遼寧數(shù)控軸垂直度激光干涉儀維修

來源: 發(fā)布時間:2022-05-06

為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時由于空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑等會使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號交流信號,因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。遼寧數(shù)控軸垂直度激光干涉儀維修

遼寧數(shù)控軸垂直度激光干涉儀維修,激光干涉儀

激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測,可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。廣州精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀銷售激光干涉儀要設(shè)置專庫存放。

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激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控機(jī)床動態(tài)性能檢測。利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補償。激光波長非常穩(wěn)定,可以滿足精密測量的要求。激光具有干涉特性。

從激光器發(fā)出的一束單色﹑頻率穩(wěn)定的激光,在分光鏡上被分為強(qiáng)度相等的兩束,一束經(jīng)分光鏡反射進(jìn)入干涉儀的一臂(稱為Y臂),另一束透過分光鏡進(jìn)入與其垂直的另一臂(稱為X臂),在經(jīng)歷了幾乎相同的度越時間之后,兩束光返回,并在分光鏡上重新相遇,并在那里產(chǎn)生干涉。若兩束光的度越時間相等(或時間差為光振動周期的整數(shù)倍)則兩束光在光探測器上干涉減弱呈暗條紋,而返回激光器的那個合光束則是干涉加強(qiáng)呈亮條紋。精心調(diào)節(jié)干涉儀的臂長使兩束光完全相干相減,則探測器探測不到光強(qiáng),激光干涉儀引力波探測器的輸出信號為零。這是探測器的初始工作狀態(tài)。激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動。

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激光干涉儀在實際使用中,需要確認(rèn)其在各個測量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關(guān),因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對Z終的測量精度有著重要的影響。總結(jié)起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當(dāng)然,在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。激光干涉儀配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。數(shù)控軸直線度激光干涉儀供應(yīng)商

激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度進(jìn)行測量。遼寧數(shù)控軸垂直度激光干涉儀維修

激光干涉儀初步調(diào)整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個過程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。遼寧數(shù)控軸垂直度激光干涉儀維修

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