亞微米移動(dòng)臺生產(chǎn)廠家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-02-07

干涉物鏡就是將顯微鏡物鏡與干涉儀結(jié)合起來設(shè)計(jì)而成的一種特殊的顯微鏡物鏡。它的原理是一束光通過分光鏡后,將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡,從樣品表面反射的光線和內(nèi)置反射鏡反射的光線再結(jié)合,就產(chǎn)生了干涉圖案。干涉物鏡可用在非接觸光學(xué)壓型測量設(shè)備上,通過此物鏡可得到表面位圖和表面測量參數(shù)等,也可用來檢測表面粗糙度,測量精度非常高,在一個(gè)波長之內(nèi)。在系統(tǒng)工作時(shí),通過納米移動(dòng)臺驅(qū)動(dòng)待測樣本表面在垂直方向上均勻、緩慢、連續(xù)運(yùn)動(dòng),改變測量光路與參考光路的光程差。垂直掃描的過程中,相機(jī)依次獲取一系列的白光干涉圖,通過三維形貌恢復(fù)算法計(jì)算并定位出每個(gè)像素點(diǎn)的零光程差位置,即可得到相應(yīng)的高度信息,從而恢復(fù)出待測表面的三維形貌。 納米定位平臺國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范?亞微米移動(dòng)臺生產(chǎn)廠家

北京微納光科儀器(集團(tuán))有限公司主要提供《微》《納》《光》《科》四個(gè)版塊產(chǎn)品,【實(shí)驗(yàn)室一體化解決方案】的三個(gè)版塊《實(shí)驗(yàn)室裝修/凈化/設(shè)計(jì)》《實(shí)驗(yàn)室家具》《實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備》,《無人工廠一體化解決方案》以及《特殊工況下自動(dòng)化設(shè)備和儀器解決方案》的服務(wù)。主要產(chǎn)品系列有:電控位移臺,手動(dòng)位移臺,直驅(qū)滑臺轉(zhuǎn)臺,直線電機(jī),相位臺,工業(yè)機(jī)械手,KK模組,真空無磁低溫;壓電納米促動(dòng)器,壓電納米移動(dòng)臺;光學(xué)冷加工,光學(xué)元器件,光學(xué)鍍膜,光學(xué)調(diào)整架,光纖調(diào)整耦合,晶元檢測,晶元曝光刻蝕半導(dǎo)體設(shè)備,影像測量,機(jī)器視覺,圖形圖像處理,光學(xué)分析儀器,光學(xué)檢測/測試儀器;科學(xué)實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)裝修,科學(xué)實(shí)驗(yàn)室家具(光學(xué)平臺,大理石平臺,實(shí)驗(yàn)操作臺)自主研發(fā)的科學(xué)實(shí)驗(yàn)室儀器以及代理儀器,科學(xué)實(shí)驗(yàn)室的一體化解決方案。 壓電推桿多少錢納米定位臺是一個(gè)壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺。

帶寬:平臺運(yùn)動(dòng)的振幅下降3dB的頻率范圍。它反映了平臺可以跟隨驅(qū)動(dòng)信號的速度。漂移:位置隨時(shí)間的變化,包括溫度變化和其他環(huán)境的影響。漂移可能來自于機(jī)械系統(tǒng)和電子設(shè)備。摩擦。摩擦被定義為運(yùn)動(dòng)過程中接觸面之間的阻力。因?yàn)樗麄兪褂脧澢?,所以摩擦可能是恒定的或與速度有關(guān)。而Piezoconcept的納米定位器是無摩擦的。滯后:前向掃描和后向掃描之間的定位誤差。閉環(huán)控制是這個(gè)問題的理想解決方案,通過使用高分辨率硅傳感器網(wǎng)絡(luò)提供反饋信號來完成。正交性誤差:兩個(gè)定義的運(yùn)動(dòng)軸的角度偏移,使其相互之間成為正交。它可以被解釋為串?dāng)_的一部分。階躍響應(yīng)時(shí)間:階躍響應(yīng)時(shí)間是納米定位器從指令值的10%到指令值的90%所需的時(shí)間。階躍響應(yīng)時(shí)間反映了系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性。

壓電納米位移平臺是非中孔式位移臺,有一定的承重負(fù)載能力,是一款面向半導(dǎo)體制造、光纖制造、激光直寫等應(yīng)用方向的產(chǎn)品,采用閉環(huán)負(fù)反饋控制,具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、運(yùn)動(dòng)范圍大、成本低等特點(diǎn)。主要用于帶動(dòng)負(fù)載進(jìn)行納米級精度的位移,以實(shí)現(xiàn)超精密定位加工的用途。壓電納米位移平臺由疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器提供驅(qū)動(dòng)力,經(jīng)過位移放大機(jī)構(gòu),柔性機(jī)構(gòu)推動(dòng)移動(dòng)端面進(jìn)行1X1、2X2或3X3高精度位移,由于疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器響應(yīng)速度快,體積小,出力大剛度高,可以根據(jù)控制信號實(shí)現(xiàn)毫秒級快速定位響應(yīng)。 納米定位臺底座固定螺絲多大?

壓電納米定位臺的特點(diǎn):壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)高精度位移,定位精度可達(dá)納米級。具有超高的導(dǎo)向精度,有高剛性、高負(fù)載、無摩擦等特點(diǎn)。壓電納米位移臺典型應(yīng)用壓電納米定位臺憑借高穩(wěn)定性、高分辨率等優(yōu)良特性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空等領(lǐng)域。直推式的壓電納米位移臺,其機(jī)械行程一般較小(50μm-300μm);機(jī)械行程與控制精度往往不會(huì)跨數(shù)量級(當(dāng)機(jī)械行程在微米級時(shí),控制精度在納米級),但有的應(yīng)用場景需要使用在較大機(jī)械行程(1mm-3mm)的同時(shí),保證較高的控制精度(1nm);直推式的驅(qū)動(dòng)方式就無法滿足這種應(yīng)用場景的需求,需要采用特殊的壓電步進(jìn)電機(jī)的設(shè)計(jì),用多組垂直與水平向差分式壓電陶瓷組,交替運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng),就可以實(shí)現(xiàn)滿足較高控制精度的大行程運(yùn)動(dòng)。 由于納米位移系統(tǒng)自身具有閉環(huán)控制,能產(chǎn)生穩(wěn)定的、重復(fù)的運(yùn)動(dòng)。顯微鏡低溫樣品控制效果評估研究

納米定位平臺的工作原理圖。亞微米移動(dòng)臺生產(chǎn)廠家

材料的可加工性是納米精度機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的另一個(gè)限制。首先,所選材料必須可加工成所需的幾何形狀。例如,我們的大多數(shù)撓性運(yùn)動(dòng)臺都是通過電火花加工來切割的。玻璃陶瓷盡管它們具有許多良好的性能但顯然不能用這種加工方式。另一方面,加工成本在產(chǎn)品價(jià)格中占主導(dǎo)地位,因?yàn)榧{米精度機(jī)構(gòu)中的大部分組件尺寸都比較小,因此材料成本的影響并不顯著。材料的機(jī)械加工性取決于材料的強(qiáng)度、硬度、韌性和導(dǎo)熱性等特性。

鋁合金是工程結(jié)構(gòu)中常用的材料之一。精密儀器主要利用其導(dǎo)熱性好、易于制造(加工成本低)和質(zhì)量輕的特性。由于其高熱膨脹系數(shù),必須小心使用。通常選擇這種材料進(jìn)行熱匹配。 亞微米移動(dòng)臺生產(chǎn)廠家