中芯國際隔振臺(tái)技術(shù)原理

Herz 防震臺(tái)/防振臺(tái)是世界上****的防震臺(tái)/防振臺(tái)系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。 在納米技術(shù)的時(shí)代，極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的極大效能，達(dá)到比較好成果。 Nanotechnology正在改變，由高層次的研究波及各個(gè)行業(yè)的基本生產(chǎn)，要有效地發(fā)展納米技術(shù)，消除振動(dòng)尤為重要！

在過去的40年，HERZ發(fā)展成為被動(dòng)式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商，并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。與此同時(shí)，測量技術(shù)有了很大的進(jìn)步，一些**靈敏的設(shè)備會(huì)受被動(dòng)式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾，只有主動(dòng)式隔振系統(tǒng)能消除此類干擾。因此，HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外，補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振系統(tǒng)。 勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。中芯國際隔振臺(tái)技術(shù)原理

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。

為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。

AVI400-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)，避免了任何復(fù)雜的過程。

技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-800公斤（單件）：400公斤 研究所隔振臺(tái)原理垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，比較大可以達(dá)到40dB的衰減。

該系統(tǒng)的固有剛度比1

Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振，這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。

該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。

所有控制電路都內(nèi)置在該單元**耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡（AFM， STM），干涉儀和其他高 分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到**終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。

AVI-產(chǎn)品參數(shù)：AVI-200系列（負(fù)載：**多800kg）

型號(hào)：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP

系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型

主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上

確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)

尺寸：120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸：241×287×142毫米

承重：400kg

單位重量：約9kg

聯(lián)絡(luò)我們

電源電壓：95-240VAC50-60赫茲

耗電量：普通9W

工作溫度范圍：5℃?40℃

工作濕度范圍：10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）

可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。 傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座（診斷插座）連接到傳感器

設(shè)置并將電源連接到傳感器后，系統(tǒng)即可使用。

按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內(nèi)的振動(dòng)太嚴(yán)重。 HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外，補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振系統(tǒng)。晶片隔振臺(tái)質(zhì)量怎么樣

LFS傳感器在三個(gè)軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。中芯國際隔振臺(tái)技術(shù)原理

1、使用2 mm內(nèi)六角扳手（包括在內(nèi)）拆下模塊端板。

2、根據(jù)掃描電鏡的重量調(diào)整模塊。

在每個(gè)中心柱上的橫梁上方和下方應(yīng)該有一個(gè)間隙，允許每側(cè)大約有2mm的行程。

B、使用M6活動(dòng)扳手（包括）轉(zhuǎn)動(dòng)位于支撐彈簧頂部的調(diào)整螺母。向右轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可降低模塊并增加上部間隙（在**止動(dòng)螺母和橫撐之間）。向左轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可升高模塊并減小上部間隙。

C、計(jì)算每個(gè)螺母的圈數(shù)；盡可能均勻地調(diào)整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。

D、不要轉(zhuǎn)動(dòng)螺母太遠(yuǎn)，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下，外露螺紋不得超過10mm

3.裝回模塊上的端板 中芯國際隔振臺(tái)技術(shù)原理