精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計

來源: 發(fā)布時間:2024-01-18

在激光干涉儀引力波探測器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環(huán)技術(shù)。可以有效地做到這一點,其基本的想法是把從干涉儀亮出來的光重新收集起來,再注入干涉儀中,進(jìn)行循環(huán)利用。因為激光干涉儀引力波探測器的工作點選擇在暗紋條件,如果干涉儀內(nèi)的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會經(jīng)載頻出,這是極大的浪費。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實現(xiàn)光能的回收。這面鏡子稱為功率循環(huán)鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內(nèi),則干涉儀內(nèi)的有效功率將增加。激光干涉儀維護(hù)保管時需要注意哪些方面?精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計

精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計,激光干涉儀

激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具,能對數(shù)控機床進(jìn)行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序,能檢測線性坐標(biāo)軸的定位精度、重復(fù)定位精度,反向間隙等其線性測長精度可達(dá)到±0.5ppm(0~40℃),線性測量長可以達(dá)到80m,較高線性測長分辨率0.001μm,較高測量速度240m/min。對于不同的數(shù)控機床,檢測的曲線各不相同,其完善的軟件功能通過對不同的曲線進(jìn)行分析,能夠?qū)⒂绊憴C床精度的原因列出來,數(shù)控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數(shù)據(jù),了解到機床在哪些方面存在誤差,這樣就為調(diào)整和數(shù)控機床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導(dǎo),縮短數(shù)控機床維修時間,提高數(shù)控機床維修的效率。滄州英國雷尼紹XL-80激光干涉儀報價激光干涉儀可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

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激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準(zhǔn)的高精度測量儀器,隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點,已成為高精密機械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器,在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分,單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大,一般用于特定環(huán)境的實驗室。雙頻激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,抗干擾能力強,普遍應(yīng)用于各種工況下。

激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進(jìn)行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標(biāo)測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧。

精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計,激光干涉儀

當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率,標(biāo)稱波長為633nm,長期波長穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時,被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中,然后反射回分光鏡中,在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計

激光干涉儀可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計

從激光器發(fā)出的一束單色﹑頻率穩(wěn)定的激光,在分光鏡上被分為強度相等的兩束,一束經(jīng)分光鏡反射進(jìn)入干涉儀的一臂(稱為Y臂),另一束透過分光鏡進(jìn)入與其垂直的另一臂(稱為X臂),在經(jīng)歷了幾乎相同的度越時間之后,兩束光返回,并在分光鏡上重新相遇,并在那里產(chǎn)生干涉。若兩束光的度越時間相等(或時間差為光振動周期的整數(shù)倍)則兩束光在光探測器上干涉減弱呈暗條紋,而返回激光器的那個合光束則是干涉加強呈亮條紋。精心調(diào)節(jié)干涉儀的臂長使兩束光完全相干相減,則探測器探測不到光強,激光干涉儀引力波探測器的輸出信號為零。這是探測器的初始工作狀態(tài)。精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計