適應(yīng)不同材料和工藝的加工需求，為我們的生產(chǎn)線提供了更大的靈活性。同時，設(shè)備還支持模塊化設(shè)計，可以根據(jù)需要進行擴展和升級，滿足我們未來的生產(chǎn)需求。這款全新的灰度光刻設(shè)備為我們的生產(chǎn)線帶來了巨大的改變。它的精度、穩(wěn)定性和高效性使我們能夠更好地滿足客戶的需求，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。我們相信，有了這款設(shè)備的加入，我們的公司將迎來更加美好的未來?；叶裙饪碳夹g(shù)可提高光刻膠的分辨率。

QuantumXbio是具有高分辨率的多功能生物打印系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有的**技術(shù)是以雙光子聚合（2PP）為關(guān)鍵，以出色的工程設(shè)計為基礎(chǔ)，通過生物學(xué)家的想法定制并且重新設(shè)計的。作為2019年推出的First臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品，該生物打印系統(tǒng)具有精確的溫度控制、無菌的工作環(huán)境和功能化的生物材料等特點，可讓生物打印達到一個新的高度，并有效加速組織工程、細胞生物學(xué)和方方面面生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用等關(guān)鍵應(yīng)用的創(chuàng)新。實現(xiàn)對光刻膠表面深度的精確控制，從而制備出更加復(fù)雜和精細的微納結(jié)構(gòu)。德國高精度灰度光刻

Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司帶您了解微納3D打印和灰度光刻技術(shù)的區(qū)別。北京進口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)（2PP）的專業(yè)激光直寫系統(tǒng)，可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計自由度。Quantum X shape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要，這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義。全新Quantum X shape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)Quantum X產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備，可實現(xiàn)在25 cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu)，很大程度推動了生命科學(xué)，微流體，材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作。Quantum X shape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng)，非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造。北京進口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)