河北激光干涉儀服務(wù)價(jià)格

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-01

鏡組的靈活使用:激光干涉儀具有有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí),激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用,常見(jiàn)的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測(cè)量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測(cè)量技巧,在滿足測(cè)量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。激光干涉儀可以進(jìn)導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。河北激光干涉儀服務(wù)價(jià)格

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雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束,Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)只含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測(cè)量光束。上海激光干涉儀服務(wù)價(jià)格激光干涉儀在機(jī)床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)和替代的。

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激光干涉儀的應(yīng)用:1、幾何精度檢測(cè)可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可蕞大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到蕞佳精度,另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。

激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測(cè)量光束)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。激光干涉儀的測(cè)量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。

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單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周?chē)髿馓幱诜€(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。激光干涉儀使用注意事項(xiàng):在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。高精度激光干涉儀維護(hù)

激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束。河北激光干涉儀服務(wù)價(jià)格

激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時(shí)透過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過(guò)程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過(guò)程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。河北激光干涉儀服務(wù)價(jià)格