泉州液環(huán)氣冷羅茨泵裝置

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-05-25

在這方面真正羅茨真空機(jī)組的特性是泄漏率。只要泄漏率符合要求,羅茨泵的基本壓力就能保證滿足要求。由于它**于前級(jí)泵并且基本上不受溫度影響,因此應(yīng)將泄漏率評(píng)估為羅茨真空機(jī)組的主要性能指標(biāo)。當(dāng)我們這次修改羅茨真空機(jī)組標(biāo)準(zhǔn)時(shí),我們已將泄漏率作為羅茨泵的主要性能指標(biāo)。至于基本壓力,由于它不是泵本身的特性性能指標(biāo),因此不應(yīng)作為質(zhì)量檢驗(yàn)的主要性能進(jìn)行評(píng)價(jià)。 早在1998年,我們就提出以泄漏率取代極限壓力作為羅茨真空機(jī)組的主要性能指標(biāo),但尚未被接受和重視。當(dāng)我們的羅茨泵的極限壓力(基本壓力)不符合標(biāo)準(zhǔn)要求時(shí),通常通過檢測(cè)泵的泄漏率和泄漏來解決。泄漏率符合要求,極限壓力(基礎(chǔ)壓力)也符合要求。特別是近年來,我們收到了許多用戶,特別是那些不允許泄漏工作氣體的用戶,要求檢測(cè)羅茨真空機(jī)組的泄漏率并提供泄漏率數(shù)據(jù)。泄漏率也已出現(xiàn)。許多用戶關(guān)注和重視。 泄漏率定義為在特定條件下通過泄漏孔的特定氣體的流速,單位為Pa·m3 / s。在我們修訂的羅茨真空機(jī)組標(biāo)準(zhǔn)中,基本參數(shù)中泄漏率的指標(biāo)與PFEIFFER的指標(biāo)完全相同。該標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了泄漏率的測(cè)量方法。公司狠抓產(chǎn)品質(zhì)量的提高,逐年立項(xiàng)對(duì)制造、檢測(cè)、試驗(yàn)裝置進(jìn)行技術(shù)改造。泉州液環(huán)氣冷羅茨泵裝置

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    變壓吸附氣體分離工藝過程的實(shí)現(xiàn)主要是依靠吸附劑在吸附過程中所具有的兩個(gè)基本性質(zhì):一是對(duì)不同組分的吸附能力不同,而是吸附質(zhì)在吸附劑上的吸附容量隨吸附質(zhì)的分壓上升而增加,隨吸附溫度的上升而下降。利用吸附劑的個(gè)特性,實(shí)現(xiàn)了對(duì)混合氣體中某些組分的分離、提純;氣冷羅茨泵利用吸附劑的第二個(gè)性質(zhì),實(shí)現(xiàn)吸附劑在低溫高壓下吸附、在高溫低壓下解吸再生。如果溫度不變,在加壓的情況下吸附,用減壓(抽真空)或常壓解吸的方法,稱為變壓吸附。變壓吸附操作由于吸附劑的熱導(dǎo)率較小,吸附熱和解吸熱所引起的吸附劑床層溫度變化不大,故可將其看成等溫過程,它的工況近似地沿著常溫吸附等溫線進(jìn)行,在較高壓力下吸附,在較低壓力下解吸。變壓吸附既然沿著吸附等溫線進(jìn)行,從靜態(tài)吸附平衡來看,氣冷羅茨泵吸附等溫線的斜率對(duì)它的是影響很大的。吸附常常是在壓力環(huán)境下進(jìn)行的,變壓吸附提出了加壓和減壓相結(jié)合的方法,它通常是由加壓吸附、減壓再組成的吸附一解吸系統(tǒng)。在等溫的情況下,利用加壓吸附和減壓解吸組合成吸附操作循環(huán)過程。吸附劑對(duì)吸附質(zhì)的吸附量隨著壓力的升高而增加,并隨著壓力的降低而減少,同時(shí)在減壓(降至常壓或抽真空)過程中,放出被吸附的氣體。泉州液環(huán)氣冷羅茨泵裝置沃德氣體產(chǎn)品適用范圍廣,產(chǎn)品規(guī)格齊全,歡迎咨詢。

