一種四氟化碳?xì)怏w濃度檢測(cè)校正方法，包括：
通過(guò)雙光路檢測(cè)系統(tǒng)利用雙波長(zhǎng)紅外差分檢測(cè)法測(cè)量出不同溫度下的四氟化碳?xì)怏w濃度值；
將測(cè)量出的所述四氟化碳?xì)怏w濃度值和對(duì)應(yīng)的溫度值輸入至RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練；
將對(duì)測(cè)試樣本測(cè)量所得的四氟化碳?xì)怏w濃度值輸入至訓(xùn)練好的所述RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行測(cè)試并開(kāi)展反演計(jì)算，得到校正后的四氟化碳?xì)怏w實(shí)際濃度值。
推薦地，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述四氟化碳?xì)怏w濃度檢測(cè)校正方法中，通過(guò)雙光路檢測(cè)系統(tǒng)利用雙波長(zhǎng)紅外差分檢測(cè)法測(cè)量出四氟化碳?xì)怏w濃度值，包括：所述紅外光源發(fā)出的紅外光束經(jīng)準(zhǔn)直后進(jìn)入內(nèi)置有四氟化碳?xì)怏w的所述氣體采樣室；被四氟化碳?xì)怏w吸收特定波長(zhǎng)的紅外光束作為測(cè)量光；波長(zhǎng)不受四氟化碳?xì)怏w影響的紅外光束作為參考光；
在所述測(cè)量光經(jīng)所述濾光片透射后，檢測(cè)所述測(cè)量光的光強(qiáng)；在所述參考光經(jīng)所述第二濾光片透射后，檢測(cè)所述參考光的光強(qiáng)；
與可燃性氣體一起燃燒時(shí)，發(fā)生分解，產(chǎn)生的氧化物。***四氟化碳廠家供貨
由碳與氟反應(yīng)，或一氧化碳與氟反應(yīng)，或碳化硅與氟反應(yīng)，或氟石與石油焦在電爐里反應(yīng)，或二氟二氯甲烷與氟化氫反應(yīng)，或四氯化碳與氟化銀反應(yīng)，或四氯化碳與氟化氫反應(yīng)，都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應(yīng)在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進(jìn)行，反應(yīng)后的氣體經(jīng)水洗、堿洗除去酸性氣體，再通過(guò)冷凍，用硅膠除去氣體中的水分，經(jīng)精餾而得成品。
預(yù)先稱(chēng)取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的單質(zhì)硅粉，置于鎳盤(pán)中，使硅和碳化硅充分接觸后，將鎳盤(pán)放入蒙乃爾合金反應(yīng)管中，向反應(yīng)管內(nèi)通入氟氣，氟氣先和單質(zhì)硅反應(yīng)，反應(yīng)放熱后，氟開(kāi)始和碳化硅進(jìn)行反應(yīng)，通入等體積的干燥氮?dú)庖韵♂尫鷼?，使反?yīng)繼續(xù)進(jìn)行，生成氣體通過(guò)液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝，然后慢慢地氣化后，將其通過(guò)裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化硅，隨后通過(guò)硅膠和五氧化二磷干燥塔得到**終產(chǎn)品。
華東節(jié)能四氟化碳不燃?xì)怏w，遇高熱后容器內(nèi)壓增大，有開(kāi)裂、危險(xiǎn)。
半導(dǎo)體電子特氣行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。半導(dǎo)體電子特種氣體在生產(chǎn)過(guò)程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測(cè)、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù)，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。為了保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與成品率，特種氣體產(chǎn)品要同時(shí)滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達(dá)到 4.5N、5N 甚至 6N、7N（N 是 Nine 的簡(jiǎn)寫(xiě)，幾個(gè) N 就有幾個(gè) 9“超凈”即要求嚴(yán)格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。作為特種氣體的參數(shù)，純度每提升一個(gè) N，粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，都將帶來(lái)工藝復(fù)雜度和難度的提升。
工業(yè)上把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱(chēng)為工業(yè)氣體產(chǎn)品，工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ)原材料，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中有著重要的地位和作用。根據(jù)制備方式和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，可分為大宗氣體和特種氣體，大宗氣體主要包括氧、氮、氬等空分氣體及乙炔、二氧化碳等合成氣體，對(duì)氣體純度要求并不高，主要用于冶金、石化、煤化工、鋼鐵，而特種氣體品種較多，主要包括高純氣體、混合氣體等，主要用于電子、光伏、醫(yī)療等新興領(lǐng)域，制作半導(dǎo)體所用的電子氣體就屬于特種氣體。
只有在1000℃以上，才能和二氧化碳進(jìn)行反應(yīng)。
四氟化碳，又稱(chēng)為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過(guò)程中，需要使用四氟化碳。在蝕刻過(guò)程中，用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉，附有油墨的電路上銅皮得以保留，之后再用四氟化碳進(jìn)行清洗電路上的油墨再烘干，等工藝。在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。
氟代烴的低層大氣中比較穩(wěn)定，而在上層大氣中可被能量更大的紫外線分解。華東安全四氟化碳價(jià)格走勢(shì)
也要注意使用四氟化碳的注意事項(xiàng)。***四氟化碳廠家供貨
作為關(guān)鍵性原材料，特種電子氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對(duì)下游產(chǎn)業(yè)影響很大，例如對(duì)晶圓加工生產(chǎn)商而言，若生產(chǎn)用的氣體產(chǎn)品發(fā)生質(zhì)量問(wèn)題，將導(dǎo)致整條生產(chǎn)線產(chǎn)品報(bào)廢，造成巨額損失。因此，精密化程度非常高的大規(guī)模集成電路廠商對(duì)氣體供應(yīng)商的選擇都會(huì)非常審慎和嚴(yán)格。國(guó)內(nèi)外企業(yè)市場(chǎng)份額占比懸殊的主要緣由之一便是難以在短期內(nèi)彌補(bǔ)的技術(shù)差距。特種電子氣體生產(chǎn)是一個(gè)系統(tǒng)工程，涉及到氣體的深度提純技術(shù)、痕量雜質(zhì)分析檢測(cè)技術(shù)、氣瓶的內(nèi)表面處理技術(shù)、尾氣的處理技術(shù)等。
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