本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍與您分享氣氛爐發(fā)揮的重要作用。泉州氣氛爐多少錢一臺
無氧干燥箱應用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。下面為大家介紹一下真萍科技無氧干燥箱。一、技術指標與基本配置:1.使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;2.爐膛腔數:2個,上下布置;3.爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度4.溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;二、氧含量(配氧分析儀):1.高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.控溫穩(wěn)定度:1℃;2.3溫度均勻度:2%℃(260℃平臺);福建氣氛爐報價尋找氣氛爐非標定制廠家,就找合肥真萍科技!
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產品的高溫燒結、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設置一個排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經過水封清洗后進入大氣中,減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量
下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結構系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結構:采用多晶莫來石材料砌筑而成有效尺寸:φ300×320mm(D×H)設備重量:約1200Kg外觀顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍外形尺寸:W1300×H2200×D1510(mm),不含(囪、指示燈)二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度:1550℃2.限制溫度:1600℃3.加熱元件:U型硅鉬棒4.加熱功率:16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個數:1個7.控溫點數:1點8.熱偶:B分度9.程序**精度:±2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)10.控溫穩(wěn)定度:±1℃(恒溫平臺)11.爐膛溫度均勻度:±4℃(恒溫1500℃,2h)合肥真萍告訴您氣氛爐如何去使用呢?
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運動器材、汽車零配件、電機、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預熱回火、退火、老化等用途。下面為大家介紹一下真萍科技隧道爐的技術參數。1.送風方式:強制送風循環(huán)系統(tǒng)。2.溫度范圍:RT+10℃~300℃。3.溫度精度:±1℃4.溫度均勻性:±1℃5.溫控裝置:富士智能PID溫控儀,LED數字顯示,PID自動演算及定時。6.材質:內膽不銹鋼,外箱體鋼板靜電噴塑。7.傳送方式:鏈桿、鏈網、自動錕輪,相當強承重。8.特制復合式電加熱器。9.保護裝置:漏電保護、斷路保護、電機過載保護、接地保護、非正常運行情況下蜂鳴報警。合肥真萍告訴您如何正確使用氣氛爐?舟山大型氣氛爐
氣氛爐的工作原理,真萍科技告訴您!泉州氣氛爐多少錢一臺
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運動器材、汽車零配件、電機、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預熱回火、退火、老化等用途。下面為大家介紹一下真萍科技隧道爐的特點。1.雙邊配有鏈條傳動,解決傳送過程中跑偏的現象;2.烘箱分段式加熱,單獨電箱控制,方便操作。結構主要由輸送機系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成,多段單獨;3.PID溫度控制,爐內溫度均勻;4.輸送速度變頻調速,調節(jié)自如,運行平穩(wěn),產能高;5.每段單獨箱體設置廢氣排放接口,可外接到車間外面,避免車間廢氣污染。泉州氣氛爐多少錢一臺