浙江磁場探針臺供應

來源: 發(fā)布時間:2020-12-19

半導體設備的技術(shù)壁壘高。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。半導體器件生產(chǎn)中,從半導體單晶片到制成成品,須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序。為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠,并有高的成品率,根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況,對所有工藝步驟都要有嚴格的具體要求。因而,在生產(chǎn)過程中必須建立相應的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施,首先要從半導體工藝檢測著手。上海勤確科技有限公司以“真誠服務,用戶滿意”為服務宗旨。浙江磁場探針臺供應

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探針臺主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片,并提供多個可調(diào)測試及探卡測試針臺座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料,下面就由上海勤確給大家簡要介紹。探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設備。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試,在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺,校準設備及軟件,電源偏置等。青海半自動探針臺供應商上海勤確科技有限公司本上海勤確科技有限公司經(jīng)營理念,將心比心,誠信經(jīng)營,質(zhì)量為先。

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探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精確扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

手動探針臺規(guī)格描述(以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標配顯微鏡升降機構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動,移動范圍為150mm or 200mm,移動精度為1μm載物臺具備快速導入導出功能。探針臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。

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x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。探針臺測片子時,用細砂子輕輕打磨針尖并通以氮氣,減緩氧化過程。吉林磁場探針臺哪里有

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晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場探針臺,通用性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現(xiàn)高效測試;磁場強度≥330 mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150 mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動調(diào)節(jié)±5°,小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級半自動二維磁場探針臺:詳細參數(shù)可對晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場,兼容性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現(xiàn)高效測試;磁場強度≥0.7 T;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150 mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動調(diào)節(jié)±5°,小到調(diào)節(jié)精度5’。浙江磁場探針臺供應