凈化車間設(shè)施分類和技術(shù)參數(shù)總則:1.空氣進(jìn)行凈化網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)的組成與安裝:(1)初效過濾器:采用粗效過濾技術(shù)材料可以制成的一次性濾材或非織造布產(chǎn)品制成的袋式過濾器;(2)中效過濾器:用高效利用過濾功能材料加工制成的一次性濾材或非織造布工藝制成的袋式過濾器;(3)亞高效使用過濾器:采用高效信息過濾以及材料能夠制成的一次性濾材或非織造布生產(chǎn)制成的袋式過濾器;(4)高效送風(fēng)口;(5)回風(fēng)口;(6)風(fēng)淋室;(7)傳遞窗;(8)層流罩;(9)自凈器;(10)氣水混合動(dòng)力裝置。2.空氣凈化系統(tǒng)的性能參數(shù):(1)主要過濾器過濾器效率;(2)效率;(3)阻力回風(fēng);(4)送風(fēng)和風(fēng)速;(5)風(fēng)量衰減率;(6)壓差損失。進(jìn)入潔凈室之前,必須要移除珠寶等個(gè)人物品,因?yàn)闀?huì)將多余的多余顆粒釋放到空氣中。四川實(shí)驗(yàn)室凈化工程
無塵車間需要哪些凈化設(shè)備:FFU風(fēng)機(jī)過濾單元FFU為英文縮寫,全稱為FanFilterUnits,中文意思為“風(fēng)機(jī)濾器單元(機(jī)組)”,也稱空氣過濾單元。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾,它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級(jí)的無塵車間、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。各凈化工程企業(yè)的FFU執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)略有不同,業(yè)內(nèi)通行的指標(biāo)為:過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出,但穩(wěn)定性差距很大。經(jīng)過實(shí)地檢測(cè),國際品牌普遍難以適應(yīng)“中國環(huán)境因素”,質(zhì)量雖然普遍高于國產(chǎn)公司,但1年后的穩(wěn)定性測(cè)試普遍不理想;而大部分國內(nèi)低端品牌的工程質(zhì)量也較差強(qiáng)人意。凈化工程行業(yè)開始注重產(chǎn)品質(zhì)量與穩(wěn)定性的雙向驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),并逐步以實(shí)地檢測(cè)數(shù)據(jù)(之前多依靠行業(yè)報(bào)告)更真實(shí)的體現(xiàn)工程性價(jià)比。舟山電子廠凈化工程足夠的風(fēng)速與風(fēng)量是潔凈度的保證,過大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費(fèi)能量,而且有時(shí)會(huì)影響正常的工作。
一般規(guī)定:1.凈化車間準(zhǔn)適用于各類企業(yè)新擴(kuò)建或改建的車間(包括空調(diào)系統(tǒng))。2.凡從事中國食品進(jìn)行加工的企業(yè)應(yīng)設(shè)局部百級(jí)無菌室;凡從事國家藥品安全生產(chǎn)和包裝的企業(yè)應(yīng)設(shè)置十萬級(jí)無菌室;從事其他生物化學(xué)制品公司生產(chǎn)的應(yīng)有百萬的級(jí)別無菌室。3.各行業(yè)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)特點(diǎn),選擇相應(yīng)水平的空氣凈化設(shè)施,并定期進(jìn)行檢查和維護(hù)。4.在規(guī)定條件下進(jìn)行空氣取樣檢驗(yàn)時(shí),取樣點(diǎn)不得少于3個(gè)。5.當(dāng)需要額外監(jiān)察項(xiàng)目時(shí),測(cè)試須在按照要求提交程序及有關(guān)資料后才進(jìn)行。
潔凈廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)設(shè)計(jì)空氣潔凈度100000級(jí)及高于100000級(jí)的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、高效過濾器三級(jí)過濾。對(duì)于100000級(jí)空氣凈化處理,也可采用亞高效空氣過濾器代替高效過濾器。大于100000級(jí)的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效過濾器二級(jí)過濾??諝膺^濾器的選用、布置方式符合下列要求:初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器且集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。電子制造業(yè)萬級(jí)無塵車間的潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控.
凈化工程概述層流式層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一平均之直線型,空氣由籠蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式合用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在側(cè)污染較嚴(yán)峻。長(zhǎng)處:構(gòu)造簡(jiǎn)樸,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成不亂。缺點(diǎn):建造用度比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器籠蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作職員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。長(zhǎng)處:治理輕易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)不亂狀態(tài),不易為功課狀態(tài)或功課職員所影響。缺點(diǎn):構(gòu)造用度較高,彈性運(yùn)用空間難題,天花板之吊架相稱占空間,維修更換過濾器較麻煩。潔凈度:潔凈室內(nèi)含塵濃度高則潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高。南京十萬級(jí)凈化工程施工
潔凈車間濕度也是基本的工作條件,幾乎所有的潔凈室對(duì)于濕度都有明確的要求。四川實(shí)驗(yàn)室凈化工程
凈化工程概述復(fù)合式:復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項(xiàng)長(zhǎng)處:A.彈性擴(kuò)充輕易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動(dòng)出產(chǎn)線包抄并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上,認(rèn)為出產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。四川實(shí)驗(yàn)室凈化工程