凈化工程中空氣凈化處理方案凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器;中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效空氣過(guò)濾器或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車(chē)間內(nèi)。溫濕度要求:十萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜。天津十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。(風(fēng)淋室廠家)隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。鎮(zhèn)江醫(yī)藥凈化車(chē)間電氣系統(tǒng):照明、動(dòng)力、弱電三部分,包括凈化燈具、插座、電氣柜、線(xiàn)路、監(jiān)控、電話(huà)等強(qiáng)弱電系統(tǒng);
凈化車(chē)間工程的施工、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收注意事項(xiàng)有哪些二、文件管理:(一)一般規(guī)定。1.施工安裝全過(guò)程??⒐ぴO(shè)施的詳細(xì)情況。所有操作和維護(hù)程序應(yīng)以文件的形式確認(rèn)。2.文件管理系統(tǒng)應(yīng)成為質(zhì)量保證體系的重要組成部分,為施工安裝的運(yùn)行、責(zé)任、獎(jiǎng)懲、質(zhì)量改進(jìn)提供文字依據(jù)。(2)文件類(lèi)型。1.施工安裝文件分為制度、標(biāo)準(zhǔn)和記錄三類(lèi)。2.制度文件包括企業(yè)管理、施工管理、質(zhì)量管理、施工輔助材料驗(yàn)收、發(fā)放管理制度、質(zhì)量檢驗(yàn)制度、安全衛(wèi)生管理制度、人員培訓(xùn)制度等。3.標(biāo)準(zhǔn)文件包括技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和工作標(biāo)準(zhǔn)。施工質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)、施工工藝規(guī)程等技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),各崗位、工種操作方法或標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程等工作標(biāo)準(zhǔn)。4.記錄文件包括各種記錄、憑證和報(bào)告。(3)開(kāi)放。竣工文件。1.工程施工應(yīng)有開(kāi)工報(bào)告、中間驗(yàn)收單、竣工驗(yàn)收調(diào)整記錄、竣工驗(yàn)收單、竣工報(bào)告。2.施工安裝工程中應(yīng)有設(shè)備開(kāi)箱檢查記錄、土建隱蔽工程記錄、管道隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、管道壓力試驗(yàn)記錄、管道系統(tǒng)清洗(脫脂)記錄、風(fēng)管清洗記錄、風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄、設(shè)備單機(jī)試運(yùn)行記錄、系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)行記錄等。
無(wú)塵車(chē)間施工大面積無(wú)菌區(qū)的空氣潔凈度至少為10000,每立方米空氣中含有0.5靘以上的顆粒物的數(shù)量不超過(guò)350000??諝庵懈∮沃参锏暮坎粦?yīng)超過(guò)100cfu/m3。無(wú)菌容器、密封件和灌裝、密封作業(yè)局部暴露區(qū)域的空氣潔凈度應(yīng)達(dá)到100級(jí)要求。在這種清潔度下,每立方米空氣中含有0.5靛藍(lán)以上或等于0.5靛藍(lán)的顆粒物的數(shù)量不應(yīng)超過(guò)3500,浮游空氣的含量不應(yīng)超過(guò)5cfu/m3。無(wú)塵車(chē)間施工,無(wú)菌操作區(qū)100級(jí)潔凈區(qū)的空氣應(yīng)在其使用點(diǎn)通過(guò)高效過(guò)濾器單向(層流)輸送。流量應(yīng)能滿(mǎn)足活塞吹氣充填區(qū)懸浮顆粒的需要。風(fēng)管系統(tǒng):包括送風(fēng)、回風(fēng)、新風(fēng)、排風(fēng)管道、末端及控制裝置等;
GMP凈化車(chē)間規(guī)范要求-要養(yǎng)成良好的GMP意識(shí):任何進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)的人員均應(yīng)當(dāng)按照規(guī)定程序進(jìn)行洗手、更衣、消毒。操作期間應(yīng)當(dāng)經(jīng)常消毒手套,并在必要時(shí)更換口罩和手套。清潔天花板、墻壁、與墻壁連接的物體、管道、臺(tái)面、設(shè)備、地面。先上后下、先里后外、先清洗、再清潔、后消毒。應(yīng)當(dāng)按照操作規(guī)程對(duì)潔凈區(qū)進(jìn)行清潔和消毒。所采用消毒劑,每月輪換使用。配制后的消毒劑和清潔劑應(yīng)當(dāng)存放在清潔容器內(nèi),現(xiàn)用現(xiàn)配。潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)當(dāng)避免使用易脫落纖維的容器和物料。無(wú)塵車(chē)間門(mén)安裝 采用整體式凈化門(mén),安裝方法與普通門(mén)相似,門(mén)與門(mén)套采用覆蓋搭接結(jié)構(gòu)。寧波凈化車(chē)間施工方案
浮游菌數(shù)不得超過(guò)500個(gè)每立方米。天津十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間
凈化工程中的難點(diǎn)分析凈化工程有它的特殊性,對(duì)于這樣的廠房它的特點(diǎn)非常明顯,個(gè)造價(jià)特點(diǎn)貴,隨著半導(dǎo)體工程的發(fā)展,這樣對(duì)于工廠的品質(zhì)要求越來(lái)越高,TFT工廠也是一樣,TFT工廠本身的玻璃基板的尺寸越來(lái)越大,從原來(lái)的一代線(xiàn)到現(xiàn)在的主流八代線(xiàn),隨著基本尺寸大造價(jià)越來(lái)越高。第二個(gè)特點(diǎn)是凈化工程工期短,由于半導(dǎo)體工廠,TFT工廠的特點(diǎn)投資特點(diǎn)大,所有的建設(shè)方盡快短期進(jìn)行生產(chǎn),取得投資回報(bào),作為施工單位來(lái)講擺在面前的一個(gè)特點(diǎn)就是工期要求非常緊。第三個(gè)特點(diǎn)是品質(zhì)要求非常高,由于電子工廠它對(duì)廠房的依賴(lài)程度非常高,建廠當(dāng)中的事故直接導(dǎo)致產(chǎn)品良品率的高低,天津十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間