熱風(fēng)排膠氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)

來源: 發(fā)布時間:2024-07-17

本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。氣氛爐對如今市場的影響。熱風(fēng)排膠氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)

熱風(fēng)排膠氣氛爐標(biāo)準(zhǔn),氣氛爐

氣氛爐的種類很多,可按爐體內(nèi)的氣氛分類(F—放熱式,X—吸熱式,YL—有機液體裂解,D—氮基,A—氨制備,M—木炭,N—氨氣,的Q表示氣氛)氣氛爐的特點是在某一既定溫度下,向爐內(nèi)通入一定成分的人工制備氣氛,以達(dá)到某種熱處理的目的,如氣體滲碳,碳氮共滲及光亮淬火,退火,正火等。為了控制爐內(nèi)的氣氛,維持爐內(nèi)的壓力,爐內(nèi)工作空間始終要與外界空氣隔絕,盡量避免漏氣和吸入空氣,故要求爐殼,砌體,爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇,熱電偶,輻射管,推拉料機等采用密封裝置。脫蠟氣氛爐保養(yǎng)氣氛爐常見的用途有哪些?合肥真萍告訴您。

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真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造的,被廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的技術(shù)指標(biāo)。1.無塵等級:Class100:(符合FED-STD209E標(biāo)準(zhǔn):0.3um≤300個0.5≤100個)2.溫度范圍:+60℃~+250℃(極限溫度350℃)3.溫度均勻性:±2℃(空箱測試)4.溫度精確度:±1℃(空箱測試)5.設(shè)備型號規(guī)格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;

真空烘箱是一種將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的箱體式干燥設(shè)備。它利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),從而降低水的沸點,加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點。一、真空程序分段控制該型號機型,抽真空過程可提供程序化編程,只需根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時間值。相當(dāng)大可實現(xiàn)18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源;2.產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門;3.打開電源;4.工作溫度設(shè)定好,啟動加熱,設(shè)備進(jìn)入自動恒溫狀態(tài);5.真空值和時間設(shè)定好后,啟動真空泵,開始進(jìn)入自動抽真空階段;6.到達(dá)時間值后,真空泵自動關(guān)閉。為您推薦氣氛爐的專業(yè)生產(chǎn)廠家。

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電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的控制系統(tǒng)。一、控制系統(tǒng)1.采用數(shù)顯微電腦溫度控制器,控制精確可靠。2.具有定時功能、控溫保護(hù)功能,設(shè)有風(fēng)機停轉(zhuǎn)開關(guān)。二、電氣控制系統(tǒng)1.電氣控制元件均采用國內(nèi)有名品牌。2.電氣線路設(shè)計新穎,合理布線,安全性可靠。3.箱體頂部為電器控制柜,方便于集中檢查維修。熱風(fēng)排膠氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)