安全四氟化碳質(zhì)量代理商

來源: 發(fā)布時間:2020-03-06

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-O2反應離子刻蝕時,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學穩(wěn)定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。



氟代烴的低層大氣中比較穩(wěn)定,而在上層大氣中可被能量更大的紫外線分解。安全四氟化碳質(zhì)量代理商

半導體材料屬于高技術壁壘行業(yè),特別是晶圓制造材料,技術要求高,生產(chǎn)難度大。目前,半導體材料**產(chǎn)品大多集中在美國、日本、德國、韓國、中國臺灣等國家和地區(qū)生產(chǎn)商。國內(nèi)由于起步晚,技術積累不足,整體處于相對落后的狀態(tài)。目前,國內(nèi)半導體材料主要集中在中低端領域,**產(chǎn)品基本被國外生產(chǎn)商壟斷。如硅片,2017年全球五大硅片廠商占據(jù)了全球94%的市場份額。

近年來國內(nèi)半導體材料生產(chǎn)商加大了研發(fā)投入,大力推進半導體材料的研發(fā)及生產(chǎn),力爭實現(xiàn)國產(chǎn)替代。目前在部分細分領域,已經(jīng)突破國外壟斷,實現(xiàn)規(guī)模化供貨。如CMP拋光材料的**企業(yè)安集科技,公司化學機械拋光液已在130-28nm技術節(jié)點實現(xiàn)規(guī)?;N售,主要應用于國內(nèi)8英寸和12英寸主流晶圓產(chǎn)線;濺射靶材**江豐電子,16納米技術節(jié)點實現(xiàn)批量供貨,同時7納米技術節(jié)點也實現(xiàn)供貨。


常州正規(guī)四氟化碳銷售價格所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中,需要使用四氟化碳。

四氟化碳的化學性質(zhì)穩(wěn)定,在通常情況下,它與硅直接接觸,也不會發(fā)生化學反應。

溫度較低時,四氟化碳與二氧化碳不發(fā)生作用,只有在1000℃以上,才能和二氧化碳進行反應,生成羰基氟。其反應

 只有適當?shù)臈l件下,四氟化碳才能與氧化劑和還原劑進行反應。

四氟化碳不燃燒,有低毒性和窒息性。四氟化碳對肝臟、腦神經(jīng)系統(tǒng)有損害。與可燃性氣體一起燃燒時,發(fā)生分解,產(chǎn)生的氧化物,

 四氟化碳沒有腐蝕性??墒褂娩X、銅、青銅、鋼、不銹鋼等大部分金屬和合金材料。聚四氟乙烯和環(huán)氧樹脂具有良好的耐腐蝕性能。聚三氟氯乙烯聚合體接觸四氟化碳有輕微溶脹現(xiàn)象,但傻仍可耐無能蝕。尼龍在高溫和有空或有水分存在情況下,它全變脆。






從近幾年大陸半導體材料、設備的需求占比來看,大陸半導體材料市場規(guī)模占全球的比重由 2013 年的約 4%提升到 2018 年的約 16%,大陸半導體設備市場規(guī)模占全球比重由 2016 年的約 16%提升到 2018 年的約 20%。而可預見的未來,國內(nèi)半導體產(chǎn)能的增加將進一步帶動本地半導體材料需求。近年來,隨著國家的對于集成電路產(chǎn)業(yè)的重視以及資本的支持,國內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,但是與國外仍有不小的差距。特別是在上游的半導體材料等領域,更是差距巨大。不過,隨著國內(nèi)半導體制造的崛起,也推動了半導體材料的國產(chǎn)化進程。由于化學穩(wěn)定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。

對于混合氣而言,配比的精度是參數(shù),隨著產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升,客戶常要求氣體供應商能夠?qū)Χ喾Nppm(partpermillion,百萬分之)乃至ppb(partperbillion,十億分之)級濃度的氣體組分進行精細操作,其配制過程的難度與復雜程度也增大。此外,氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環(huán)節(jié)亦對生產(chǎn)企業(yè)提出了較高的技術要求作為關鍵性材料,特種氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對下游產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)影響巨大。如果晶圓加工環(huán)節(jié)所使用的氣體發(fā)生質(zhì)量問題,將導致整條生產(chǎn)線產(chǎn)品報廢,造成巨額損失四氟化碳不與銅、鎳、鎢、鉬反應。鎮(zhèn)江直銷四氟化碳價格便宜

四氟化碳沒有腐蝕性。安全四氟化碳質(zhì)量代理商

 四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環(huán)境下是相對惰性的,在不通風的地方會引起窒息。在射頻等離子體環(huán)境中,氟自由基表現(xiàn)為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過程,使尺寸和形狀得到更好的控制,這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時不利于各種特殊的控制(如半導體各項異性控制)。其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。



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