線陣光譜共焦技術(shù)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-10-06

光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測量以外,這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá)100毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。另外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測量表面特征的變化時(shí)帶來更好的性能,該傳感器基于光譜共焦原理,能夠?qū)崿F(xiàn)對微小物體表面的位移變化進(jìn)行高精度的非接觸測量。線陣光譜共焦技術(shù)

線陣光譜共焦技術(shù),光譜共焦

物體的表面形貌可以通過測量距離來確定,光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射率并變得可見。系統(tǒng)會創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,只要檢測到信號強(qiáng)度的變化。除了距離測量外,還可以使用信號強(qiáng)度進(jìn)行測量,這可以實(shí)現(xiàn)對精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化。通過保持曝光時(shí)間不變,可以獲得有關(guān)表面評估的附加信息,而這在距離測量時(shí)是不可能的 。內(nèi)徑測量 光譜共焦能測什么其中,光源的性能和穩(wěn)定性是影響測量精度的關(guān)鍵因素之一。

線陣光譜共焦技術(shù),光譜共焦

線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測量技術(shù)是一種利用光譜信息進(jìn)行空間分辨的光學(xué)技術(shù)。該技術(shù)利用傳統(tǒng)共焦顯微鏡中的探測光路,再加入一個(gè)光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器,實(shí)現(xiàn)對樣品的空間和光譜信息的同時(shí)采集和處理。該技術(shù)的主要特點(diǎn)在于,采用具有線性色散特性的透鏡組合,將樣品掃描后產(chǎn)生的信號分離出來,利用光度計(jì)或CCD相機(jī)等進(jìn)行信號的測量和分析,以獲得高分辨率的空間和光譜數(shù)據(jù)。利用該技術(shù)我們可以獲得材料表面形貌和屬性的具體信息,如化學(xué)成分,應(yīng)變、電流和磁場等信息等。與傳統(tǒng)的共焦顯微技術(shù)相比,線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測量技術(shù)具有更高的數(shù)據(jù)采集效率和空間分辨能力,對一些材料的表征更為準(zhǔn)確,也有更好的適應(yīng)性和可擴(kuò)展性,適用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米科技等領(lǐng)域的研究。但需要指出的是,由于其透鏡組合和光譜儀器的加入 ,該技術(shù)的成本相對較高,也需要更強(qiáng)的光學(xué)原理和數(shù)據(jù)分析能力支持,因此在使用前需要認(rèn)真評估和優(yōu)化實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進(jìn)行測量,提供有關(guān)負(fù)載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進(jìn)行厚度測量,并且只需要使用一個(gè)傳感器從工件的一側(cè)進(jìn)行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,因采用同軸光,所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高,體積小,且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口,因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中 實(shí)現(xiàn)線上檢測 。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,該傳感器可以對震動物體進(jìn)行測量,同時(shí)采用無觸碰設(shè)計(jì),避免了測量過程中對震動物體的干擾,也可以對復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測量和分析 。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量,對于研究材料的振動特性具有重要意義;

線陣光譜共焦技術(shù),光譜共焦

根據(jù)對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析,可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能:首先,產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對鏡頭進(jìn)行消色差措施,而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測量,需要將其擴(kuò)大化 ;其次,產(chǎn)生軸向色差后,焦點(diǎn)在軸上會因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM(半峰全寬)變大,影響分辨率;同時(shí),為確保單色光在軸上匯聚到單一點(diǎn),需要控制其球差;為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度,焦點(diǎn)位置應(yīng)盡量與波長成線性關(guān)系。光譜共焦技術(shù)可以測量位移,利用返回光譜的峰值波長位置。非接觸式光譜共焦定做價(jià)格

光譜共焦位移傳感器可以用于材料、結(jié)構(gòu)和生物等領(lǐng)域的位移和形變測量。線陣光譜共焦技術(shù)

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個(gè)基本上構(gòu)件。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片?,F(xiàn)階段在商業(yè)上運(yùn)用的玻璃基板,其厚度為0.7 mm及0.5m m,且將要邁進(jìn)特?。ㄈ?.4mm)厚度之制造。大部分,一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因?yàn)椴AЩ搴穸群鼙。穸纫?guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格,一般在0.01mm的公差,關(guān)鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題 ,一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數(shù)的收集,再加上與此同時(shí)選用多個(gè)感應(yīng)器測量,不僅提高了高效率,并且防止觸碰測量所造成的二次損害。線陣光譜共焦技術(shù)