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    羅茨真空機(jī)組的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。例如,真空涂層需要110-5mmHg的真空,所選真空泵的真空應(yīng)至少為510-6mmHg。泵的真空通常選擇為比真空設(shè)備的真空高一半數(shù)量級(jí)。2.正確選擇真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍,如:擴(kuò)散羅茨真空機(jī)組為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi),泵的泵送速度隨壓力變化,其穩(wěn)定的工作壓力范圍為510-4。?510-6mmHg。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇,不應(yīng)在10-8mmHg下長(zhǎng)時(shí)間工作。另一個(gè)例子是鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓力應(yīng)小于110-5mmHg。3.在工作壓力下,羅茨真空機(jī)組應(yīng)能真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。4.正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送,有時(shí)泵不能滿足泵送要求,并且需要將多個(gè)泵組合以彼此互補(bǔ)以滿足泵送要求。例如,鈦升華泵對(duì)氫氣具有高抽速,但不能泵送,并且三極濺射離子泵(或雙極不對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬氣具有一定的抽速。組合時(shí),真空裝置將具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;一些真空泵出口壓力低于大氣壓力,需羅茨真空機(jī)組要前級(jí)泵,因此需要將泵組合在一起。

    有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。當(dāng)選擇油封真空泵時(shí),要考慮真空泵排出來的油蒸汽(油煙)對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,應(yīng)該選無油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響,若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。淄博沃德氣體設(shè)備有限公司是以科研、生產(chǎn)、銷售為一體的真空設(shè)備專業(yè)生產(chǎn)廠家,生產(chǎn)條件完善,檢測(cè)手段完整齊全,公司研發(fā)的干式氣冷真空泵及以它為基礎(chǔ)的各種配套真空機(jī)組,技術(shù)**(ZJQ-2系列雙極混合干式氣冷羅茨真空泵獲得國(guó)家**),環(huán)保節(jié)能,現(xiàn)已成為公司的拳頭產(chǎn)品。產(chǎn)品制造精良,配置檔次高,售后服務(wù)及時(shí),在同行業(yè)中處于技術(shù)**。沃德氣體在客戶和行業(yè)中樹立了良好的企業(yè)形象。

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    高真空機(jī)組往往需要三級(jí)機(jī)組的另一個(gè)原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強(qiáng),傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級(jí)泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級(jí)泵抽至這一壓力往往需要較長(zhǎng)的時(shí)間,因?yàn)殡S著壓力降低泵的抽速在減小,特別是對(duì)于周期性抽氣的真空機(jī)組,對(duì)達(dá)到工作真空度的時(shí)間是有要求的,預(yù)抽時(shí)間越長(zhǎng),進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長(zhǎng),故增加一臺(tái)中真空泵與前級(jí)低真空泵配合,可在較短的時(shí)間達(dá)到主泵可以工作的壓力,這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力,保證了設(shè)備的使用效率。羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,分子增壓泵有極高的壓縮比,這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能,同時(shí)在中真空范圍也有的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高,所以可使前級(jí)泵易于處于高流量狀態(tài);而分子增壓泵吸入壓力高,減緩了前級(jí)泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。分子增壓泵可以在100-50Pa工作,前級(jí)泵從大氣到這一壓力,基本遵從每經(jīng)過時(shí)間壓力降低一個(gè)數(shù)量級(jí)的規(guī)律,因此,機(jī)組可以具有很高的抽氣效率。沃德氣體嚴(yán)格控制原材料的選取與生產(chǎn)工藝的每個(gè)環(huán)節(jié),保證產(chǎn)品質(zhì)量不出問題。泉州液環(huán)氣冷羅茨泵裝置

公司實(shí)力雄厚,產(chǎn)品質(zhì)量可靠。泉州液環(huán)氣冷羅茨泵裝置

    不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然**簡(jiǎn)單的真空機(jī)組就是一臺(tái)直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級(jí)機(jī)組,中真空一般需要二級(jí)機(jī)組。一臺(tái)高真空泵和一臺(tái)低真空泵難于組成有效的高真空機(jī)組。這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級(jí)耐壓的限制,即前級(jí)高于某一壓力,泵就不能正常工作。而當(dāng)前級(jí)泵達(dá)到這一臨界壓力時(shí),往往抽速會(huì)減小,這樣前級(jí)泵的排氣流量可能會(huì)小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會(huì)引起真空機(jī)組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺(tái)中真空泵,便可起到承上啟下的作用,流量連續(xù),而且各泵皆可工作在比較好狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍,是**適合的,故又稱羅茨增壓泵,由于其壓縮比不高,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當(dāng)三級(jí)高真空機(jī)組進(jìn)入較高的真空度時(shí),由于主泵的排氣流量明顯減少,此時(shí)*靠一臺(tái)較小的前級(jí)泵便可維持抽氣的連續(xù)性,在實(shí)際運(yùn)用中這是經(jīng)常采用的方法,這樣可減少機(jī)組的能耗。泉州液環(huán)氣冷羅茨泵裝置

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